光波导器件端面抛光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术一种光波导器件端面抛光装置，其中包括：一外套筒，该外套筒为柱体且中空，在两端有法兰；一内套筒，该内套筒为圆柱梯形，有一大径端和一小径端，大径端为法兰，在小径端从其根部向另一端以８度角加工有多个斜面，中间有一通孔，该内套筒插置在外套筒内，该内套筒的高度大于外套筒的高度；该内外套筒的法兰上对应开有两定位孔，该两定位孔用定位销定位。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种抛光装置，特别是一种光波导器件端面抛光装置。本技术一种光波导器件端面抛光装置，其特征在于，其中包括一外套筒，该外套筒为柱体且中空，在两端有法兰；一内套筒，该内套筒为圆柱梯形，有一大径端和一小径端，大径端为法兰，在小径端从其根部向另一端加工有多个斜面，中间有一通孔，该内套筒插置在外套筒内，该内套筒的高度大于外套筒的高度；该内外套筒的法兰上对应开有两定位孔，该两定位孔用定位销定位。其中在外套筒的法兰一端面上开有多个呈放射状的凹槽。其中所述的定位销一个为圆形，另一个为圆形且将其两侧加工成平面的矩形。其中所述的内套筒小径端的多个斜面，其角度为8度角。本技术的工作过程为首先将待加工的光波导器件40用树脂胶等材料粘贴在内套筒20的呈8度角的斜面上(如附图说明图1所示)，且凸出底面一部分以便于器件的端面抛光。然后将内套筒20轻放置到外套筒10的内部，并使内套筒20的定位孔与外套筒10的定位孔对准。最后在定位销孔中放入定位销30，最后将整套装置放置于抛光机上，利用抛光机底部旋转的抛光盘对器件40的端部进行抛光研磨。因内外套筒10、20是由定位销30左右相对固定，而内外套筒10、20上下则没有固定，所以，当器件40的端部研磨掉后，靠内套筒20本身的重量，内套筒20会相对落下，以进一步抛光研磨器件40的端面，直到达到要求为止。又因器件40是粘贴在内套筒20的呈8度角的斜面23上，所以器件40抛光研磨完成后，器件40的端面自然也就形成一8度角的斜面。本技术与现有技术相比具有以下优点(1)简化抛光装置设计，大幅降低装置制造成本。(2)缩小抛光装置的尺寸，使之适用于通用小型抛光设备。(3)抛光装置连接部分采用插拔式设计，便于操作，提高工作效率。(4)抛光装置设计结构简单，易于清洗、维护。权利要求1.一种光波导器件端面抛光装置，其特征在于，其中包括一外套筒，该外套筒为柱体且中空，在两端有法兰；一内套筒，该内套筒为圆柱梯形，有一大径端和一小径端，大径端为法兰，在小径端从其根部向另一端加工有多个斜面，中间有一通孔，该内套筒插置在外套筒内，该内套筒的高度大于外套筒的高度；该内外套筒的法兰上对应开有两定位孔，该两定位孔用定位销定位。2.根据权利要求1所述的光波导器件端面抛光装置，其特征在于，其中在外套筒的法兰一端面上开有多个呈放射状的凹槽。3.根据权利要求1所述的光波导器件端面抛光装置，其特征在于，其中所述的定位销一个为圆形，另一个为圆形且将其两侧加工成平面的矩形。4.根据权利要求1所述的光波导器件端面抛光装置，其特征在于，其中所述的内套筒小径端的多个斜面，其角度为8度角。专利摘要本技术一种光波导器件端面抛光装置，其中包括一外套筒，该外套筒为柱体且中空，在两端有法兰；一内套筒，该内套筒为圆柱梯形，有一大径端和一小径端，大径端为法兰，在小径端从其根部向另一端以8度角加工有多个斜面，中间有一通孔，该内套筒插置在外套筒内，该内套筒的高度大于外套筒的高度；该内外套筒的法兰上对应开有两定位孔，该两定位孔用定位销定位。文档编号B24B33/00GK2596376SQ0320336公开日2003年12月31日 申请日期2003年2月24日 优先权日2003年2月24日专利技术者李健, 王红杰, 胡雄伟, 李建光, 王启明 申请人:中国科学院半导体研究所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光波导器件端面抛光装置，其特征在于，其中包括：一外套筒，该外套筒为柱体且中空，在两端有法兰；一内套筒，该内套筒为圆柱梯形，有一大径端和一小径端，大径端为法兰，在小径端从其根部向另一端加工有多个斜面，中间有一通孔，该内套筒插置在外 套筒内，该内套筒的高度大于外套筒的高度；该内外套筒的法兰上对应开有两定位孔，该两定位孔用定位销定位。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李健，王红杰，胡雄伟，李建光，王启明，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]