一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置制造方法及图纸

一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置，涉及探测器基本性质检测领域，为解决现有技术存在的问题。包括散热壳体、积分球、端盖、10

【技术实现步骤摘要】
一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置
本技术涉及探测器基本性质检测领域，具体涉及一种探测器响应度线性度测量装置。
技术介绍
随着半导体技术的发展,光电探测器的应用越来越广泛。光电探测器是利用具有光电效应的材料制成的将光辐射信号转变成电信号的传感器。大部分光电探测器在一定的光谱区域内具有较强的光谱选择性，所以光电探测器的光谱响应度在不同波长是不同的。因此光谱响应度是表征光电探测器性能的一个重要参数指标之一。另外对于光电材料的科研工作，通过测量并分析光电材料的光谱响应度数据，可以进一步得出材料本身的各项特性对于光电响应能力和量子效率的影响，从而对于优选材料、改进工艺具有指导意义。现有线性度模块为了适应市场检测仪器的需求，需要设计宽范围稳定的检测区间以及紧凑的结构，由于宽范围的检测区间以及紧凑的结构给线性度模块的光机系统设计和元件的装配带来很大的难度，针对现有线性度模块在小批量的生产环节当中的复杂的装配环节，以及对于线性度模块中光学元件的位置精度要求较高，导致线性度模块的光机系统结构设计和装配难度较高。
技术实现思路
本技术为了解决现有线性度模块在小批量的生产环节当中的复杂的装配环节，及对于线性度模块中光学元件的位置精度要求较高，导致线性度模块的、光机系统结构设计和装配难度较高的问题。提出一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置。一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置，包括散热壳体、积分球、端盖、10-6级灯室、10-15级灯室、10-9级灯室、10-12级灯室、光阑、散热壳盖板、10-3级灯室、轴流风扇和过滤网；所述积分球上设置有散热壳体，散热壳体正下方安装轴流风扇，所述轴流风扇外侧安装过滤网；所述10-6级灯室、10-15级灯室、10-9级灯室、10-12级灯室以及10-3级灯室设置在积分球内壁上，所述10-15级灯室设置通过光孔，所述10-9级灯室和10-12级灯室均设置有通光孔和衰减片。本技术的有益效果：本新型所述的线性测量装置的总不确定度小于0.001％，可以提供更加精准的测量范围，结构紧凑，装配简单方便，散热良好。本新型可达到检测范围并降低装配难度，提高装配效率。附图说明图1中图1a为本技术所述的一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置装配图的主视图；图1b为图1a的俯视图；图2中图2a为本技术所述的一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置散热壳的主视图；图2b为图2a的左视图；图2c为图2a的A-A剖视图；图3为本技术所述的一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置中灯室的结构示意图；图3a为10-6级灯室的结构示意图；图3b为10-15级灯室的结构示意图；图3c为10-9级灯室的结构示意图；图3d为10-12级灯室的结构示意图；图4为本技术所述的一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置中光电探测器取样输出信号曲线图；图中：1、散热壳体，2、积分球，3、端盖，4、10-6级灯室，5、10-15级灯室，6、10-9级灯室，7、10-12级灯室，8、探针座，9、光阑，10、10-3级灯座，11、散热壳盖板，12、垫块，13、10-3级灯室，14、轴流风扇，15、过滤网，16、0.06WLED，17、通光孔，18、衰减片。具体实施方式具体实施方式一、结合图1到图4说明本实施方式，一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置，包括散热壳体1、积分球2、端盖3、10-6级灯室4、10-15级灯室5、10-9级灯室6、10-12级灯室7、探针座8、光阑9、散热壳盖板11、10-3级灯室13、轴流风扇14和过滤网15；所述积分球2上设置有散热壳体1，散热壳体1正下方安装轴流风扇14，所述轴流风扇14外侧安装过滤网15；所述10-6级灯室4、10-15级灯室5、10-9级灯室6、10-12级灯室7以及10-3级灯室13设置在积分球2内壁上，所述10-15级灯室5设置通过光孔17，所述10-9级灯室6和10-12级灯室7均设置有通光孔17和衰减片18。本实施方式中，所述端盖3固定在10-6级灯室4、10-15级灯室5、10-9级灯室6、10-12级灯室7背部；所述10-3级灯室13由散热壳盖板11在背部压紧；所述探针座8为铜质材料作为配重，靠重力使得检测探针压紧于光电探测器电极上，无需固定，可根据电极位置自由移动。所述光阑9为出光口光阑，通过积分球2以及散热壳盖板11夹紧安装。垫块12、轴流风扇14和过滤网15按顺序叠摞在一起，由安装孔所穿过的螺钉一起固定。本实施方式所述的散热壳体1为带翅片结构，用于增加表面积，正下方轴流风扇14增加空气流动速度，从而大大降低了整个装置温度，防止LED灯过热。本实施方式中，所述10-3级灯室13中设置30WLED，所述10-3级灯室13固定于积分球底部并通过PWM细分为2000份，光学探测器可达到10-3安培量级光电流；灯室4、5、6、7均安装0.06WLED，通过前置不同孔径的通光孔17和衰减片18，分别通过PWM细分为2000份，光电流可达到10-6安培、10-9安培、10-12安培和10-15安培量级。将五个量级直线y＝ax+b拟合为连贯曲线。通过通断不同LED以达到不同量级的连续辐射照度。五组LED安装于材质PTFE的积分球内壁上，当积分球是中空的完整球体时，球内任一面圆发出的辐射通量能使球内各点有相同的直射辐照度。积分球使进入它内部的光经内壁漫反射层多次反射后在整个内壁上得到均匀照度，产生均匀光照射在探测器表面，消除非均匀度对探测器产生非线性的影响，使得测量结果更为可靠，积分球可降低并除去由光线地形状、发散角度、及探测器上不同位置地响应度差异所造成地测量误差。光学探测器输出的光电流与积分球的内壁照度成正比，也就是与进入积分球的光通量成正比。这样就可以根据输出光电流的变化，得知进入积分球的光通量变化情况。如果单次测量修正系数的测量不确定度＜0.001％，以单次测量结果计算响应灵敏度及其测量不确定度，如果单次测量修正系数的测量不确定度≥0.001％时，以多次测量结果的平均值及平均值的标准偏差计算响应灵敏度及其测量不确定度。当LED的光功率小于10-1W时，不确定度在0.001％范围内，探测器的响应输出与脉宽值呈线性关系，响应灵敏度R为一个常数。表1辐射亮度(W)电流(nA)5.76872E-0510966.219054.56131E-058645.4443683.35391E-056343.3872033.05205E-055774.037812.7502E-055194.9830352.44835E-054623.2568130.0000214654051.本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置，包括散热壳体(1)、积分球(2)、端盖(3)、10

【技术特征摘要】
1.一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置，包括散热壳体(1)、积分球(2)、端盖(3)、10-6级灯室(4)、10-15级灯室(5)、10-9级灯室(6)、10-12级灯室(7)、光阑(9)、散热壳盖板(11)、10-3级灯室(13)、轴流风扇(14)和过滤网(15)；
所述积分球(2)上设置有散热壳体(1)，散热壳体(1)正下方安装轴流风扇(14)，所述轴流风扇(14)外侧安装过滤网(15)；
其特征是：所述10-6级灯室(4)、10-15级灯室(5)、10-9级灯室(6)、10-12级灯室(7)以及10-3级灯室(13)设置在积分球(2)内壁上，所述10-15级灯室(5)设置通过光孔(17)，所述10-9级灯室(6)和10-12级灯室(7)均设置有通光孔(17)和衰减片(18)。


2.根据权利要求1所述的一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置，其特征在于：所述端盖(3)固定在10-6级灯室(4)、10-15级灯室(5)、10-9级灯室(6)和10-12级灯室(7)背部；所述10-3级灯室(13)由散热壳盖板(11)在背部压紧。


3.根据权利要求1所述的一种宽范围、高精度的探测器响应度线性测量装置，其特征在于：所述10-6级灯室(4)、10-15级灯室(5)、...

【专利技术属性】
技术研发人员：马洪建，任建伟，杨松，
申请(专利权)人：吉林省远大光学检测技术有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林;22