一种硅片镀膜专用治具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅片镀膜专用治具，包括底板，所述底板上挖设有圆形通孔，所述圆形通孔内壁上固定连接有定位环，所述定位环内壁上设有衔接槽，所述底板顶侧对称设有连接孔，且所述底板顶侧等距设有螺纹孔，所述底板通过螺纹孔螺纹连接有螺丝，所述螺丝外侧套接有圆环，所述圆环右侧固定连接有曲型片，所述曲型片右端固定连接有定位块，所述定位环顶侧贴合有钢网板，硅片的外壁正好与衔接槽的内腔进行卡合，能够有效的对硅片进行定位固定，钢网板与硅片紧密贴合，防止镀膜过程中溢镀情况的发生，防止钢网板在嵌合的过程中发生脱落或者晃动的情况发生，大大提高了镀膜过程中的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片镀膜专用治具
本技术涉及一种硅片镀膜专用治具，属于硅片镀膜

技术介绍
现有技术中，晶体硅太阳能电池的制备工艺主要包括：清洗、去损伤层、制绒、扩散制结、刻蚀、沉积减反射膜、印刷、烧结、电池片测试，其中，沉积减反射膜是晶体硅太阳能电池生产过程中的一个重要工序，目前，氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜，同时也起到表面钝化和体内钝化的作用，以提高太阳能电池的转换效率，现有技术中，制备氮化硅薄膜一般采用的是等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方法，目前没有能够对硅片镀膜时进行稳定夹持的治具，为此，提供一种硅片镀膜专用治具。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题克服现有的缺陷，提供一种硅片镀膜专用治具，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：一种硅片镀膜专用治具，包括底板，所述底板上挖设有圆形通孔，所述圆形通孔内壁上固定连接有定位环，所述定位环内壁上设有衔接槽，所述底板顶侧对称设有连接孔，且所述底板顶侧等距设有螺纹孔，所述底板通过螺纹孔螺纹连接有螺丝，所述螺丝外侧套接有圆环，所述圆环右侧固定连接有曲型片，所述曲型片右端固定连接有定位块，所述定位环顶侧贴合有钢网板。作为上述方案的进一步描述，所述连接孔与螺纹孔分别贯穿底板底侧，且所述螺纹孔环形等距设置于圆形通孔外侧。作为上述方案的进一步描述，所述定位环的厚度小于圆形通孔的深度，且所述定位环设置于圆形通孔内壁的中部。作为上述方案的进一步描述，所述底板左右两侧分别对称设置有垫片，所述垫片底侧均设有防护垫层。作为上述方案的进一步描述，所述定位块包括立柱、压片，所述立柱底部右侧与压片固定连接，所述压片底侧设有防滑纹理。作为上述方案的进一步描述，所述钢网板为圆形结构，所述钢网板与圆形通孔内壁活动连接。本技术有益效果：1、通过设置衔接槽，在硅片嵌设于定位环内时，硅片的外壁正好与衔接槽的内腔进行卡合，能够有效的对硅片进行定位固定；2、通过设置钢网板，钢网板可以对硅片进行支撑，增加了硅片镀膜过程中的受力面积，与硅片紧密贴合，防止镀膜过程中溢镀情况的发生；3、通过设置立柱与压片，使压片抵接于钢网板底侧，从而能够对钢网板进行支撑，防止钢网板在嵌合的过程中发生脱落或者晃动的情况发生，大大提高了镀膜过程中的稳定性。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。图1是本技术一种硅片镀膜专用治具的剖面结构侧视图。图2是本技术一种硅片镀膜专用治具的底板俯视图。图3是本技术一种硅片镀膜专用治具的螺丝外观结构侧视图。图中标号：1、底板；2、圆形通孔；3、定位环；4、衔接槽；5、连接孔；6、螺纹孔；7、螺丝；8、圆环；9、曲型片；10、定位块；11、钢网板；12、垫片；13、立柱；14、压片。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种硅片镀膜专用治具，包括底板1，所述底板1上挖设有圆形通孔2，所述圆形通孔2内壁上固定连接有定位环3，所述定位环3的厚度小于圆形通孔2的深度，且所述定位环3设置于圆形通孔2内壁的中部，所述定位环3内壁上设有衔接槽4，通过设置衔接槽4，在硅片嵌设于定位环3内时，硅片的外壁正好与衔接槽4的内腔进行卡合，能够有效的对硅片进行定位固定，所述底板1顶侧对称设有连接孔5，且所述底板1顶侧等距设有螺纹孔6，所述连接孔5与螺纹孔6分别贯穿底板1底侧，且所述螺纹孔6环形等距设置于圆形通孔2外侧，所述底板1通过螺纹孔6螺纹连接有螺丝7，所述螺丝7外侧套接有圆环8，所述圆环8右侧固定连接有曲型片9，通过设置圆环8与曲型片9，在将螺丝7连接在螺纹孔6内时，使圆环8带动曲型片9进行旋转，在曲型片9转动到钢网板11底侧表面时，拧紧螺丝7使曲型片9的位置进行固定，从而能够有效的使定位块10对钢网板11底侧进行支撑，所述曲型片9右端固定连接有定位块10，所述定位环3顶侧贴合有钢网板11，所述钢网板11为圆形结构，所述钢网板11与圆形通孔2内壁活动连接，通过设置钢网板11，能够将钢网板11贴附在定位环3底侧，将硅片放置与定位环3内，钢网板11可以对硅片进行支撑，增加了硅片镀膜过程中的受力面积，与硅片紧密贴合，防止镀膜过程中溢镀情况的发生。具体的，如图2所示，所述底板1左右两侧分别对称设置有垫片12，所述垫片12底侧均设有防护垫层。具体的，如图3所示，所述定位块10包括立柱13、压片14，所述立柱13底部右侧与压片14固定连接，所述压片14底侧设有防滑纹理，通过设置立柱13与压片14，在手动握住立柱13时，可以操控立柱13带动曲型片9进行移动，使压片14抵接于钢网板11底侧，从而能够对钢网板11进行支撑，防止钢网板11在嵌合的过程中发生脱落或者晃动的情况发生，大大提高了镀膜过程中的稳定性。本技术在使用时，将钢网板11贴附在定位环3底侧，将硅片放置与定位环3内，钢网板11可以对硅片进行支撑，与硅片紧密贴合，在将螺丝7连接在螺纹孔6内时，使圆环8带动曲型片9进行旋转，在手动握住立柱13时，可以操控立柱13带动曲型片9进行移动，在曲型片9转动到钢网板11底侧表面时，拧紧螺丝7使曲型片9的位置进行固定，与硅片紧密贴合。以上为本技术较佳的实施方式，本技术所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改，因此，本技术并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本技术的基础上所作的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片镀膜专用治具，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)上挖设有圆形通孔(2)，所述圆形通孔(2)内壁上固定连接有定位环(3)，所述定位环(3)内壁上设有衔接槽(4)，所述底板(1)顶侧对称设有连接孔(5)，且所述底板(1)顶侧等距设有螺纹孔(6)，所述底板(1)通过螺纹孔(6)螺纹连接有螺丝(7)，所述螺丝(7)外侧套接有圆环(8)，所述圆环(8)右侧固定连接有曲型片(9)，所述曲型片(9)右端固定连接有定位块(10)，所述定位环(3)顶侧贴合有钢网板(11)。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片镀膜专用治具，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)上挖设有圆形通孔(2)，所述圆形通孔(2)内壁上固定连接有定位环(3)，所述定位环(3)内壁上设有衔接槽(4)，所述底板(1)顶侧对称设有连接孔(5)，且所述底板(1)顶侧等距设有螺纹孔(6)，所述底板(1)通过螺纹孔(6)螺纹连接有螺丝(7)，所述螺丝(7)外侧套接有圆环(8)，所述圆环(8)右侧固定连接有曲型片(9)，所述曲型片(9)右端固定连接有定位块(10)，所述定位环(3)顶侧贴合有钢网板(11)。


2.根据权利要求1所述一种硅片镀膜专用治具，其特征在于：所述连接孔(5)与螺纹孔(6)分别贯穿底板(1)底侧，且所述螺纹孔(6)环形等距设置于圆形通孔(2)外侧。


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【专利技术属性】
技术研发人员：龚裕，
申请(专利权)人：苏州京浜光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32