一种顶持装置及其顶持物件的方法，用以顶持一物件。顶持装置包括固定座、顶销及抽气装置。顶销设置于固定座内，并可往复位移而顶持物件。顶销内具有一通道，并在顶销一端设置一与通道相连接的开口，在顶销周缘的表面开设多个与通道相连通的通孔。抽气装置连接于顶销的开口，并抽引顶销外侧的气体及多个微粒穿过通孔而经由通道自开口排出。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种，特别是一种可抽引顶销 外侧的微粒的顶持装置及其方法。
技术介绍
液晶显示器的制造过程中，玻璃基板为关键的元件之一，其做为相关工 艺的载体，例如清洗、薄膜、曝光、显影、蚀刻、电性设置集成电路元件以 及切割等工艺。在一道或数道工艺完成后，即以机械手臂或是人工搬运方式 将玻璃基板搬送到下个工艺机台。由于玻璃基板平放于工艺机台上，为避免玻璃基板自机台上拿取过程不 易甚至是因此造成破损，会在机台上装设一基板顶持装置，在工艺完成后即以顶销(lift pin)向上顶持玻璃基板，并将玻璃基板抬起一高度，以方便机 械手臂或是作业人员卸除及搬运。已知的顶持装置利用一顶销的往复位移而顶持玻璃基板，然而顶销在反 复多次的往复动作，或是顶销在执行顶持基板的动作时，会使顶销与接触物 之间相互摩擦而产生碎屑微粒，这些微粒会对玻璃基板造成严重的污染，导 致已有合格率大幅地降低。在现有技术中，较常使用的顶销设计是中空结构，并在顶销的两端分别 开设开口，其顶销底端的开口还连接有一抽气装置。当顶销顶持于玻璃基板 时，抽气装置执行抽气动作，以将基板稳定地吸附于顶销上。虽然已知顶销的两端具有开口的设计，但其目的在于抽引气体以制造出 低压环境，存在于顶销外部的微粒还是无法顺利地自顶销的开口处排出，因 此仍无法有效解决微粒对玻璃基板造成污染的问题。因此，需要研发一种顶持装置来避免微粒对如玻璃基板等物件造成
技术实现思路
鉴于以上的问题，本专利技术提供一种，由此 改善现有技术中产生的微粒对玻璃基板造成严重污染的问题。本专利技术的顶持装置用以顶持一物件，其包括固定座、顶销及抽气装置。 固定座内具有一容置空间以供顶销设置于其中，且顶销可相对于固定座进行 往复位移从而顶持物件。顶销内部具有一通道，且顶销一端为抽引端，另一 端为顶持端，在抽引端处设置一与通道相连接的开口，并在顶销的周缘表面 开设有多个与通道相连通的通孔。抽气装置与顶销的开口相连接，用以抽引 顶销外侧的气体及多个微粒穿过通孔，并经由顶销内部的通道而自开口排 出。本专利技术所公开的顶持物件的方法包括以下步骤致动抽气装置，接着致 动顶销位移而顶持物件，并致动顶销縮入至固定座内，而抽气装置在顶销往 复位移时持续进行抽气，以抽引顶销外侧的气体及多个微粒穿过顶销的通 孔，并经由通道而自开口排出。根据本专利技术顶持物件的方法的实施例，首先致动顶销顶持物件，接着致 动顶销，使顶销縮入至固定座内，并且致动抽气装置，以抽引顶销外侧的气 体及多个微粒穿过通孔而自开口排出。根据本专利技术，在顶销的周缘表面开设多个与内部通道连通的通孔，使顶 销外部的微粒通过抽气装置的抽引而排出，可避免微粒对物件造成污染，以 大幅提高产品合格率。以上关于本
技术实现思路
的说明及以下的实施方式的说明用以示范与解释 本专利技术的原理，并且为本专利技术的权利要求书提供更进一步的解释。附图说明图1为本专利技术的顶销的立体示意图。图2为本专利技术的顶持装置的剖面示意图。 图3为本专利技术第一实施例的步骤流程图。 图4为本专利技术第二实施例的步骤流程图。 图5A为本专利技术不同型态的顶销的立体示意图。 图5B为本专利技术不同型态的顶销的立体示意图。图5C为本专利技术不同型态的顶销的立体示意图。图5D为本专利技术不同型态的顶销的立体示意图。其中，附图标记说明如下110固定座 120顶销 122抽引端 1221开口 1231顶块 124通孔140垫片 150驱动装置步骤 00致动抽气装置，并持续抽引顶销外侧的气体及多个微粒 步骤410致动顶销顶持物件 步骤420致动顶销縮入固定座内 步骤500致动顶销顶持物件 步骤510致动顶销縮入固定座内 步骤520致动抽气装置121通道 123顶持端 130抽气装置 200物件具体实施方式本专利技术所公开的用以顶持一物件，然而本 专利技术所述的物件可为玻璃基板、电路板、晶片等不堪碰撞且易碎的电子半成 品，但并不以此为限。在下面本专利技术的详细说明中，将以玻璃基板做为本发 明的优选实施例，然而附图仅提供参考与说明用，并非用以限制本专利技术的保护范围。图1及图2所示为本专利技术的示意图。本专利技术所公开的顶持装置用以顶持 一物件200，该顶持装置包括固定座110、顶销120以及抽气装置130。固定 座110内部具有一容置空间，以供顶销120设置于固定座110内。顶销120 内部具有通道121，且顶销120的一端为抽引端122，另一端为顶持端123。 在顶销120的抽引端122设有一与通道121相连接的开口 1221，并在顶销 120的周缘表面开设有与通道121相连通的多个通孔124。多个通孔124可 设置在抽引端122及顶持端123之间。以优选实施例而言，顶销120可用金属材料所制成，例如不锈钢、合金 钢、铝合金、铜合金等具有一定结构强度的合金材料，也可根据实际需求而选用适当的材料。在顶销120的顶持端123上设有顶块1231，顶块1231的 材料具有避免损害物件200与比较不易产生碎屑微粒的特性，例如由陶瓷材 料制成，也可根据实际需求而选用具有相同特性的材料。顶块1231的形状 可为平面圆柱状、凸面圆柱状、钝角圆椎状等各种几何形态，然上述各种顶 块形状仅是举例说明，本专利技术不限于此。在顶销120的抽引端设有垫片140， 垫片140连接驱动装置150。驱动装置150用以驱动顶销120进行往复位移， 并用顶块1231顶持物件200。驱动装置150可为驱动马达，但本专利技术不以此 实施例为限。请参阅图1及图2，存在于顶销120外侧的微粒300有可能是周围环境 原本就已存在的灰尘、杂质等微小颗粒，另外在顶销120顶持物件200的过 程中，也有可能因顶块1231或是物件200的磨耗所掉落的微颗粒，或是顶 销120相对于固定座IIO进行往复位移时，其固定座110或顶销120因相互 摩擦而产生的微颗粒，这些都将对物件200造成污染，进而导致产品合格率 的降低。抽气装置130连接于抽引端122的开口 1221，而本专利技术所公开的抽气装 置130可为真空泵或是抽气风扇，但并不以此为限。抽气装置130用以抽引 顶销120外侧的气体及多个微粒300，以使气体及微粒300穿过顶销120周 缘表面的通孔124，并经由顶销120内部的通道121而自开口 1221排出，以 避免微粒300对物件200造成污染。抽气装置130抽气的强度或频率可根据 微粒300的尺寸及数量并且在不影响顶销120顶持物件200的情况下，将抽 气装置130调整至抽引微粒300的最佳状态。请继续参阅图1及图2，顶销120的多个通孔124可以是交错排列于顶 销120的周缘表面，且所述通孔124的孔径尺寸实质上小于顶销120直径的 四分之一，而通孔124的优选孔径范围为0.05 mm至0.5 mm之间，但不以 本专利技术公开的实施例为限，可根据实际需求来调整通孔124的孔径大小。本 专利技术通孔124的孔径范围设计的目的在于使微粒300顺利地自通孔124抽引 至顶销120内部的通道121内，且不会造成顶销120结构强度的不稳定或是 损害到顶销120的结构。图3及图4为本专利技术的步骤流程图。如图3所示，在本专利技术顶持物件的 方法中，首先致动抽气装置130持续地进行抽气(步骤400)，接着致动顶销120顶持物件200 (步骤410)，以抽引位于固定座110及本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种顶持装置，用以顶持一物件，其包括：一固定座，其内部具有一容置空间；一顶销，设置于该固定座内，并相对于该固定座进行往复位移而顶持该物件，该顶销内部具有一通道，且该顶销的一端为抽引端，另一端为顶持端，在该抽引端设置一开口与该 通道相连接，该顶销的周缘表面开设有多个通孔，所述通孔与该通道相连通；以及一抽气装置，连接于该开口，用以抽引该顶销外侧的气体及多个微粒穿过该通孔，并经由该通道而自该开口排出。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李沿庆，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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