等离子镀膜执行终端及等离子镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:26920923 阅读:37 留言:0更新日期:2021-01-01 22:38
本发明专利技术涉及一种等离子镀膜执行终端及等离子镀膜装置,包括:等离子喷头,等离子喷头的内部形成有电离腔,等离子喷头设有进液通道;等离子电极,等离子电极设置于电离腔的内壁上,且等离子电极开设有汽化通道,汽化通道分别与进液通道和电离腔连通;以及等离子喷嘴,等离子喷嘴安装于等离子喷头上。开启等离子激励电源为等离子电极供电,等离子电极开始放电电离并产生高温(一般可达90摄氏度以上),产生的高温能够将流经汽化通道的镀膜药液充分且完全汽化(镀膜药液的汽化温度一般在70到80摄氏度之间),保证最终从等离子喷嘴喷射出的等离子体中不会夹杂镀膜药液,从而确保了对镀膜对象的镀膜质量,以及产品的最终成品品质高。

【技术实现步骤摘要】
等离子镀膜执行终端及等离子镀膜装置
本专利技术涉及等离子镀膜
,特别是涉及一种等离子镀膜执行终端及等离子镀膜装置。
技术介绍
当前,在诸如半导体、微电子、电路板、手机、汽车等行业中,为保证零部件或者设备的外观美观以及使用寿命长,通常会采用等离子镀膜加工技术在零部件或者设备的外表面形成一层镀膜。现有的等离子镀膜装置工作时,等离子喷头内安装有等离子电极,等离子电极与外设的电源设备连接,等离子喷头靠近喷嘴的侧壁开设有进药通道,镀膜药液由进药通道注入等离子喷头内,当等离子电极通电后,会对镀模药液进行放电电离,从而产生含有药液的等离子体,等离子体最终喷射到镀膜对象表面。然而,这种现有的等离子喷头会存在如下缺陷:由于进入等离子喷头的药液量一般较多,而等离子电极通常来不及将所有进入的药液全部进行电离,因而会导致有部分没有被电离的药液会从等离子喷嘴直接喷出而喷洒到镀膜对象上,造成镀膜质量差,影响产品品质。
技术实现思路
基于此,有必要提供一种等离子镀膜执行终端及等离子镀膜装置,旨在解决现有技术镀膜药液无法被充分电离,致使影响镀膜质量和产品品质的问题。一方面,本申请提供一种等离子镀膜执行终端,所述等离子镀膜执行终端包括:等离子喷头,所述等离子喷头的内部形成有电离腔,所述等离子喷头设有进液通道;等离子电极,所述等离子电极设置于所述电离腔的内壁上,且所述等离子电极开设有汽化通道,所述汽化通道分别与所述进液通道和所述电离腔连通;以及等离子喷嘴,所述等离子喷嘴安装于所述等离子喷头上。<br>上述方案的等离子镀膜执行终端应用装备于等离子镀膜装置中,用以对镀膜对象(例如手机、耳机、平板电脑、电路板、智能音箱、智能手表等类型的产品)进行镀膜作业,并保证镀膜对象获得高质量的镀膜品质。具体而言,加工之前,将镀膜药液供给装置通过管路与等离子喷头上的进液通道连接好,并使等离子电极与等离子激励电源连接好。实际加工时,镀膜药液由进液通道流入并继续流入等离子电极上开设的汽化通道内,此时开启等离子激励电源为等离子电极供电,等离子电极开始放电电离并产生高温(一般可达90摄氏度以上),产生的高温能够将流经汽化通道的镀膜药液充分且完全汽化(镀膜药液的汽化温度一般在70到80摄氏度之间),保证最终从等离子喷嘴喷射出的等离子体中不会夹杂镀膜药液,从而确保了对镀膜对象的镀膜质量,以及产品的最终成品品质高。下面对本申请的技术方案作进一步的说明:在其中一个实施例中,所述等离子镀膜执行终端还包括进液管,所述等离子喷头设有进液口,所述进液管的一端插置于所述进液口,所述进液管的另一端插置于所述汽化通道,所述进液管的管腔形成为所述进液通道。在其中一个实施例中,所述进液通道的内壁上设有第一阻流结构。在其中一个实施例中,所述汽化通道的内壁上设有第二阻流结构。在其中一个实施例中,所述汽化通道的出口形成为圆形开口;或者,所述汽化通道的出口处连接有端塞,所述端塞与所述汽化通道的出口端壁之间间隔形成环形开口。在其中一个实施例中,所述等离子镀膜执行终端还包括安装件,所述等离子电极通过所述安装件设置于所述电离腔的内壁上。在其中一个实施例中,所述等离子镀膜执行终端还包括绝缘连接件,所述绝缘连接件设置于所述安装件与所述电离腔的内壁之间。在其中一个实施例中,所述等离子镀膜执行终端还包括镀膜载气接头,所述等离子喷头还开设有与所述电离腔连通的进气口,所述镀膜载气接头插接于所述进气口处。在其中一个实施例中,所述等离子喷嘴形成有喷嘴孔,所述喷嘴孔包括与所述等离子喷头连接的安装端,以及用于将等离子体喷射到镀膜对象上的喷射端,所述喷嘴孔的截面积由所述安装端至所述喷射端的方向呈递减过渡。另一方面,本申请还提供一种等离子镀膜装置,其包括如上所述的等离子镀膜执行终端。附图说明构成本申请的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解,本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术,并不构成对本专利技术的不当限定。为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术一实施例所述的等离子镀膜执行终端的结构示意图;图2为图1处于工作状态的结构示意图;图3为本专利技术一实施例所述的等离子电极的结构示意图;图4为本专利技术另一实施例所述的等离子电极的结构示意图。附图标记说明:10、等离子喷头;11、电离腔;12、进液通道;13、进液口;14、进气口;20、等离子电极;21、汽化通道;211、圆形开口;212、环形开口;30、等离子喷嘴;31、喷嘴孔;32、安装端;33、喷射端;40、进液管;50、端塞;60、安装件;70、绝缘连接件;80、镀膜载气接头;90、等离子体;100、镀膜对象;200、等离子激励电源。具体实施方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进,因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。本申请实施例提供一种等离子镀膜装置,其用于实现对镀膜对象100的外表面完成镀膜加工,以提升镀膜对象100的产品品质与使用寿命。示例性地,等离子镀膜装置包括等离子激励电源200、等离子镀膜执行终端、镀膜药液供给装置和镀膜载气供给装置以及一些其它辅助设备。如图1所示,为本申请一实施例展示的一种等离子镀膜执行终端,其为对镀膜产品进行镀膜作业的直接执行设备,具体地,其能够通过放电电离产生等离子体90,并将等离子体90喷射到镀膜产品表面而形成镀膜层,从而完成镀膜加工。请继续参阅图1和图2,具体到本实施例中,所述等离子镀膜执行终端包括:等离子喷头10、等离子电极20以及等离子喷嘴30。所述等离子喷头10的内部形成有电离腔11,电离腔11为放电电离实际发生的场所,其为一个相对封闭的空间,因而具备安全可靠等必要条件。所述等离子喷头10设有进液通道12;所述等离子电极20设置于所述电离腔11的内壁上,且所述等离子电极20开设有汽化通道21,所述汽化通道21分别与所述进液通道12和所述电离腔11连通;所述等离子喷嘴30安装于所述等离子喷头10上。综上,实施本实施例技术方案将具有如下有益效果:上述方案的等离子镀膜执行终端应用装备于等离子镀膜装置中,用以对镀膜对象100(例如手机、耳机、平板电脑、电路板、智能音箱、智能手表等类型的产品)进行镀膜作业,并保证镀膜对象100获得高质量的镀膜品质。具体而言,加工之前,将镀膜药液供给装置通过管路与等离子喷头10上的进液通道12连接好,并使等离子电极20与等离子激励电源200连接好。实际加工时,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子镀膜执行终端,其特征在于,所述等离子镀膜执行终端包括:/n等离子喷头,所述等离子喷头的内部形成有电离腔,所述等离子喷头设有进液通道;/n等离子电极,所述等离子电极设置于所述电离腔的内壁上,且所述等离子电极开设有汽化通道,所述汽化通道分别与所述进液通道和所述电离腔连通;以及/n等离子喷嘴,所述等离子喷嘴安装于所述等离子喷头上。/n

【技术特征摘要】
1.一种等离子镀膜执行终端,其特征在于,所述等离子镀膜执行终端包括:
等离子喷头,所述等离子喷头的内部形成有电离腔,所述等离子喷头设有进液通道;
等离子电极,所述等离子电极设置于所述电离腔的内壁上,且所述等离子电极开设有汽化通道,所述汽化通道分别与所述进液通道和所述电离腔连通;以及
等离子喷嘴,所述等离子喷嘴安装于所述等离子喷头上。


2.根据权利要求1所述的等离子镀膜执行终端,其特征在于,所述等离子镀膜执行终端还包括进液管,所述等离子喷头设有进液口,所述进液管的一端插置于所述进液口,所述进液管的另一端插置于所述汽化通道,所述进液管的管腔形成为所述进液通道。


3.根据权利要求2所述的等离子镀膜执行终端,其特征在于,所述进液通道的内壁上设有第一阻流结构。


4.根据权利要求2所述的等离子镀膜执行终端,其特征在于,所述汽化通道的内壁上设有第二阻流结构。


5.根据权利要求1所述的等离子镀膜执行终端,其特征在于,所述汽化通道的出口形成为圆形开口;或者,所述汽化通道的出口处连接有端塞...

【专利技术属性】
技术研发人员:吕尚亿丁雪苗赵公魄赵芝强
申请(专利权)人:珠海宝丰堂电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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