一种用于晶体生长炉的减震装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于晶体生长炉的减震装置，包括连接管路，所述连接管路包括用于连接晶体生长炉和真空泵的真空管路，所述真空管路外侧依次设置有阻尼材料填充层和空气管路层；空气减震装置，所述空气减震装置包括第一空气垫、第二空气垫和充气装置，所述第一空气垫用于连接真空泵的底部，所述第二空气垫用于连接晶体生长炉的底部，所述充气装置分别与第一空气垫、第二空气垫和空气管路层连通。本实用新型专利技术通过在真空管路外侧设置阻尼材料填充层和真空管路层，通过阻尼材料填充层和空气管路层的双重减震，显著降低了真空管路的震动，且将空气减震应用到晶体生长炉、真空泵和管路，提高了减震效果，使炉体内基本上处于一个静止的状态。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶体生长炉的减震装置
本技术涉及一种用于晶体生长炉的减震装置，属于机械减震装置的

技术介绍
现有的晶体生长炉与真空泵连接，所述真空泵用于对晶体生长炉的炉体内部抽真空。真空泵在工作运转过程中会产生很大的震动，甚至会导致地面的震动，同时连接管道也会波及产生较大的震动，触感非常强烈，这也就导致了晶体生长炉在正常运作过程中不是处于一个稳定的状态，从而引起炉体内部温度梯度的波动以及气相的不稳定性，最严重的为炉体内产生的滞晶持续性脱落，导致的温度瞬间下降，严重影响炉体的稳定性。目前针对真空泵的震动装置设计有采用空气减震器，以及机器震动依旧采用橡胶垫层减震，对于大型机器的减震相比之下还是空气减震器效果较为明显，但是已有设计并未将其应用至整套机器而是单独只针对真空泵，应用范围狭小。还有的采用波纹管减震以及橡胶减震，波纹管为连接真空泵管路，就目前波纹管应用来看，虽然一定程度上起到了减震效果，但是触感依旧强烈，相比之下设计较为简单，效果较好被大面积应用实施，但是对于精密设备的减震，只用波纹管是远远不够的。同时现有技术依旧采用橡胶减震的方式来减少地面震动，虽然都有所改善，但是效果并不特别好。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供了一种用于晶体生长炉的减震装置，该装置综合利用空气减震和阻尼减震的方式，使得真空泵、炉体和管路达到了很好的减震效果。本技术采用的技术方案如下：一种用于晶体生长炉的减震装置，所述装置包括：连接管路，所述连接管路包括用于连接晶体生长炉和真空泵的真空管路，所述真空管路外侧依次设置有阻尼材料填充层和空气管路层；空气减震装置，所述空气减震装置包括第一空气垫、第二空气垫和充气装置，所述第一空气垫用于连接真空泵的底部，所述第二空气垫用于连接晶体生长炉的底部，所述充气装置分别与第一空气垫、第二空气垫和空气管路层连通。优选的，所述阻尼材料填充层与空气管路层的厚度的比例为1～3:1～5。优选的，所述充气装置包括空气压缩机和发动机，所述发动机与空气压缩机连接，所述空气压缩机分别与第一空气垫和空气管路层连接，所述第一空气垫通过管路与第二空气垫连接。优选的，所述充气装置包括充气泵，所述充气泵分别与第一空气垫和空气管路层连接，所述第一空气垫通过管路与第二空气垫连接。优选的，所述第二空气垫的数量与晶体生长炉的立柱数量相匹配。优选的，所述第二空气垫的数量为四个。优选的，所述第一空气垫与真空泵的底部匹配。优选的，所述充气装置上设置有双向连接头，所述双向连接头分别通过管路与第一空气垫和空气管路层连接。优选的，所述充气装置与第一空气垫和空气管路层连接的管路上均安装有压力控制阀。优选的，所述所述空气管路层上设置有与充气装置连通的连接口，所述连接口位于靠近真空管路与真空泵的连接端。本技术的有益效果为：(1)本技术通过在真空管路外层设置阻尼材料填充层和真空管路层，通过阻尼材料填充层和真空管路层的双重减震，显著降低了真空管路的震动，减震效果有了明显的改善。(2)本技术通过将充气装置与第一空气垫、第二空气垫和真空管路层连接，第一空气垫、第二空气垫和真空管路层处于一个恒压状态，将空气减震应用到晶体生长炉、真空泵和管路，使得炉体处于一个稳定的状态。(3)本技术通过将阻尼减震和空气减震综合利用，且将空气减震应用到晶体生长炉、真空泵和管路，使得炉体内基本上处于一个静止的状态，减震效果得到大幅度地提高。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术的减震装置的结构示意图；图2为本技术减震装置中连接管路的剖面示意图；其中，1、真空管路；2、阻尼材料填充层；3、空气管路层；4、第一空气垫；5、第二空气垫；6、充气装置。具体实施方式下面结合实施例详述本技术，但本技术并不局限于这些实施例。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。另外，在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。参考图1和图2，本技术实施例公开了一种用于晶体生长炉的减震装置，所述装置包括连接管路和空气减震装置，所述连接管路包括用于连接晶体生长炉和真空泵的真空管路1，所述真空管路外侧依次设置有阻尼材料填充层2和空气管路层3；所述空气减震装置包括第一空气垫4、第二空气垫5和充气装置6，所述第一空气垫4用于连接真空泵，所述第二空气垫5用于连接晶体生长炉，所述充气装置6分别与第一空气垫4、第二空气垫5和空气管路层3连通。所述充气装置6用于向第一空气垫4、第二空气垫5和空气管路层3通入气体。本申请通过将第一空气垫4与真空泵连接，第二空气垫5与晶体生长炉连接，利用空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶体生长炉的减震装置，其特征在于，所述装置包括：/n连接管路，所述连接管路包括用于连接晶体生长炉和真空泵的真空管路，所述真空管路外侧依次设置有阻尼材料填充层和空气管路层；/n空气减震装置，所述空气减震装置包括第一空气垫、第二空气垫和充气装置，所述第一空气垫用于连接真空泵的底部，所述第二空气垫用于连接晶体生长炉的底部，所述充气装置分别与第一空气垫、第二空气垫和空气管路层连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶体生长炉的减震装置，其特征在于，所述装置包括：
连接管路，所述连接管路包括用于连接晶体生长炉和真空泵的真空管路，所述真空管路外侧依次设置有阻尼材料填充层和空气管路层；
空气减震装置，所述空气减震装置包括第一空气垫、第二空气垫和充气装置，所述第一空气垫用于连接真空泵的底部，所述第二空气垫用于连接晶体生长炉的底部，所述充气装置分别与第一空气垫、第二空气垫和空气管路层连通。


2.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的减震装置，其特征在于，所述阻尼材料填充层与空气管路层的厚度的比例为1～3:1～5。


3.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的减震装置，其特征在于，所述充气装置包括空气压缩机和发动机，所述发动机与空气压缩机连接，所述空气压缩机分别与第一空气垫和空气管路层连接，所述第一空气垫通过管路与第二空气垫连接。


4.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的减震装置，其特征在于，所述充气装置包括充气泵，所述充气泵分别与第一空气垫和空气管...

【专利技术属性】
技术研发人员：李帅，李乃庆，李宏刚，赵建国，李函朔，
申请(专利权)人：山东天岳先进科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37