液滴释放装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种液滴释放装置。实施方式的液滴释放装置包括输送机构、释放头、第1介质输送部、第2介质输送部和摄像部。输送机构沿输送方向输送工件。释放头对工件释放功能液的液滴。第1介质输送部在与输送方向正交的方向上输送能够接收从释放头释放的检查用的液滴的第1检查用介质。第2介质输送部在正交的方向上输送第2检查用介质，该第2检查用介质能够接收从释放头释放的检查用的液滴，并与第1检查用介质在输送方向上并排配置。摄像部拍摄释放到第1检查用介质的液滴和释放到第2检查用介质的液滴。本发明专利技术能够高效地进行液滴的释放状态的调整。

Droplet release device

【技术实现步骤摘要】
液滴释放装置
本专利技术涉及一种液滴释放装置。
技术介绍
专利文献1公开了一种技术，其对检查薄膜释放功能液的液滴，通过检查摄像机拍摄被释放到检查薄膜的液滴，检查液滴的释放状态。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2018-8231号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题本专利技术提供高效地进行液滴的释放状态的调整的技术。用于解决技术问题的技术方案本专利技术的一个方式的液滴释放装置包括输送机构、释放头、第1介质输送部、第2介质输送部和摄像部。输送机构沿输送方向输送工件。释放头对工件释放功能液的液滴。第1介质输送部在与输送方向正交的方向上输送能够接收从释放头释放的检查用的液滴的第1检查用介质。第2介质输送部在正交的方向上输送第2检查用介质，该第2检查用介质能够接收从释放头释放的检查用的液滴，并与第1检查用介质在输送方向上并排配置。摄像部拍摄释放到第1检查用介质的液滴和释放到第2检查用介质的液滴。专利技术效果依照本专利技术，能够高效地进行液滴的释放状态的调整。附图说明图1是表示实施方式的液滴释放装置的概要结构的左侧视图。图2是表示实施方式的液滴释放装置的概要结构的俯视图。图3A是表示实施方式的操作区域的概要结构的俯视图。图3B是表示实施方式的侧壁的概要结构的侧视图。图3C是表示实施方式的功能液瓶的更换作业的一例的图。图4是表示从X轴正方向观察实施方式的检查机构的一部分的概要结构的图。图5是表示实施方式的滑动件从待机位置移动到第1释放位置的状态的概要图。图6是表示实施方式的滑动件从第1释放位置移动到第1拍摄位置的状态的概要图。图7是表示实施方式的滑动件从第1拍摄位置移动到待机位置的状态的概要图。附图标记说明1液滴释放装置4基片输送机构(输送机构)6描绘机构7检查机构8控制装置62承载器63喷头(释放头)70滑动件71检查台72第1薄膜输送部(第1介质输送部)72b第1送出轴72d第1卷取轴73第2薄膜输送部(第2介质输送部)73b第2送出轴73d第2卷取轴74摄像部77第1检查薄膜(第1检查用介质)78第2检查薄膜(第2检查用介质)A释放区域。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术公开的液滴释放装置的实施方式详细地进行说明。此外，由以下所示的实施方式公开的液滴释放装置并非限定性的。在以下参照的各附图中，为了使说明容易理解，给出规定彼此正交的X轴方向、Y轴方向和Z轴方向并以Z轴正方向为铅垂向上方向的正交坐标系。X轴方向是输送作为工件的基片W的输送方向。Y轴方向是与输送方向正交的方向。Z轴方向是与铅垂方向平行的方向。另外，此处，规定以X轴正方向为前方，以X轴负方向为后方的前后方向，规定以Y轴正方向为右方，以Y轴负方向为左方的左右方向。此外，规定以Z轴正方向为上方，以Z轴负方向为下方的上下方向。Z轴负方向是铅垂方向。参照图1和图2，对实施方式的液滴释放装置1进行说明。图1是表示实施方式的液滴释放装置1的概要结构的左侧视图。图2是表示实施方式的液滴释放装置1的概要结构的俯视图。液滴释放装置1是一边沿输送方向输送基片W，一边以喷墨方式对基片W进行描绘的描绘装置。基片W例如是用于平板显示器的基片W。液滴释放装置1收纳在腔室(chamberroom)100中。腔室100被供给非活性气体(例如，氮气)。液滴释放装置1在非活性气体气氛下将功能液释放到基片W，对基片W进行描绘。此外，液滴释放装置1也可以为没有收纳在腔室100中的装置。功能液除了墨水之外，还含有形成空穴注入层(HIL：HoleInjectionLayer)、空穴输送层(HTL：HoleTransportLayer)等的液。在腔室100，并排地设置收纳控制装置8等的电气室101。另外，在腔室100设置能够更换装入有功能液的功能液瓶BT(参照图3A)的操作区域102。此外，以下所述的关于操作区域102的动作，除了操作者的手动操作之外由控制装置8进行控制。如图3所示，在操作区域102设置有供功能液瓶BT出入的更换室1021。图3A是表示实施方式的操作区域102的概要结构的俯视图。在更换室1021设置有第1分隔门1022和第2分隔门1023。第1分隔门1022是用于将更换室1021与外部分隔开的门。第1分隔门1022设置在腔室100的侧壁1024。第1分隔门1022例如以Z轴方向的轴为中心转动。第2分隔门1023是用于将更换室1021与配置液滴释放装置1(参照图2)的区域分隔开的门。第2分隔门1023例如沿X轴方向移动。另外，在操作区域102设置有在左右方向上延伸的轨道1025。轨道1025设置成延伸至更换室1021。在轨道1025设置载置功能液瓶BT的可移动的瓶座1026。如图3B所示，在侧壁1024设置有开口部1024a和更换窗1024b。图3B是表示实施方式的侧壁1024的概要结构的侧视图。开口部1024a根据第1分隔门1022的开闭而开口或关闭。在更换窗1024b设置有用于操作者插入手来更换功能液瓶BT的手套1027。手套1027设置多个。当更换功能液瓶BT时，将描绘机构6(参照图2)输送到操作区域102。描绘机构6例如通过选择维护模式，操作瓶更换按钮，而被输送到操作区域102。此外，也可以在功能液瓶BT的剩余量比规定剩余量少时，自动地输送到操作区域102。例如，使第1分隔门1022和第2分隔门1023在将描绘机构6输送到操作区域102之后可打开。更换室1021与未图示的气体吸排气机构连接。使用该气体吸排气机构将更换室1021的内部置换为装置外部的气氛或者CDA(清洁干燥空气)后使第1分隔门1022成为可开闭的，由此能够防止更换室1021的非活性气体被一次排出到外部。将第1分隔门1022打开，由操作者将新的功能液瓶BT载置在瓶座1026。此外，第2分隔门1023关闭。然后，由操作者关闭第1分隔门1022后，使用气体吸排气机构将更换室1021中置换为非活性气体。此外，也可以在更换室1021内部设置未图示的氧浓度传感器。于是，也可以基于氧浓度传感器测量出的氧浓度是否达到规定的数值，来判断从非活性气体置换成装置外部的气氛或CDA的终点、或者、从装置外部的气氛或CDA置换成非活性气体的终点。在将更换室1021中置换为非活性气体后，第2分隔门1023打开，将瓶座1026从更换室1021输送到配置液滴释放装置1的区域。当瓶座1026被输送到配置液滴释放装置1的区域时，如图3C所示，操作者把手插入手套1027中，将描绘机构6的已使用的功能液瓶BT1更换为载置于瓶座1026的新的功能液瓶BT2。图3C是表示实施方式的功能液瓶BT的更换作业的一例的图。在功能液瓶BT的更换完成后本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液滴释放装置，其特征在于，包括：/n沿输送方向输送工件的输送机构；/n对所述工件释放功能液的液滴的释放头；/n第1介质输送部，其在与所述输送方向正交的方向上输送能够接收从所述释放头释放的检查用的所述液滴的第1检查用介质；/n在所述正交的方向输送第2检查用介质的第2介质输送部，其中所述第2检查用介质能够接收从所述释放头释放的检查用的所述液滴，并与所述第1检查用介质在所述输送方向上并排配置；以及/n摄像部，其拍摄释放到所述第1检查用介质的所述液滴和释放到所述第2检查用介质的所述液滴。/n

【技术特征摘要】
20190628 JP 2019-1220591.一种液滴释放装置，其特征在于，包括：
沿输送方向输送工件的输送机构；
对所述工件释放功能液的液滴的释放头；
第1介质输送部，其在与所述输送方向正交的方向上输送能够接收从所述释放头释放的检查用的所述液滴的第1检查用介质；
在所述正交的方向输送第2检查用介质的第2介质输送部，其中所述第2检查用介质能够接收从所述释放头释放的检查用的所述液滴，并与所述第1检查用介质在所述输送方向上并排配置；以及
摄像部，其拍摄释放到所述第1检查用介质的所述液滴和释放到所述第2检查用介质的所述液滴。


2.如权利要求1所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述第1介质输送部包括：
送出所述第1检查用介质的第1送出轴；和
卷取所述第1检查用介质的第1卷取轴，
所述第2介质输送部包括：
送出所述第2检查用介质的第2送出轴；和
卷取所述第2检查用介质的第2卷取轴，
各送出轴和各卷取轴在所述正交的方向上配置在不同的位置。


3.如权利要求2所述的液滴释放装置，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：三根阳介，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP