偏振非敏感的阵列波导光栅制造技术

本实用新型专利技术公开了一种偏振非敏感的阵列波导光栅。与传统阵列波导光栅不同，所述偏振非敏感的阵列波导光栅的光程差由阵列波导区和平板波导区的光程差共同组成，利用平板波导区的双折射性质来补偿阵列波导区的双折射性质。平板波导区和阵列波导区的交界曲线中心的切线与平板波导区的光轴的夹角为大于０°小于１８０°非９０°的角度，该夹角根据平板波导区与阵列波导区的双折射性质差别决定。本实用新型专利技术在不改变传统阵列波导光栅各个组成部分，同时不引入额外器件的基础上，补偿了偏振色散，解决了传统偏振补偿方法造成的器件性能变差，结构复杂等问题，适用于基于二氧化硅、磷化铟和硅等各种波导材料和各种波导结构的阵列波导光栅，具有制作简单、成本低。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
偏振非敏感的阵列波导光栅，包括至少一条输入波导（１）、输入平板波导区（２）、阵列波导区（３）、输出平板波导区（４）和至少一条输出波导（５），其特征在于，光从输入波导（１）依次通过输入平板波导区（２）、阵列波导区（３）和输出平板波导区（４）传播至输出波导（５）时经过阵列波导区（３）中相邻两波导所对应的总光程差由在阵列波导区（３）中的光程差ｎ↓［ａ］△Ｌ和在输入平板波导区（２）和输出平板波导区（４）至少一个中的光程差ｎ↓［ｓ］△Ｌ↓［ｓ］共同组成，其中ｎ↓［ａ］是阵列波导区（３）的有效折射率，△Ｌ是在阵列波导区（３）中该相邻两波导的长度差，ｎ↓［ｓ］是该平板波导区的有效折射率，△Ｌ↓［ｓ］是对应该相邻两波导的光路在该平板波导区中的长度差；该平板波导区和阵列波导区（３）中的光程差以及由此决定的该平板波导区和阵列波导区（３）的几何形状是根据使得该平板波导区的双折射与阵列波导区（３）的双折射相补偿从而达到偏振非敏感而决定的。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：何建军，郎婷婷，何赛灵，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：实用新型
国别省市：86[中国|杭州]