一种半导体制备用抛光装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体加工设备技术领域，且公开了一种半导体制备用抛光装置，包括工作台，所述工作台上表面的四角均固定连接有第一立柱，所述第一立柱上表面固定连接有顶板，所述顶板上表面中部开设有滑动槽，所述滑动槽内壁滑动连接有滑动台，所述滑动台右侧面的前后两侧均插接有滑动杆。该半导体制备用抛光装置，通过第二驱动电机、转动轴、转动盘、曲柄、连接板和滑动台配合使用，使得第二驱动电机通过转动轴带动转动盘转动，转动盘通过曲柄带动滑动台左右运动，从而进一步增大了该装置对于半导体制品的抛光面积，使得该装置可以对较长的半导体制品进行抛光，进一步提高了该装置的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制备用抛光装置
本专利技术涉及半导体加工设备
，具体为一种半导体制备用抛光装置。
技术介绍
半导体材料是一类具有半导体性能，可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料，由于半导体材料结构稳定，拥有卓越的电学特性，而且成本低廉，因此被用于制造现代电子设备中广泛使用的场效应晶体管，在半导体制造中，磨削和研磨等磨料处理是生产半导体晶片必要方式，然而磨削和研磨会导致单晶硅晶片的表面完整性变差，因此抛光和平面化对生产微电子原件来说是十分重要的；一般的半导体抛光设备是通过固定的打磨带对半导体制品进行打磨的；现有技术半导体制备用抛光装置抛光效率较低，难以对较长半导体制品进行抛光，且抛光过程中产生的灰尘容易对工作环境造成污染，并对工作人员的身体健康造成一定的伤害。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种半导体制备用抛光装置，解决了现有技术半导体制备用抛光装置抛光效率较低，难以对较长半导体制品进行抛光，且抛光过程中产生的灰尘容易对工作环境造成污染，并对工作人员的身体健康造成一定的伤害的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体制备用抛光装置，包括工作台，所述工作台上表面的四角均固定连接有第一立柱，所述第一立柱上表面固定连接有顶板，所述顶板上表面中部开设有滑动槽，所述滑动槽内壁滑动连接有滑动台，所述滑动台右侧面的前后两侧均插接有滑动杆，所述滑动杆外端与滑动槽的内壁固定连接，所述滑动台下表面的四角均插接有滑动柱，所述滑动柱底端固定连接有升降台，所述升降台下表面固定连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机输出端固定连接有抛光盘，所述滑动台下表面固定连接有推杆电机，所述推杆电机的输出端与升降台的上表面固定连接，所述滑动台上表面的右侧固定连接有连接板，所述顶板上表面的右侧转动连接有转动轴，所述顶板下表面的右侧固定连接有电机支撑台，所述电机支撑台的正面固定连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端与转动轴的底端固定连接，所述转动轴外表面的顶部套接有转动盘，所述转动盘上表面的前侧固定连接有固定销，所述固定销外表面转动连接有曲柄，所述曲柄的左端与连接板的右侧面转动连接，所述工作台上表面中部固定连接有固定装置，所述工作台下表面的四角均固定连接有第二立柱，所述第二立柱下表面固定连接有底板，所述底板上表面中部固定连接有除尘装置，所述底板下表面的四角均固定连接有减震柱。优选的，所述固定装置包括放置台，放置台上表面的前后两侧均固定连接有固定板，固定板内侧面的左右两侧均固定连接有滑动轴，滑动轴外表面的前后两侧均套接有夹紧板，滑动轴外表面的前后两侧均套接有第一弹簧，固定板内侧面中部插接有拉动杆，拉动杆的内端与夹紧板的外侧面固定连接，拉动杆的外端固定连接有拉环。优选的，所述除尘装置包括除尘箱，除尘箱内壁滑动连接有集尘盒，集尘盒正面的中部固定连接有把手，集尘盒右侧面设置有过滤网，除尘箱右侧面的中部设置有排风扇，除尘箱上表面的中部连通有除尘管，除尘管的前端连通有进风斗，集尘盒正面的左右两侧均固定连接有锁钩，除尘箱正面的左右两侧均固定连接有锁扣。优选的，所述放置台上表面的左右两侧均固定连接有T形滑轨，夹紧板下表面开设有与T形滑轨相适配的T形滑槽。优选的，所述把手的外表面设置有摩擦防滑层，摩擦防滑层的外表面设置有摩擦防滑纹路。优选的，所述减震柱包括支撑柱，支撑柱外表面的底部套接有支撑套筒，支撑套筒下表面固定连接有垫板，支撑套筒内部设置有第二弹簧。优选的，所述滑动台正面和背面均固定连接有两组方形滑轨，滑动槽内壁开设有与方形滑轨相适配的方形滑槽。优选的，所述的一种半导体制备用抛光装置，其特征在于：包括：定位模块、信息获取模块一、伸缩管装置、高度传感器、信息获取模块二、控制模块；所述定位模块设置于所述抛光盘上；所述信息获取模块一与所述定位模块相连；所述伸缩管装置设置于所述除尘管最上端且与进风斗相连；所述高度传感器设置于所述抛光盘的上端；所述信息获取模块二与所述高度传感器相连；所述控制模块与所述信息获取模块二相连；所述定位模块用于获取所述抛光盘抛光移动时的第一位置信息；所述信息获取模块一用于接收来自所述定位模块的第一位置信息并结合所述进风斗的位置来计算所述进风斗应该调整的角度，还计算从所述定位模块开始获取所述抛光盘抛光移动时的第一位置信息到所述信息获取模块一接收完来自所述定位模块的第一位置信息之间延迟导致的位置偏差，并基于所述定位模块获取的所述抛光盘抛光移动时的第一位置信息和所述定位模块的定时数据以及所述延迟导致的位置偏差获取所述抛光盘抛光移动时的最终位置信息；所述高度传感器用于测量在抛光时所述抛光盘的高度；所述信息获取模块二用于接收来自所述高度传感器测量的所述抛光盘的高度信息；所述控制模块用于根据所述信息获取模块二接收的高度信息和所述信息获取模块一计算的所述进风斗应该调整的角度以及获取的最终位置信息，来控制所述伸缩管装置的长度和所述进风斗的角度；其中，所述控制模块包括：信息分析单元用于判断所述抛光盘是否在工作，若是，则发送与高度信息和应该调整的角度相关的信号至命令单元，并传至控制器；所述控制器用于发出控制命令至伺服驱动器；所述伺服驱动器用于驱动伺服电机对所述进风斗的角度和所述伸缩管装置的长度进行调整。优选的，所述的一种半导体制备用抛光装置，其特征在于：还包括：速度传感器、计算模块一、计算模块二、比较模块、纠正模块、警示器；所述速度传感器设置于所述抛光盘的上表面，用于获得所述抛光盘的角速度；所述计算模块一用于基于所述速度传感器获得的角速度计算出被抛光物体表面的材料去除率；H＝2aπRωP；式中，H为被抛光物体表面的材料去除率，a为比例常数，R为所述抛光盘的半径，ω为所述抛光盘的旋转角速度，P为所述抛光盘与被抛光物体之间的压力；所述计算模块二用于计算所述抛光盘的重心与被抛光物体的重心的偏心量；式中，e为所述抛光盘重心与被抛光物体重心的偏心量，μ为所述抛光盘与被抛光物体重心之间的摩擦系数，g为重力加速度，ω为所述抛光盘的旋转角速度；所述比较模块用于基于所述计算模块一计算出的被抛光物体表面的材料去除率和所述计算模块二计算出的所述抛光盘重心与被抛光物体重心的偏心量计算出偏差系数，并将所述偏差系数与预设的偏差系数比较；A＝eH；式中，A为抛光装置的偏差系数，e为所述抛光盘重心与被抛光物体重心的偏心量，H为被抛光物体表面的材料去除率；当所述偏差系数低于预设的偏差系数时，传输信号给警示器发出警报，并传输信号给纠正模块发出控制命令至伺服驱动器，伺服驱动器驱动伺服电机进行转速调整。(三)有益效果与现有技术相比，本专利技术提供了一种半导体制备用抛光装置，具备以下有益效果：1、该半导体制备用抛光装置，通过第二驱动电机、转动轴、转动盘、曲柄本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体制备用抛光装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上表面的四角均固定连接有第一立柱(2)，所述第一立柱(2)上表面固定连接有顶板(3)，所述顶板(3)上表面中部开设有滑动槽(301)，所述滑动槽(301)内壁滑动连接有滑动台(4)，所述滑动台(4)右侧面的前后两侧均插接有滑动杆(5)，所述滑动杆(5)外端与滑动槽(301)的内壁固定连接，所述滑动台(4)下表面的四角均插接有滑动柱(6)，所述滑动柱(6)底端固定连接有升降台(7)，所述升降台(7)下表面固定连接有第一驱动电机(8)，所述第一驱动电机(8)输出端固定连接有抛光盘(9)，所述滑动台(4)下表面固定连接有推杆电机(10)，所述推杆电机(10)的输出端与升降台(7)的上表面固定连接，所述滑动台(4)上表面的右侧固定连接有连接板(11)，所述顶板(3)上表面的右侧转动连接有转动轴(12)，所述顶板(3)下表面的右侧固定连接有电机支撑台(13)，所述电机支撑台(13)的正面固定连接有第二驱动电机(14)，所述第二驱动电机(14)的输出端与转动轴(12)的底端固定连接，所述转动轴(12)外表面的顶部套接有转动盘(15)，所述转动盘(15)上表面的前侧固定连接有固定销(16)，所述固定销(16)外表面转动连接有曲柄(17)，所述曲柄(17)的左端与连接板(11)的右侧面转动连接，所述工作台(1)上表面中部固定连接有固定装置(18)，所述工作台(1)下表面的四角均固定连接有第二立柱(19)，所述第二立柱(19)下表面固定连接有底板(20)，所述底板(20)上表面中部固定连接有除尘装置(21)，所述底板(20)下表面的四角均固定连接有减震柱(22)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种半导体制备用抛光装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上表面的四角均固定连接有第一立柱(2)，所述第一立柱(2)上表面固定连接有顶板(3)，所述顶板(3)上表面中部开设有滑动槽(301)，所述滑动槽(301)内壁滑动连接有滑动台(4)，所述滑动台(4)右侧面的前后两侧均插接有滑动杆(5)，所述滑动杆(5)外端与滑动槽(301)的内壁固定连接，所述滑动台(4)下表面的四角均插接有滑动柱(6)，所述滑动柱(6)底端固定连接有升降台(7)，所述升降台(7)下表面固定连接有第一驱动电机(8)，所述第一驱动电机(8)输出端固定连接有抛光盘(9)，所述滑动台(4)下表面固定连接有推杆电机(10)，所述推杆电机(10)的输出端与升降台(7)的上表面固定连接，所述滑动台(4)上表面的右侧固定连接有连接板(11)，所述顶板(3)上表面的右侧转动连接有转动轴(12)，所述顶板(3)下表面的右侧固定连接有电机支撑台(13)，所述电机支撑台(13)的正面固定连接有第二驱动电机(14)，所述第二驱动电机(14)的输出端与转动轴(12)的底端固定连接，所述转动轴(12)外表面的顶部套接有转动盘(15)，所述转动盘(15)上表面的前侧固定连接有固定销(16)，所述固定销(16)外表面转动连接有曲柄(17)，所述曲柄(17)的左端与连接板(11)的右侧面转动连接，所述工作台(1)上表面中部固定连接有固定装置(18)，所述工作台(1)下表面的四角均固定连接有第二立柱(19)，所述第二立柱(19)下表面固定连接有底板(20)，所述底板(20)上表面中部固定连接有除尘装置(21)，所述底板(20)下表面的四角均固定连接有减震柱(22)。


2.根据权利要求1所述的一种半导体制备用抛光装置，其特征在于：所述固定装置(18)包括放置台(1801)，放置台(1801)上表面的前后两侧均固定连接有固定板(1802)，固定板(1802)内侧面的左右两侧均固定连接有滑动轴(1803)，滑动轴(1803)外表面的前后两侧均套接有夹紧板(1804)，滑动轴(1803)外表面的前后两侧均套接有第一弹簧(1805)，固定板(1802)内侧面中部插接有拉动杆(1806)，拉动杆(1806)的内端与夹紧板(1804)的外侧面固定连接，拉动杆(1806)的外端固定连接有拉环(1807)。


3.根据权利要求1所述的一种半导体制备用抛光装置，其特征在于：所述除尘装置(21)包括除尘箱(2101)，除尘箱(2101)内壁滑动连接有集尘盒(2102)，集尘盒(2102)正面的中部固定连接有把手(2103)，集尘盒(2102)右侧面设置有过滤网(2104)，除尘箱(2101)右侧面的中部设置有排风扇(2105)，除尘箱(2101)上表面的中部连通有除尘管(2106)，除尘管(2106)的前端连通有进风斗(2107)，集尘盒(2102)正面的左右两侧均固定连接有锁钩(2108)，除尘箱(2101)正面的左右两侧均固定连接有锁扣(2109)。


4.根据权利要求2所述的一种半导体制备用抛光装置，其特征在于：所述放置台(1801)上表面的左右两侧均固定连接有T形滑轨，夹紧板(1804)下表面开设有与T形滑轨相适配的T形滑槽。


5.根据权利要求3所述的一种半导体制备用抛光装置，其特征在于：所述把手(2103)的外表面设置有摩擦防滑层，摩擦防滑层的外表面设置有摩擦防滑纹路。


6.根据权利要求1所述的一种半导体制备用抛光装置，其特征在于：所述减震柱(22)包括支撑柱，支撑柱外表面的底部套接有支撑套筒，支撑套筒下表面固定连接有垫板，支撑套筒内部设置有第二弹簧。


7.根据权利要求1所述的一种半导体制备用抛光装置，其特征在于：所述滑动台(4)正面和背面均固定连...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈玉琼，
申请(专利权)人：广州集佳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44