臭氧供给装置及臭氧供给方法制造方法及图纸

进行使吸附解吸塔(4)的第一吸附解吸区域(5a)及第二吸附解吸区域(5b)吸附在臭氧产生部(2)中产生的臭氧化气体的吸附动作、使臭氧化气体从第一吸附解吸区域(5a)解吸并由第二吸附解吸区域(5b)吸附而回收的浓缩动作以及一边输送来自原料气体源(1a)的原料气体一边使利用第二吸附解吸区域(5a)回收的臭氧化气体解吸并从第一吸附解吸区域(5a)供给到吸附解吸塔(4)的外部的供给动作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】臭氧供给装置及臭氧供给方法
本申请涉及利用吸附现象浓缩并供给臭氧的臭氧供给装置及臭氧供给方法。
技术介绍
臭氧作为强力的氧化剂在水环境净化、半导体清洗等多种领域中被利用，由于近年来环境意识的高涨，对高浓度且高效率的臭氧产生技术的要求变高。由于臭氧产生部单体的产生臭氧浓度的上限值为体积分率20％左右，且臭氧具有自分解的性质，所以常温下的气相保管是困难的。因此，提供了根据需要间歇地产生臭氧的臭氧供给装置。作为这种臭氧供给装置，在现有技术中，公开了利用吸附现象进行臭氧的储藏及浓缩并间歇地供给高浓度的臭氧化气体的装置。在该情况下，为了使储藏的臭氧解吸，提出了使吸附解吸塔减压的方法(例如下述的专利文献1)、将氧输送到吸附解吸塔并进行气体置换的方法(例如下述的专利文献2)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开平11-43310号公报专利文献2：日本专利第5020151号
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，在上述专利文献1公开的结构中，虽然通过在臭氧解吸时始终使吸附解吸塔持续减压，从而解吸的臭氧的浓度上升，但是由于解吸的臭氧的流量持续降低，所以不能够稳定地供给高浓度的臭氧气体。另外，在上述专利文献2公开的结构中，存在如下问题：在臭氧供给的最后阶段，由于氧输送而导致吸附解吸塔内的臭氧分压大幅降低，所以不能将解吸的臭氧气体维持在规定浓度，不能够稳定地供给高浓度的臭氧气体。本申请公开用于解决上述那样的课题的技术，其目的在于提供抑制在臭氧供给的最后阶段解吸的臭氧的浓度降低，并实现稳定的高浓度的臭氧化气体的供给的臭氧供给装置及臭氧供给方法。用于解决课题的手段本申请公开的臭氧供给装置具备臭氧产生部和臭氧浓缩部，所述臭氧产生部利用从原料气体源供给的原料气体产生臭氧，所述臭氧浓缩部具有由第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域构成的两个区域，所述第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域利用吸附剂吸附解吸在所述臭氧产生部中产生的包含臭氧的臭氧化气体，所述臭氧供给装置具备用于分别选择性地形成吸附动作用气体回路、浓缩动作用气体回路以及供给动作用气体回路的气体回路形成用的回路切换器，所述吸附动作用气体回路使所述第一吸附解吸区域和所述第二吸附解吸区域中的至少所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附在所述臭氧产生部中产生的臭氧化气体，所述浓缩动作用气体回路使由所述臭氧浓缩部的所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附的臭氧化气体解吸并由所述第二吸附解吸区域的吸附剂吸附而回收，所述供给动作用气体回路一边输送来自所述原料气体源的原料气体一边使利用所述第二吸附解吸区域的吸附剂回收的臭氧化气体解吸，并使该解吸的臭氧化气体经由所述第一吸附解吸区域输出到所述臭氧浓缩部的外部。另外，本申请公开的臭氧供给方法使用具备臭氧产生部和臭氧浓缩部的臭氧供给装置，所述臭氧产生部利用从原料气体源供给的原料气体产生包含臭氧的臭氧化气体，所述臭氧浓缩部具有由第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域构成的两个区域，所述第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域利用吸附剂吸附解吸在所述臭氧产生部中产生的所述臭氧化气体，所述臭氧供给方法包含：吸附动作的处理步骤，在吸附动作的处理步骤中，使所述第一吸附解吸区域和所述第二吸附解吸区域中的至少所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附在所述臭氧产生部中产生的臭氧化气体；浓缩动作的处理步骤，在所述浓缩动作的处理步骤中，使由所述臭氧浓缩部的所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附的臭氧化气体解吸并由所述第二吸附解吸区域的吸附剂吸附而回收；以及供给动作的处理步骤，在所述供给动作的处理步骤中，一边输送来自所述原料气体源的原料气体，一边使利用所述第二吸附解吸区域的吸附剂回收的臭氧化气体解吸，并使该解吸的臭氧化气体经由所述第一吸附解吸区域输出到所述臭氧浓缩部的外部。专利技术的效果由于本申请是具备臭氧产生部和臭氧浓缩部的结构，所述臭氧产生部利用从原料气体源供给的原料气体产生包含臭氧的臭氧化气体，所述臭氧浓缩部具有由第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域构成的两个区域，所述第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域利用吸附剂吸附解吸在所述臭氧产生部中产生的所述臭氧化气体，进行使所述第一吸附解吸区域和所述第二吸附解吸区域中的至少所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附在所述臭氧产生部中产生的臭氧化气体的吸附动作，接着进行使由所述臭氧浓缩部的所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附的臭氧化气体解吸并由所述第二吸附解吸区域的吸附剂吸附而回收的浓缩动作，之后进行一边输送来自所述原料气体源的原料气体，一边使利用所述第二吸附解吸区域的吸附剂回收的臭氧化气体解吸，并使该解吸的臭氧化气体经由所述第一吸附解吸区域输出到所述臭氧浓缩部的外部的供给动作，由此能够抑制臭氧化气体的供给动作的最后阶段中的臭氧浓度的降低，在将臭氧化气体所包含的臭氧维持在高浓度的状态下稳定地供给。附图说明图1是示出实施方式1的臭氧供给装置的结构图。图2是为了实施方式1的臭氧供给装置的吸附动作而构成的气体回路图。图3是为了实施方式1的臭氧供给装置的浓缩动作而构成的气体回路图。图4是为了实施方式1的臭氧供给装置的供给动作而构成的气体回路图。图5是示出成为相对于实施方式1的比较对象的比较例的臭氧供给装置的结构图。图6是为了比较例的臭氧供给装置的吸附动作而构成的气体回路图。图7是为了比较例的臭氧供给装置的浓缩动作而构成的气体回路图。图8是为了比较例的臭氧供给装置的供给动作而构成的气体回路图。图9是与比较例进行比较并示出实施方式1的臭氧供给装置的浓缩动作和供给动作中的向外部输出的臭氧化气体的臭氧浓度的随时间变化的特性图。图10是与比较例进行比较并示出实施方式1的臭氧供给装置的浓缩动作和供给动作中的第一吸附解吸区域的臭氧分压的随时间变化的特性图。图11是示出实施方式2的臭氧供给装置的结构图。图12是为了实施方式2的臭氧供给装置的吸附动作而构成的气体回路图。图13是为了实施方式2的臭氧供给装置的浓缩动作而构成的气体回路图。图14是为了实施方式2的臭氧供给装置的供给动作而构成的气体回路图。图15是示出实施方式2的臭氧供给装置的变形例的结构图。图16是示出实施方式2的臭氧供给装置的变形例的结构图。图17是示出实施方式2的臭氧供给装置的其他变形例的结构图。图18是示出实施方式3的臭氧供给装置的结构图。图19是为了实施方式3的臭氧供给装置的第一供给动作而构成的气体回路图。图20是为了实施方式3的臭氧供给装置的第二供给动作而构成的气体回路图。图21是与比较例及实施方式2的情况进行比较并示出实施方式3的臭氧供给装置的浓缩动作和吸附动作中的臭氧的随时间变化的特性图。图22是示出实施方式4的臭氧供给装置的结构图。图23是示出实施方式4的臭氧供给装置的变形例的结构图。具体实施方式实施方式1.图1是示出本申请的实施方式1的臭氧供给装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种臭氧供给装置，其中，/n所述臭氧供给装置具备臭氧产生部和臭氧浓缩部，所述臭氧产生部利用从原料气体源供给的原料气体产生臭氧，所述臭氧浓缩部具有由第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域构成的两个区域，所述第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域利用吸附剂吸附解吸在所述臭氧产生部中产生的包含臭氧的臭氧化气体，/n所述臭氧供给装置具备用于分别选择性地形成吸附动作用气体回路、浓缩动作用气体回路以及供给动作用气体回路的气体回路形成用的回路切换器，所述吸附动作用气体回路使所述第一吸附解吸区域和所述第二吸附解吸区域中的至少所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附在所述臭氧产生部中产生的臭氧化气体，所述浓缩动作用气体回路使由所述臭氧浓缩部的所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附的臭氧化气体解吸并由所述第二吸附解吸区域的吸附剂吸附而回收，所述供给动作用气体回路一边输送来自所述原料气体源的原料气体一边使利用所述第二吸附解吸区域的吸附剂回收的臭氧化气体解吸，并使该解吸的臭氧化气体经由所述第一吸附解吸区域供给到所述臭氧浓缩部的外部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种臭氧供给装置，其中，
所述臭氧供给装置具备臭氧产生部和臭氧浓缩部，所述臭氧产生部利用从原料气体源供给的原料气体产生臭氧，所述臭氧浓缩部具有由第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域构成的两个区域，所述第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域利用吸附剂吸附解吸在所述臭氧产生部中产生的包含臭氧的臭氧化气体，
所述臭氧供给装置具备用于分别选择性地形成吸附动作用气体回路、浓缩动作用气体回路以及供给动作用气体回路的气体回路形成用的回路切换器，所述吸附动作用气体回路使所述第一吸附解吸区域和所述第二吸附解吸区域中的至少所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附在所述臭氧产生部中产生的臭氧化气体，所述浓缩动作用气体回路使由所述臭氧浓缩部的所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附的臭氧化气体解吸并由所述第二吸附解吸区域的吸附剂吸附而回收，所述供给动作用气体回路一边输送来自所述原料气体源的原料气体一边使利用所述第二吸附解吸区域的吸附剂回收的臭氧化气体解吸，并使该解吸的臭氧化气体经由所述第一吸附解吸区域供给到所述臭氧浓缩部的外部。


2.根据权利要求1所述的臭氧供给装置，其中，
所述臭氧供给装置具备自动地控制所述回路切换器的切换动作的控制部。


3.根据权利要求2所述的臭氧供给装置，其中，
在所述臭氧浓缩部与所述臭氧产生部之间设置有升压鼓风机，所述升压鼓风机用于将在通过所述回路切换器的回路切换形成所述吸附动作用气体回路的情况下从所述臭氧浓缩部漏出的臭氧化气体导入所述臭氧产生部。


4.根据权利要求2或权利要求3所述的臭氧供给装置，其中，
所述臭氧浓缩部具备设置有所述第一吸附解吸区域的第一吸附解吸塔和设置有所述第二吸附解吸区域的第二吸附解吸塔，所述第一吸附解吸塔与所述第二吸附解吸塔相互分离独立地设置。


5.根据权利要求4所述的臭氧供给装置，其中，
在所述第一吸附解吸塔及所述第二吸附解吸塔设置有内部温度调节用的温度调整部。


6.根据权利要求4或权利要求5所述的臭氧供给装置，其中，
所述臭氧供给装置构成为：在通过所述回路切换器的回路切换形成所述吸附动作用气体回路的情况下，在所述臭氧产生部中产生的臭氧化气体仅通过所述第一吸附解吸塔的所述第一吸附解吸区域。


7.根据权利要求4至权利要求6中任一项所述的臭氧供给装置，其中，
在连结所述第一吸附解吸塔与所述第二吸附解吸塔的气体回路上设置有臭氧计或压力计，在利用所述臭氧计测定出的臭氧化气体所包含的臭氧的浓度达到预先设定的基准值的情况下或者在利用所述压力计测定出的臭氧化气体的压力...

【专利技术属性】
技术研发人员：松浦洋航，和田升，生沼学，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP