加热器及单晶炉制造技术

技术编号:26865894 阅读:14 留言:0更新日期:2020-12-29 12:51
本实用新型专利技术提供一种加热器及单晶炉,其中,加热器包括加热器本体,所述加热器本体包括位于中心的圆环部,及连接所述圆环部且同时呈上下左右对称分布的4组蛇形体,其中,每组所述蛇形体包括:圆弧部,所述圆弧部连接所述圆环部且所述圆弧部沿着所述圆环部的圆周方向间隔开设置;U形部,所述U形部连接所述圆弧部,2个电极连接部,2个所述电极连接部分别连接在所述加热器本体的两侧且分别位于所述圆弧部的外侧,2个所述电极连接部上分别形成有电极孔。根据本实用新型专利技术的加热器,能够节省加热器材料、增加加热器的使用寿命且提高通气率,提升单晶质量。

【技术实现步骤摘要】
加热器及单晶炉
本技术涉及光伏领域,具体涉及一种加热器及单晶炉。
技术介绍
现有的单晶炉底部加热器结构分布较散乱,使用加热器材料较多,加热器在使用过程中会出现加热器局部区域细化、软化,降低加热器的使用寿命,且加热器通气率低,造成单晶炉内部含氧量高,影响单晶品质。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供一种加热器及单晶炉,能够节省加热器材料、增加加热器的使用寿命且提高通气率,提升单晶质量。为解决上述技术问题,一方面,本技术提供一种加热器,用于单晶炉底部加热,包括:加热器本体,所述加热器本体包括位于中心的圆环部,及连接所述圆环部且同时呈上下左右对称分布的4组蛇形体,其中,每组所述蛇形体包括:圆弧部,所述圆弧部连接所述圆环部且所述圆弧部沿着所述圆环部的圆周方向间隔开设置;U形部,所述U形部连接所述圆弧部,2个电极连接部,2个所述电极连接部分别连接在所述加热器本体的两侧且分别位于所述圆弧部的外侧,2个所述电极连接部上分别形成有电极孔。进一步地,每组所述蛇形体分别包括依次连接的4个所述圆弧部以及2个所述U形部,其中,呈左右对称分布的相邻2组蛇形体的U形部均匀地间隔开相邻设置。进一步地,所述加热器本体各部分的宽度相等且厚度相等。进一步地,所述加热器本体各部分的厚度为20~30mm。进一步地,每组所述蛇形体各个部分的间隙、相邻组所述蛇形体的间隙及所述蛇形体与所述圆环部的间隙为7~13mm。进一步地,所述电极孔的直径为35~40mm。进一步地,所述电极连接部的宽度为115~125mm。进一步地,所述圆环部的内径大于所述单晶炉的埚杆直径30mm~40mm。进一步地,所述加热器为石墨制件,且所述加热器为一体成型件。另一方面,本技术提供一种单晶炉,包括:埚杆;加热器,所述加热器套设在所述埚杆上,所述加热器为上述任一所述的加热器;电极柱,所述电极柱设置在所述埚杆的两侧;螺栓,所述螺栓穿过所述加热器的电极孔与所述电极柱相连。本技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一:根据本技术的加热器,包括加热器本体和电连接部,加热器本体包括位于中心的圆环部,及连接圆环部且同时呈上下左右对称分布的4组蛇形体,加热器各个部分较紧凑和整齐,圆环部和蛇形体共同发热,加热效率较高,提高加热器材料的利用率,加热器材料耗费较少,使得成本降低,且此结构较方便拆卸,能够缩短维护时间,且各个部分有间隙,可以气体能够流通,减少单晶炉下方区域的含氧量,提高单晶的品质。附图说明图1为根据本技术一实施例的加热器的结构示意图;图2为图1中的加热器的侧视图;图3为根据本技术另一实施例的单晶炉的结构示意图。附图标记:100、加热器本体;110、圆环部;120、蛇形体;121、圆弧部;122、U型部;200电极连接部;210、电极孔;1000、加热器;2000、埚杆;10000、单晶炉。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例的附图,对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本技术的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。除非另作定义,本技术中使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。同样,“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制,而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的连接,不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变后,则该相对位置关系也相应地改变。图1和图2示出了根据本技术的加热器1000的可选实施例,根据本技术实施例的加热器1000包括:加热器本体100和2个电极连接部200。其中,加热器本体100包括位于中心的圆环部110,及连接圆环部110且同时呈上下左右对称分布的4组蛇形体120,其中,每组蛇形体120包括圆弧部121和U型部122。圆弧部121连接圆环部110且圆弧部121沿着圆环部110的圆周方向间隔开设置。U形部连接圆弧部121。例如,如图1所示,加热器本体100(图1虚线框内部分)包括位于中心的圆环部110,及连接所示圆环部110且同时呈上下左右对称的4组蛇形体120(4组蛇形体120分别分布在图1中的穿过圆环部110圆心的十字中心线的4个区域内,即分别位于左上区域、右上区域、右下区域、和左下区域的4组蛇形体120,其中,左上区域中的蛇形体120与右上区域的蛇形体120呈左右对称分布,同时,左上区域中的蛇形体120还与左下区域的蛇形体120呈上下对称分布,以此类推,不再赘述)。蛇形体120包括圆弧部121和U型部122。以图1中的右上区域的蛇形体120为例,圆弧部121可以包括连接圆环部110且沿着圆环部110的圆周方向间隔开设置的内侧圆弧部和与内侧圆弧部间隔开设置的外侧圆弧部,内侧圆弧部和外侧圆弧部分别连接U型部122(倒U字型)的两侧,在圆弧部121和U型部122的连接处可以进行圆弧倒角设计,能够使得连接处平滑,避免应力在连接处聚集,提高加热的使用寿命。2个电极连接部200分别连接在加热器本体100的两侧且分别位于圆弧部121的外侧,2个电极连接部200上分别形成有电极孔210。例如,如图1所示,电极连接部200包括位于左侧的第一电极连接部和位于右侧的第二电连接部,第一电极连接部连接左上区域的蛇形体120和左下区域的蛇形体120的最外侧的圆弧部,第二电极连接部连接右上区域的蛇形体120和右下区域的蛇形体120的最外侧的圆弧部。通过螺丝或螺栓穿过电极孔210与电极柱(用于提供电能)连接,通电过程中,加热器1000产生热量并向单晶炉10000提供热量,满足单晶硅生产需求。由此,以上形成的加热器1000各个部分较紧凑和整齐,圆环部110和蛇形体120共同发热,加热效率较高,提高加热器1000材料的利用率,加热器1000材料耗费较少,使得成本降低,且此结构较方便拆卸,能够缩短维护时间,且各个部分有间隙,可以气体能够流通,减少单晶炉10000下方区域的含氧量,提高单晶的品质。进一步地,每组蛇形体120分别包括依次连接的4个圆弧部121以及2个U形部,其中,呈左右对称分布的相邻2组蛇形体120的U形部均匀地间隔开相邻设置。以图1中右上区域的蛇形体120为例,右上区域的蛇形体120的圆弧部121可以包括连接圆环部110且沿着圆环部110的圆周方向间隔开设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热器,用于单晶炉底部加热,其特征在于,包括:/n加热器本体,所述加热器本体包括位于中心的圆环部,及连接所述圆环部且同时呈上下左右对称分布的4组蛇形体,其中,每组所述蛇形体包括:/n圆弧部,所述圆弧部连接所述圆环部且所述圆弧部沿着所述圆环部的圆周方向间隔开设置;/nU形部,所述U形部连接所述圆弧部,/n2个电极连接部,2个所述电极连接部分别连接在所述加热器本体的两侧且分别位于所述圆弧部的外侧,2个所述电极连接部上分别形成有电极孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种加热器,用于单晶炉底部加热,其特征在于,包括:
加热器本体,所述加热器本体包括位于中心的圆环部,及连接所述圆环部且同时呈上下左右对称分布的4组蛇形体,其中,每组所述蛇形体包括:
圆弧部,所述圆弧部连接所述圆环部且所述圆弧部沿着所述圆环部的圆周方向间隔开设置;
U形部,所述U形部连接所述圆弧部,
2个电极连接部,2个所述电极连接部分别连接在所述加热器本体的两侧且分别位于所述圆弧部的外侧,2个所述电极连接部上分别形成有电极孔。


2.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,每组所述蛇形体分别包括依次连接的4个所述圆弧部以及2个所述U形部,其中,呈左右对称分布的相邻2组蛇形体的U形部均匀地间隔开相邻设置。


3.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,所述加热器本体各部分的宽度相等且厚度相等。


4.根据权利要求3所述的加热器,其特征在于,所述加热器本体各部分的厚度为20~30mm。
...

【专利技术属性】
技术研发人员:武绚丽杨西虎宋克冉
申请(专利权)人:曲靖晶龙电子材料有限公司
类型:新型
国别省市:云南;53

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1