一种用于硬脆性薄片的旋蜡装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硬脆性材料贴片设备的辅助设备领域，特别涉及一种用于硬脆性薄片的旋蜡装置。包括工作台组件，工作台组件包括工作台底座，工作台底座下端面中心处设有旋转接头，旋转接头与伺服电机相连接，旋转接头的顶端穿过工作台底座并设有吸盘座；升降气缸安装在工作台组件上，旋蜡罩罩设于吸盘座的外部并与升降气缸相连接，旋蜡罩升起后能防止在旋蜡过程中造成蜡液的飞溅；滴蜡移动气缸组件包括移动气缸和喷头；移动气缸安装在工作台底座上端面一侧，喷头安装与移动气缸气缸杆相连并设于吸盘座正上方，喷头的一端与定量泵相连接，另一端用于喷射蜡液。本实用新型专利技术滴蜡移动气缸采用无杆气缸，使得整个组件更为稳定也更为紧凑，行程更长。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硬脆性薄片的旋蜡装置
本技术是关于硬脆性材料贴片设备的辅助设备领域，特别涉及一种用于硬脆性薄片的旋蜡装置。
技术介绍
硬脆性材料贴片设备在半导体行业应用非常广泛，其主要功能是将蜡液均匀地涂布在洁净的硬脆性薄片的一面，经过高温烘烤并将其贴在预热好的陶瓷盘上，经冷压盘冷却后再进行后续的抛光工作。而在硬脆性材料贴片设备中，硬脆性薄片的旋蜡是否均匀是贴片质量好坏的关键所在。在现有技术的硬脆性薄片旋蜡过程中，由于定量泵的性能原因，常导致蜡液在泵出的过程中，自身就会产生一些气泡，对之后的旋蜡是不利的；而由于旋转接头的性能原因，则会导致硬脆性薄片在旋转的过程中不同心，很难将蜡液旋均匀，在旋蜡后的硬脆性薄片上的某一角度会突然“产生”一道很明显的蜡液痕迹，影响后续贴片的效果，经常在贴片时产生较大的气泡率，很难满足后续使用要求。因此如何减小气泡率和保证旋蜡的均匀性是一个急需解决的问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能够改善硬脆性薄片旋蜡均匀性的旋蜡装置。为解决上述技术问题，本技术的解决方案是：提供一种用于硬脆性薄片的旋蜡装置，包括工作台组件、旋蜡罩升降组件和滴蜡移动气缸组件；工作台组件包括工作台底座，工作台底座底部四周设有多根支撑柱；工作台底座下端面中心处设有旋转接头，旋转接头通过联轴器与伺服电机相连接，旋转接头的顶端穿过工作台底座并设有吸盘座；旋蜡罩升降组件包括多组升降气缸和旋蜡罩；升降气缸安装在工作台组件上，旋蜡罩罩设于吸盘座的外部并与升降气缸相连接，旋蜡罩升起后能防止在旋蜡过程中造成蜡液的飞溅；滴蜡移动气缸组件包括移动气缸和喷头；移动气缸安装在工作台底座上端面一侧，喷头安装与移动气缸气缸杆相连并设于吸盘座正上方，喷头的一端与定量泵相连接，另一端用于喷射蜡液。作为一种改进，吸盘座通过旋转接头在伺服电机的驱动下做高速旋转运动，利用离心力的作用将蜡液均匀地布满硬脆性薄片的表面。作为一种改进，吸盘座的表面开有一凹槽，作为气路通道，且采用真空作用将硬脆性薄片吸附住。作为一种改进，移动气缸为无杆气缸。作为一种改进，此结构所采用的定量泵，工作时喷头在移动气缸的作用下移动到硬脆性薄片的中心位置，并向硬脆性薄片泵出一定量的蜡液，定量泵能避免蜡液中气泡的产生，进一步提高了旋蜡质量。作为一种改进，工作台组件下方设有排液盒，硬脆性薄片在旋蜡后排出的废蜡液会流进排液盒内，防止蜡液污染环境，并可做到集中收集统一处理。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术滴蜡移动气缸采用无杆气缸，使得整个组件更为稳定也更为紧凑，行程更长；2、本技术可满足对不同大小硬脆性薄片旋蜡的加工要求，适用于4寸及6寸的硬脆性薄片；3、本技术采用的旋转接头和定量泵，极大地改善了硬脆性薄片旋蜡的效果，满足使用要求；4、本技术结构简单，维护便捷、容易。附图说明图1为本技术的主视图。图2为本技术的三维示意图。图中的附图标记为：1-喷头；2-升降气缸；3-移动气缸；4-支撑柱；5-工作台底座；6-联轴器；7-伺服电机；8-电机座；9-旋转接头；10-旋蜡罩；11-吸盘座。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本技术作进一步详细描述：图1至图2所示的一种用于硬脆性薄片的旋蜡装置包括工作台组件、旋蜡罩升降组件、伺服电机7、旋转接头9、联轴器6、吸盘座11、电机座8和滴蜡移动气缸组件。工作台组件包括工作台底座5、支撑柱4。工作台底座5通过下端面的多根支撑柱4与设备主体相连接。工作台底座5下端与排液盒相连，硬脆性薄片在旋蜡后的废蜡液会流进排液盒，做到集中收集统一处理。旋蜡罩升降组件包括两组升降气缸2、旋蜡罩10。旋转接头9的一端穿过在工作台底座5下端面的中心位置并连接吸盘座11，另一端通过联轴器6与伺服电机7相连，伺服电机7通过电机座8安装在旋转接头9的下端法兰上。吸盘座11通过旋转接头9在伺服电机7的驱动下做高速旋转运动，利用离心力的作用将蜡液均匀地布满硬脆性薄片的表面。吸盘座11的表面开有一凹槽，作为气路通道，且采用真空作用将硬脆性薄片吸附住。旋蜡罩升降组件包括升降气缸2和旋蜡罩10，两组升降气缸2分别安装在工作台组件上端面的两侧，旋蜡罩10与升降气缸2相连接并罩设于吸盘座11外部。工作时旋蜡罩10在升降气缸2的作用下升起，避免蜡液在高速旋转时产生飞溅。滴蜡移动气缸组件包括移动气缸3、喷头1。移动气缸3安装在工作台底座5上端面的一侧，喷头1安装在移动气缸3的前端，且位于硬脆性薄片的中心线上，喷头1的一端与定量泵相连接，另一端喷射蜡液。工作时喷头1在移动气缸3的作用下移动到硬脆性薄片的中心位置，并向硬脆性薄片泵出一定量的蜡液，定量泵可避免蜡液中气泡的产生，进一步提高了旋蜡质量。工作时，机械手从前一个工位取得的硬脆性薄片，并将其搬运至旋蜡装置的吸盘座11上，控制系统在接收到信号后，吸盘座11在真空的作用下将硬脆性薄片吸附住，而后移动气缸3在压缩空气的作用下，使得喷头1迅速移动至硬脆性薄片的中心，控制系统控制定量泵从喷头1泵出一定量的蜡液在硬脆性薄片的中心位置上，在控制系统在接收到信号后，定量泵停止供给蜡液，移动气缸3在压缩空气的作用下，喷头1回撤至原点，两组升降气缸2在压缩空气的作用下将旋蜡罩10顶起，此时伺服电机7通过联轴器6带动旋转接头9做高速旋转，且在旋转过程中采用两次加速，利用离心力的作用旋蜡，在高速旋转一段时间后，伺服电机7停止旋转，硬脆性薄片被旋转到某一固定角度，两组升降气缸2在压缩空气的作用下使旋蜡罩10下降，在控制系统在接收到信号后，吸盘座11所吸附的硬脆性薄片解除真空状态，机械手从吸盘座11上取得旋好蜡的硬脆性薄片并运送至下一工位。最后，需要注意的是，以上列举的仅是本技术的具体实施例。显然，本技术不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本技术公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硬脆性薄片的旋蜡装置，其特征在于，包括工作台组件、旋蜡罩升降组件和滴蜡移动气缸组件；/n所述工作台组件包括工作台底座，工作台底座底部四周设有多根支撑柱；工作台底座下端面中心处设有旋转接头，旋转接头通过联轴器与伺服电机相连接，旋转接头的顶端穿过工作台底座并设有吸盘座；/n所述旋蜡罩升降组件包括多组升降气缸和旋蜡罩；升降气缸安装在工作台组件上，旋蜡罩罩设于所述吸盘座的外部并与升降气缸相连接，旋蜡罩升起后能防止在旋蜡过程中造成蜡液的飞溅；/n所述滴蜡移动气缸组件包括移动气缸和喷头；移动气缸安装在工作台底座上端面一侧，喷头安装与移动气缸气缸杆相连并设于吸盘座正上方，喷头的一端与定量泵相连接，另一端用于喷射蜡液。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于硬脆性薄片的旋蜡装置，其特征在于，包括工作台组件、旋蜡罩升降组件和滴蜡移动气缸组件；
所述工作台组件包括工作台底座，工作台底座底部四周设有多根支撑柱；工作台底座下端面中心处设有旋转接头，旋转接头通过联轴器与伺服电机相连接，旋转接头的顶端穿过工作台底座并设有吸盘座；
所述旋蜡罩升降组件包括多组升降气缸和旋蜡罩；升降气缸安装在工作台组件上，旋蜡罩罩设于所述吸盘座的外部并与升降气缸相连接，旋蜡罩升起后能防止在旋蜡过程中造成蜡液的飞溅；
所述滴蜡移动气缸组件包括移动气缸和喷头；移动气缸安装在工作台底座上端面一侧，喷头安装与移动气缸气缸...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，卢嘉彬，周锋，聂魁宏，高红刚，刘小琴，赵志鹏，曹建伟，傅林坚，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33