【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种芯片显微拍摄系统,尤其涉及一种用于集成电路 分析的芯片显微拍摄系统。
技术介绍
现有技术中,在对芯片进行拍摄时,通常通过显微镜人工进行拍摄, 无法动态的对图像进行捕捉,无法实时的将采集到的图像在计算机上显示 出来,这样会导致芯片采集的精度不高。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种芯片显微拍 摄系统,它能够实时采集芯片的图像,精度高,有利于对集成电路的分析。 实现上述目的的技术方案是 一种芯片显微拍摄系统,包括一用于 拍摄芯片的显微镜以及一与显微镜连接的电动台,其中,还包括一加载 于显微镜上的电荷耦合器件CCD以及一分别控制所述的电荷耦合器件 CCD和所述电动台的计算机,其中所述的电荷耦合器件CCD用于采集芯片的图像并且转为数字信号, 然后将该数字信号传输给所述的计算机;所述的计算机用于对显微镜进行X轴、Y轴、Z轴的控制,并且动 态将电荷耦合器件CCD釆集的图像实时的通过计算机屏幕进行显示,根 据需要进行保存。上述的芯片显微拍摄系统,其中,所述的计算机分为三种拍摄模 式,分别为自动模式和/或半自动模式和/或手动模式。上述的芯片显微拍摄系统,其中,所述的计算机可保存静态的图片,同时也可对芯片进行实时的动态预览观测,其预览方式可分为快速 模式和/或局部细节模式和/或全景模式。本技术的有益效果是本技术通过在现有的显微镜上加载电 荷耦合器件CCD将采集的图像转为数字信号后传输给计算机进行处理, 通过控制显微镜X轴、Y轴和Z轴对芯片进行实时采集及显示,并且根据 需要进行保存,提高了芯片拍摄的精度并且有利于集成电路的分析。附图说明图1 ...
【技术保护点】
一种芯片显微拍摄系统,包括一用于拍摄芯片的显微镜以及一与显微镜连接的电动台,其特征在于,还包括一加载于显微镜上的电荷耦合器件CCD以及一分别控制所述的电荷耦合器件CCD和所述电动台的计算机,其中: 所述的电荷耦合器件CCD用于采集芯片的图像并且转为数字信号,然后将该数字信号传输给所述的计算机; 所述的计算机用于对显微镜进行X轴、Y轴、Z轴的控制,并且动态将电荷耦合器件CCD采集的图像实时的通过计算机屏幕进行显示,根据需要进行保存。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:钟琪,
申请(专利权)人:上海芯索芯片分析技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]
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