辅助固定装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂及两个固定半环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂以带动所述样品固定器旋转。通过用手操纵两个所述夹持臂不仅能够将所述样品固定器夹紧，还可以通过旋转所述夹持臂来带动所述样品固定器旋转，由于夹持臂具有一定的长度，避免了用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题，从而避免对探针造成损坏。

【技术实现步骤摘要】
辅助固定装置
本专利技术涉及半导体失效分析
，尤其涉及一种辅助固定装置。
技术介绍
纳米探针台是一种集成了扫描电子显微镜(SEM)的纳米探针系统，可对集成电路芯片中的器件进行纳米级失效分析，如电学特性参数测量、纳米级断路及短路失效定位、高低温特性量测等。对于常规测试，只需要将样品粘贴在普通的固定器上，通过样品传送杆送进检测腔室内部，随后进行测试。然而高低温测试需要特殊的样品台，以及带有螺纹的特殊固定器来放置样品，放样品时，首先要把样品台升到特定位置，然后手持固定器进行旋转数圈后将螺纹旋紧以将固定器固定在所述样品台上。然而在实际操作中发现，手持特殊固定器进行旋转的过程中存在较大风险，极易碰到价格昂贵的探针，造成针尖损坏，影响工作效率，增加测试成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种辅助固定装置，能够有效解决用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂及两个固定半环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂以带动所述样品固定器旋转。可选的，所述样品固定器包括承载台及连接杆，所述承载台的上表面设置有一待测样品，所述连接杆的一端与所述承载台的下表面连接，另一端设置有外螺纹并通过所述外螺纹与所述纳米探针台螺纹连接。可选的，两个所述固定半环的内壁上均设置有弧形凹槽，两个所述固定半环围合成一个整环时，两个固定半环上的弧形凹槽围合成一环形凹槽，所述承载台卡入所述环形凹槽内。可选的，两个所述弧形凹槽的内壁上均设置有一弹性层。可选的，两个所述固定半环的内壁上均设置有一弹性层。可选的，所述弹性层为橡胶。可选的，两个所述夹持臂的一端交汇于同一点。可选的，两个所述夹持臂的一端通过一弧形连杆连接；或者，两个所述夹持臂交叉设置，且两个所述夹持臂在交叉处相互铰接。可选的，两个所述夹持臂及两个所述固定半环的材质均为金属。可选的，两个所述夹持臂及两个所述固定半环的材质均为奥氏体不锈钢。本专利技术提供了一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂及两个固定半环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂以带动所述样品固定器旋转。通过用手操纵两个所述夹持臂不仅能够将所述样品固定器夹紧，还可以通过旋转所述夹持臂来带动所述样品固定器旋转，由于夹持臂具有一定的长度，避免了用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题，从而避免对探针造成损坏，整个装置结构简单，方便操作，工作效率高。附图说明图1为本专利技术实施例提供的辅助固定装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的样品固定器的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的固定半环的结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的弹性层的结构示意图；图5-图6为本专利技术实施例提供的辅助固定装置的另外两种结构示意图；其中，附图标记为：10-夹持臂；20-固定半环；30-承载台；40-连接杆；50-弧形凹槽；60-弹性层。具体实施方式下面将结合示意图对本专利技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。如图1所示，本实施例提供了一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂10及两个固定半环20，两个所述夹持臂10的一端相互连接，两个所述夹持臂10的另一端分别与两个所述固定半环20连接，两个所述夹持臂10的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环20相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂10以带动所述样品固定器旋转。具体的，请参照图2，所述样品固定器包括相互连接的承载台30和连接杆40，所述承载台30的上表面设置有一待测样品，所述连接杆40的一端与所述承载台30的下表面连接，另一端设置有外螺纹并通过所述外螺纹与所述纳米探针台螺纹连接。可以理解为所述纳米探针台上的设定位置处设置有螺纹孔，通过将所述连接杆40旋入所述螺纹孔内以将所述样品固定器固定在所述纳米探针台上。本实施例中，所述样品固定器可以是一体成型结构，也可以是将承载台30的底面与连接杆40的一端焊接而成，还可以是承载台30与连接杆40可拆卸连接形成，例如是螺纹连接，本申请对此不作限制。本实施例中，所述承载台30的形状例如是方形或圆盘形，本申请对此不作限制，本实施例中，所述承载台30为圆盘形，且所述承载台30的表面的面积大于待测样品的面积，以更好的固定住所述待测样品样品。本实施例中，所述待测样品例如是晶圆、芯片或其他待测试的器件，本申请对此不作限制。所述待测样品与所述承载台30的固定方式为胶粘，以避免对待测样品的表面造成损伤，且胶粘的方式容易取下待测样品。所述胶粘的粘剂包括但不限于是银胶。请继续参照图1，两个所述夹持臂10的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环20相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂10以带动所述样品固定器旋转。由于夹持臂10具有一定的长度，通过用手操纵两个所述夹持臂10不仅能够将所述样品固定器夹紧，还可以通过旋转所述夹持臂10来带动所述样品固定器旋转，避免了用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题，从而避免对探针造成损坏。具体操作时，可先将样品固定在所述样品固定器上，然后通过检测人员用手使两个所述夹持臂10的另一端相对运动以夹住所述样品固定器，之后再用手旋转所述夹持臂10以带动所述样品固定器旋转，进而将所述样品固定器固定在所述纳米探针台上，整个装置结构简单，操纵方便，且工作效率高。本实施例中，所述夹持臂10与所述固定半环20可以是一体成型结构，也可以通过焊接、螺纹连接以及其它的连接方式连接而成，本申请对此不作限制。请参照图3，两个所述固定半环20的内壁上均设置有弧形凹槽50，两个所述固定半环20围合成一个整环时，两个固定半环20上的弧形凹槽50围合成一环形凹槽，所述承载台30卡入所述环形凹槽内。通过设置弧形凹槽50以便于更好的固定住所述样品固定器，防止所述样品固定器在旋转过程中脱落或掉落。本实施例中，所述弧形凹槽50位于所述固定半环20的内壁下半部分，相当于所述固定半环20本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，其特征在于，包括两个夹持臂及两个固定半环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂以带动所述样品固定器旋转。/n

【技术特征摘要】
1.一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，其特征在于，包括两个夹持臂及两个固定半环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂以带动所述样品固定器旋转。


2.如权利要求1所述的辅助固定装置，其特征在于，所述样品固定器包括承载台及连接杆，所述承载台的上表面设置有一待测样品，所述连接杆的一端与所述承载台的下表面连接，另一端设置有外螺纹并通过所述外螺纹与所述纳米探针台螺纹连接。


3.如权利要求2所述的辅助固定装置，其特征在于，两个所述固定半环的内壁上均设置有弧形凹槽，两个所述固定半环围合成一个整环时，两个固定半环上的弧形凹槽围合成一环形凹槽，所述承载台卡入所述环形凹槽内。

【专利技术属性】
技术研发人员：赵新伟，凌翔，高金德，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31