【技术实现步骤摘要】
一种LED芯片制造业废水处理工程工艺
本专利技术涉及制造业废水处理
,特别涉及一种LED芯片制造业废水处理工程工艺。
技术介绍
发光二极管(LightEmittingDiode,简写为LED),是一种将电能转变为光能的半导体发光器件。随着发光二极管技术的提高,作为新型高效固体光源,其在照明和显示两大领域的应用越来越多。与现行照明设备相比,LED照明具有节能、耗电量少,安全环保,寿命长,结构牢固,节省安装空间等优点,因此,在我国LED作为新兴的高新技术产业,近年来得到了飞速的发展。同时,由于LED产品单位耗水量较高,随着产品产量的大幅增加势必会造成生产过程中污染物的大量排放,工业废水的排放量也呈现出了跳跃式的增长,如何在行业大发展的同时,有效治理这些废水成为该行业和企业面临的主要课题之一。LED芯片制造主要工艺流程为:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。工艺流程中的清洗工艺需要消耗超纯水,清洗时添加的化学试剂和有机溶剂随着清洗液的排出,废水中会含有尘埃颗粒、有机溶剂、金属离子、无机酸等污染物。因此,LED芯片产业项目主要会产生含磷、含氟、含酸碱和含有机物等类型污染物的废水。LED产业作为新兴发展的高新技术产业,其快速发展不可避免的产生大量废水污染物,如何有效的控制和处理废水也成为该行业的一大课题。由于 ...
【技术保护点】
1.一种LED芯片制造业废水处理工程工艺,其特征在于:LED芯片制造业废水需要做如下处理系统:首先酸碱废水处理系统,然后含氟废水处理系统,接着含磷废水处理系统,含磷废水中产生的有机废水经过有机废水处理,最后将以上处沉淀的污泥做沉淀池污泥处理,沉淀的废水再次经过以上系统处理。/n
【技术特征摘要】
1.一种LED芯片制造业废水处理工程工艺,其特征在于:LED芯片制造业废水需要做如下处理系统:首先酸碱废水处理系统,然后含氟废水处理系统,接着含磷废水处理系统,含磷废水中产生的有机废水经过有机废水处理,最后将以上处沉淀的污泥做沉淀池污泥处理,沉淀的废水再次经过以上系统处理。
2.一种LED芯片制造业废水处理工程工艺,其特征在于:具体操作步骤如下:
酸碱废水处理系统:首先将酸碱废水投入到酸碱废水调节池中,曝气;然后投入到PH调节池1、PH调节池2,在PH调节池1和PH调节池2中投入NaOH和H2SO4,然后将废水经过排放水池,接着进入巴歇尔槽,达标后排放;
含氟废水处理系统:首先将含氟废水投入到含氟废水调节池中,曝气;接着进入到PH调节池,在PH调节池中投入Ca(OH)2以及CaCl2;然后经过混凝池,往混凝池中投入PAC以及Ca(OH)2;接着进入到絮凝池,往絮凝池中投入PAM;然后进入到含氟废水沉淀池中;接着进入到排放水池中达标排放;
含磷废水处理系统:首先将含磷废水投入到含磷废水调节池中,曝气;接着进入到PH调节池中,往PH调节池中投入Ca(OH)2以及CaCl2;后经过混凝池,往混凝池中投入PAC以及Ca(OH)2;接着进入到絮凝池,往絮凝池中投入PAM;然后进入到含磷废水沉淀池中;接着进入到清水池中;得到有机废水;
有机废水处理系统:首先将含磷废水中的有机废水投入到有机废水调节池中,曝气;接着进入到PH调节池,往PH调节池中投入NaOH和H2SO4,接着进入到生化池中,投入N/P并曝气;然后进入到絮凝池中,投入PAM;接着进入到有机废水沉淀池;最后进入到排放水池达标后排放;
沉淀污泥处理系统:首先将污泥通过污泥浓缩池浓缩;然后污泥的上清液经过滤液池;上清液下的污泥经过污泥脱水机,往污泥脱水机中投入PAM,脱水后的水经过压滤机进入到滤液池,污泥压成饼状外运,滤液池中的废水再次进入到滤液池中。
3.根据权利要求2所述的一种LED芯片制造业废水处理工程工艺,其特征在于:在酸碱废水处理系统中,pH=2-12的酸碱废水首先进入酸碱废水调节池进行收集,调节池的作用是进行水量调节和水质均衡,后经提升泵进入两级中和反应池进行pH值的调节,待调节至中性后进入排放水池达标排放。
4.根据权利要求2所述的一种LED芯片制造业废水处理工程工艺,其特征在于:在含氟废水处理系统中,含氟废水经含氟废水调节池收集后,采用氟化钙絮凝沉淀法去除废水中的氟离子;即在酸性条件下,向废水中投加中和剂钙离子,使其发生如下反应:...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘嵩,
申请(专利权)人:上海三邦水处理技术有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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