【技术实现步骤摘要】
本技术是一种亚半微米光刻物镜的恒温水套，属于亚半微米分步重复投影光刻机光刻物镜高分辨力成像
VLSI制造设备分步重复投影光刻机的光刻物镜具有很高的数值孔径，当周围环境温度波动，或自身由于长时间通光引起温度升高，都会引起焦点漂移，产生新的畸变和像散，造成成像质量下降，使其达不到应有的性能和光刻分辨力。本技术的目的在于克服上述现有技术的不足，而提供一种亚半微米光刻物镜的恒温水套，使物镜内部光学系统长时间工作温度恒定，不受外界环境温度波动影响，而保持光刻物镜的高分辨力特性。本技术的目的可以通过以下技术措施实现物镜恒温水套包括有恒温水温度控制器、恒温水箱以及其上安装的水泵、管道和指示温度计，连通管道的上下水套紧套在物镜镜筒外面，上下水套中的水道通过镜筒中的孔道相连。本技术也可以由以下技术措施实现上下水套的外面装有隔热层，它是由至少10层镀有高反射率物质薄膜捲成。本技术也可通过以下技术措施实现上下水套中的水道为螺旋槽形水道。本技术还可通过以下技术措施实现上下水套中的水道为弓形水道。本技术与现有技术相比具有以下优点使用本恒温水套，能使物镜在长时间通光，光学透镜元件和机械框受光照射后，温度不会升高，当环境温度变化时，由于恒温水套的恒温和隔热层的隔离作用，也会使内部光学元件和机械框温度保持不变，物镜焦点不会漂移，也不会产生新的畸变和像散，保持光学性能质量稳定，因此也保持了物镜的高分辨力特性不变。并且由于该装置起密封内部光学系统作用，可提供进行物镜内部的恒气压控制。以下结合附图对本技术作进一步说明附图说明图1为亚半微米光刻物镜恒温水套系统总体结构图。图2为螺旋...
【技术保护点】
亚半微米光刻物镜的恒温水套，包括有恒温水温度控制器（１）、恒温水箱（２）、以及其上安装的水泵（３）、管道（４）和（５）、指示温度计（６），其特征在于：连通管道（４）、（５）的上下水套（７）和（１０）紧套在物镜镜筒（９）外面，上下水套（７）和（１０）中的水道（１１）、（１５）通过镜筒（９）中的孔道（８）相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈旭南，余国彬，张津，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：实用新型
国别省市：51[中国|四川]
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