一种硅棒切片机的切割液冷却装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及冷却技术领域，具体是涉及一种硅棒切片机的切割液冷却装置，包括有：箱体，一侧从上到下依次设置有进料口、出液口和出杂口，箱体内部从上到下依次设置与进料口、出液口和出杂口连通且相互密封的引流室、冷却室和设备室；离心筛料器，工作端轴线竖直转动设置在出杂口内，且所述箱体工作端顶端与引流室连通；冷却液循环组件和螺旋冷却管，冷却液循环组件设置在设备室内，螺旋冷却管同轴固定设置在离心筛料器工作端外圈，所述螺旋冷却管输入输出端分别与冷却液循环组件输出输入端连通；出杂管，所述出杂管一端贯穿设备室顶端与离心筛料器工作端内部底端连通，且所述出杂管另一端与出液口连通，该装置能够快速分离混合液和冷却切割液。

A cooling device of cutting fluid for silicon rod slicer

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒切片机的切割液冷却装置
本专利技术涉及冷却
，具体是涉及一种硅棒切片机的切割液冷却装置。
技术介绍
在如今的半导体行业，硅片切割是常见的生产环节。硅片切割过程中会用到切割液，但是在硅片切割过程中会产生大量热，导致切削后的切割液温度升高。因为硅片切割过程中对切割液的温度有严格要求，因此切割液必须进行冷却再循环利用。另外在切割过程中会有一些颗粒物等杂志进入切割液中，而现今的切割液冷却装置都是采用板式换热器，不仅冷却效果低而且不容易清理杂质，从而对产品质量造成影响。一般都是通过冷却水来对切割液进行换热降温，由于使用过后的切割液内或含有切割杂削，并且冷却水换热中，冷却水会与切割液接触不充分，冷却效果不佳，达不到预期效果。因此，专利技术一种硅棒切片机的切割液冷却装置来解决上述问题很有必要。中国专利CN201721658213.9公开了一种硅棒切片机的切割液冷却装置，包括箱体，所述箱体内设置有冷却间和设备间，所述冷却间设置于设备间顶端，所述冷却间和设备间之间设置有隔板，所述冷却间内设置有外盘冷却管，所述外盘冷却管内设置有内盘冷却管，所述外盘冷却管顶端一侧设置有连接管，所述连接管一端延伸至外盘冷却管内，所述箱体顶部设置有顶板。该装置杂质不便排出，容易堆积。
技术实现思路
为解决上述技术问题，提供一种硅棒切片机的切割液冷却装置，本技术方案解决了硅棒切片机的切割液冷却后杂质不便排出的问题。为达到以上目的，本专利技术采用的技术方案为：一种硅棒切片机的切割液冷却装置，包括有：箱体，所述箱体一侧从上到下依次设置有进料口、出液口和出杂口，所述箱体内部从上到下依次设置与进料口、出液口和出杂口连通且相互密封的引流室、冷却室和设备室；离心筛料器，所述离心筛料器工作端轴线竖直转动设置在出杂口内，且所述箱体工作端顶端与引流室连通；冷却液循环组件和螺旋冷却管，所述冷却液循环组件设置在设备室内，所述螺旋冷却管同轴固定设置在离心筛料器工作端外圈，所述螺旋冷却管输入输出端分别与冷却液循环组件输出输入端连通；出杂管，所述出杂管一端贯穿设备室顶端与离心筛料器工作端内部底端连通，且所述出杂管另一端与出液口连通。优选地，离心筛料器包括有：旋转筛筒，所述旋转筛筒轴线竖直转动设置在冷却室中，所述旋转筛筒底端通过出杂管与出杂口连通；固定件，所述固定件同轴固定设置在旋转筛筒内部且其输出轴竖直贯穿箱体内部顶端；伺服电机，所述伺服电机输出轴与固定件顶端同轴固定连接。优选地，冷却液循环组件包括有：泵，所述泵输出端通过管路与螺旋冷却管一端连通；冷凝器，所述冷凝器输出端通过管路与泵输入端连通，所述冷凝器输入端与螺旋冷却管另一端连通。优选地，螺旋冷却管为双螺旋结构，且所述螺旋冷却管两端均位于冷却室底端且与冷却液循环组件输入输出连通。优选地，旋转筛筒底端内径从上到下依次减小。优选地，固定件包括有：第一十字固定架和第二十字固定架，所述固定架同轴固定设置在旋转筛筒内部上下端；固定轴，所述固定轴轴线竖直与所述固定架固定连接，且所述固定轴顶端贯穿箱体顶端与伺服电机输出轴同轴固定连接。本专利技术与现有技术相比具有的有益效果是：本专利技术通过离心力作用分离切割液和杂质，且通过冷却液循环组件和螺旋冷却管与切割液循环换热，从而提高能源利用率，具体的，预先启动伺服电机，使其输出轴通过固定件带动旋转筛筒在冷却室中高速旋转；同时开启泵和冷凝器，使得冷却液在螺旋冷却管中循环回流；工作时，将切割液和杂质的混合液通过进料口注入引流室中，而旋转筛筒顶部与引流室连通，从而使得混合液流至旋转筛筒中，从而使得高速旋转的旋转筛筒将切割液通过离心力作用抛出，使其落在冷却室中，而大于旋转筛筒筛目的杂质在重力作用下通过出杂管和出杂口向外排出；旋转筛筒底端内径从上到下依次减小，从而使得杂质不易在旋转筛筒内部堆积，从而便于从斗状底端排出；当启动伺服电机后，所述伺服电机输出轴带动固定轴同轴转动，从而使得第一十字固定架和第二十字固定架带动旋转筛筒在箱体内部同轴转动，从而使得切割液在离心力作用下甩出旋转筛筒，而杂质留在旋转筛筒中被排出，从而便于分离切割液和杂质；泵、螺旋冷却管和冷凝器依次循环连通，从而使得冷却液在螺旋冷却管中与冷却室中的切割液换热，而经过换热的冷却液再流至冷凝器中重新换热，再经由泵将冷却液重新引导流向螺旋冷却管中，从而实现循环换热的目的；螺旋冷却管为双螺旋结构，从而使得换热效率更高，且所述螺旋冷却管两端均位于冷却室底端，从而便于使得螺旋冷却管两端贯穿冷却室底端与冷却液循环组件输入输出连通。附图说明图1为本专利技术的立体图；图2为本专利技术的俯视图；图3为图2的A-A截面处的立体剖视图；图4为本专利技术的冷却液循环组件和螺旋冷却管的立体图；图5为本专利技术的离心筛料器的正视图；图6为图5的B-B截面处的剖视图。图中标号为：1-箱体；1a-进料口；1b-出液口；1c-出杂口；1d-引流室；1e-冷却室；1f-设备室；2-离心筛料器；2a-旋转筛筒；2b-固定件；2b1-第一十字固定架；2b2-第二十字固定架；2b3-固定轴；2c-伺服电机；3-冷却液循环组件；3a-泵；3b-冷凝器；4-螺旋冷却管；5-出杂管。具体实施方式以下描述用于揭露本专利技术以使本领域技术人员能够实现本专利技术。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。参照图3所示，一种硅棒切片机的切割液冷却装置，包括有：箱体1，所述箱体1一侧从上到下依次设置有进料口1a、出液口1b和出杂口1c，所述箱体1内部从上到下依次设置与进料口1a、出液口1b和出杂口1c连通且相互密封的引流室1d、冷却室1e和设备室1f；离心筛料器2，所述离心筛料器2工作端轴线竖直转动设置在出杂口1c内，且所述箱体1工作端顶端与引流室1d连通；冷却液循环组件3和螺旋冷却管4，所述冷却液循环组件3设置在设备室1f内，所述螺旋冷却管4同轴固定设置在离心筛料器2工作端外圈，所述螺旋冷却管4输入输出端分别与冷却液循环组件3输出输入端连通；出杂管5，所述出杂管5一端贯穿设备室1f顶端与离心筛料器2工作端内部底端连通，且所述出杂管5另一端与出液口1b连通。箱体1用于固定安装离心筛料器2、冷却液循环组件3、螺旋冷却管4和出杂管5；预先启动离心筛料器2，使其工作端在冷却室1e内高速同轴转动，同时开启冷却液循环组件3，使得冷却液在螺旋冷却管4中循环回流；工作时，将切割液和杂质的混合液通过进料口1a注入引流室1d中，而离心筛料器2工作端顶部与引流室1d连通，从而使得混合液流至离心筛料器2工作端中，从而使得混合液在高速离心作用下，使得切割液被抛出离心筛料器2工作端，即切割液在冷却室1e中与螺旋冷却管4换热，从而使得冷却的切割液从出液口1b向外排出；而离心筛料器2工作端底部与出杂管5连通，从而使得杂质在重力作用下通过出杂管5和出杂口1c向外排出；引流室1d用于安放冷却液循本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅棒切片机的切割液冷却装置，其特征在于，包括有：/n箱体（1），所述箱体（1）一侧从上到下依次设置有进料口（1a）、出液口（1b）和出杂口（1c），所述箱体（1）内部从上到下依次设置与进料口（1a）、出液口（1b）和出杂口（1c）连通且相互密封的引流室（1d）、冷却室（1e）和设备室（1f）；/n离心筛料器（2），所述离心筛料器（2）工作端轴线竖直转动设置在出杂口（1c）内，且所述箱体（1）工作端顶端与引流室（1d）连通；/n冷却液循环组件（3）和螺旋冷却管（4），所述冷却液循环组件（3）设置在设备室（1f）内，所述螺旋冷却管（4）同轴固定设置在离心筛料器（2）工作端外圈，所述螺旋冷却管（4）输入输出端分别与冷却液循环组件（3）输出输入端连通；/n出杂管（5），所述出杂管（5）一端贯穿设备室（1f）顶端与离心筛料器（2）工作端内部底端连通，且所述出杂管（5）另一端与出液口（1b）连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅棒切片机的切割液冷却装置，其特征在于，包括有：
箱体（1），所述箱体（1）一侧从上到下依次设置有进料口（1a）、出液口（1b）和出杂口（1c），所述箱体（1）内部从上到下依次设置与进料口（1a）、出液口（1b）和出杂口（1c）连通且相互密封的引流室（1d）、冷却室（1e）和设备室（1f）；
离心筛料器（2），所述离心筛料器（2）工作端轴线竖直转动设置在出杂口（1c）内，且所述箱体（1）工作端顶端与引流室（1d）连通；
冷却液循环组件（3）和螺旋冷却管（4），所述冷却液循环组件（3）设置在设备室（1f）内，所述螺旋冷却管（4）同轴固定设置在离心筛料器（2）工作端外圈，所述螺旋冷却管（4）输入输出端分别与冷却液循环组件（3）输出输入端连通；
出杂管（5），所述出杂管（5）一端贯穿设备室（1f）顶端与离心筛料器（2）工作端内部底端连通，且所述出杂管（5）另一端与出液口（1b）连通。


2.根据权利要求1所述的一种硅棒切片机的切割液冷却装置，其特征在于，离心筛料器（2）包括有：
旋转筛筒（2a），所述旋转筛筒（2a）轴线竖直转动设置在冷却室（1e）中，所述旋转筛筒（2a）底端通过出杂管（5）与出杂口（1c）连通；
固定件（2b），所述固定件（2b）同轴固定设置在旋转筛筒（2a）内部且其输出轴竖...

【专利技术属性】
技术研发人员：王焯，
申请(专利权)人：王焯，
类型：发明
国别省市：浙江;33