一种电子级三氯氧磷自动加注装置制造方法及图纸

技术编号:26817373 阅读:35 留言:0更新日期:2020-12-25 11:44
本实用新型专利技术属于三氯氧磷生产技术领域,具体为一种电子级三氯氧磷自动加注装置,包括反应釜本体,所述反应釜本体的顶部设有储液罐,所述储液罐一侧的顶部固定连通有加液管,所述储液罐的底部与反应釜本体的顶部通过套筒固定连接,所述反应釜本体的内顶部设有漂浮板,所述漂浮板的顶部固定连接有滑杆,所述滑杆的一端贯穿反应釜本体的顶部并向套筒内延伸,所述滑杆延伸的一端固定连接有补液活塞,所述储液罐的底部固定连通有与补液活塞对应的补液管,所述套筒两侧的底部均固定连通有导流管,本实用新型专利技术中补液由浮力控制自动完成,实现无能源驱动自动连续供液,液面控制精确度高,提高产品质量和工艺的稳定性,从而降低了投资成本。

【技术实现步骤摘要】
一种电子级三氯氧磷自动加注装置
本技术属于三氯氧磷生产
,尤其涉及一种电子级三氯氧磷自动加注装置。
技术介绍
制作太阳能电池PN结时,通常用保护性气体(氮气)通过恒温的三氯氧磷液态源瓶鼓泡或吹过表面,把杂质源蒸汽带入高温扩散炉中,经高温热同硅片表面反应生成磷原子,并向硅片内扩散掺杂而形成PN结,三氯氧磷属于液态磷源,在常温下就有较高的饱和蒸汽压,因此反应釜内的三氯氧磷液面会不断下降,当液面下降到较低位置时,炉口和炉尾的硅片扩散的均匀性会有较大的差异,这种不均匀性对能量转换效率有直接的影响,需要严格按设定参数控制反应釜内的三氯氧磷液面高度而设置补液装置。现有采用自动补液的装置,通常设置液面传感器,通过控制器控制电磁阀的启闭来实现自动补液,但装置的复杂化受电子元件可靠性概率影响,直接影响液面高度的准确性,造成良品率下降,也加大了投资成本。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中问题,而提出的一种电子级三氯氧磷自动加注装置。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种电子级三氯氧磷自动加注装置,包括反应釜本体,所述反应釜本体的顶部设有储液罐,所述储液罐一侧的顶部固定连通有加液管,所述储液罐的底部与反应釜本体的顶部通过套筒固定连接,所述反应釜本体的内顶部设有漂浮板,所述漂浮板的顶部固定连接有滑杆,所述滑杆的一端贯穿反应釜本体的顶部并向套筒内延伸,所述滑杆延伸的一端固定连接有补液活塞,所述储液罐的底部固定连通有与补液活塞对应的补液管,所述套筒两侧的底部均固定连通有导流管,所述导流管远离套筒的一端与反应釜本体相连通,所述反应釜本体的底部固定连通有排料管,所述排料管上安装有排料管阀门。优选地,所述储液罐上设有观察窗口,所述观察窗口内固定插设有透明玻璃。优选地,所述补液活塞的两端均固定连接有滑块,所述套筒的内壁上设有与滑块对应的滑槽。优选地,所述导流管上安装有导流管阀门。优选地,所述反应釜本体上的贯穿口内设有环形凹槽,所述环形凹槽内滑动连接有多个滚珠,所述滚珠的边缘与滑杆相接触。优选地,所述补液活塞的顶部设有与补液管对应的限流孔。有益效果:本技术中,当三氯氧磷反应釜进行工作时,关闭排料管阀门并开启导流管阀门,载液从储液罐内依靠重力通过导流管流入反应釜本体内进行自动补液,当载液补给过多时,浮力使漂浮板上升,漂浮板在上升的过程中带动滑杆向上滑动,使补液活塞关闭补液管,补液过程自动停止,当载液不足时,漂浮板受重力作用下降,带动滑杆向下滑动,使补液活塞打开补液管,补液自动进行。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为一种电子级三氯氧磷自动加注装置的正视剖面结构示意图;图2为一种电子级三氯氧磷自动加注装置的俯视结构示意图;图3为图1中的A处放大结构示意图。图中:1-反应釜本体,2-储液罐,3-加液管,4-套筒,5-漂浮板,6-滑杆,7-补液活塞,8-补液管,9-导流管,10-排料管,11-排料管阀门,12-透明玻璃,13-滑块,14-导流管阀门,15-滚珠,16-限流孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。参照图1-3,一种电子级三氯氧磷自动加注装置,包括反应釜本体1,反应釜本体1的顶部设有储液罐2,储液罐2一侧的顶部固定连通有加液管3,用于向储液罐2内补充三氯氧磷液体,储液罐2的底部与反应釜本体1的顶部通过套筒4固定连接,反应釜本体1的内顶部设有漂浮板5,用于带动滑杆6进行上下滑动,漂浮板5的顶部固定连接有滑杆6,用于滑杆6在滑动的过程中带动补液活塞7进行上下移动,滑杆6的一端贯穿反应釜本体1的顶部并向套筒4内延伸,滑杆6延伸的一端固定连接有补液活塞7,使补液活塞7控制补液管8的开启与关闭,储液罐2的底部固定连通有与补液活塞7对应的补液管8,套筒4两侧的底部均固定连通有导流管9,用于向反应釜本体1内补充三氯氧磷液体,导流管9远离套筒4的一端与反应釜本体1相连通,反应釜本体1的底部固定连通有排料管10,排料管10上安装有排料管阀门11,用于控制排料管10的流量与流速。本实施例中,储液罐2上设有观察窗口,观察窗口内固定插设有透明玻璃12,便于查看储液罐2内三氯氧磷液体的余量。本实施例中,补液活塞7的两端均固定连接有滑块13,套筒4的内壁上设有与滑块13对应的滑槽,用于对补液活塞7起到一定的支撑作用。本实施例中,导流管9上安装有导流管阀门14,用于控制导流管9的流量与流速。本实施例中,反应釜本体1上的贯穿口内设有环形凹槽,环形凹槽内滑动连接有多个滚珠15,滚珠15的边缘与滑杆6相接触,用于减小滑杆6和贯穿口之间的摩擦力。本实施例中,补液活塞7的顶部设有与补液管8对应的限流孔16。工作原理:当三氯氧磷反应釜进行工作时,关闭排料管阀门11并开启导流管阀门14,载液从储液罐2内依靠重力通过导流管9流入反应釜本体1内进行自动补液,当载液补给过多时,浮力使漂浮板5上升,漂浮板5在上升的过程中带动滑杆6向上滑动,使补液活塞7关闭补液管8,补液过程自动停止,当载液不足时,漂浮板5受重力作用下降,带动滑杆6向下滑动,使补液活塞7打开补液管8,补液自动进行。以上所述,仅为本技术较佳的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内,根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种电子级三氯氧磷自动加注装置,包括反应釜本体(1),其特征在于:所述反应釜本体(1)的顶部设有储液罐(2),所述储液罐(2)一侧的顶部固定连通有加液管(3),所述储液罐(2)的底部与反应釜本体(1)的顶部通过套筒(4)固定连接,所述反应釜本体(1)的内顶部设有漂浮板(5),所述漂浮板(5)的顶部固定连接有滑杆(6),所述滑杆(6)的一端贯穿反应釜本体(1)的顶部并向套筒(4)内延伸,所述滑杆(6)延伸的一端固定连接有补液活塞(7),所述储液罐(2)的底部固定连通有与补液活塞(7)对应的补液管(8),所述套筒(4)两侧的底部均固定连通有导流管(9),所述导流管(9)远离套筒(4)的一端与反应釜本体(1)相连通,所述反应釜本体(1)的底部固定连通有排料管(10),所述排料管(10)上安装有排料管阀门(11)。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子级三氯氧磷自动加注装置,包括反应釜本体(1),其特征在于:所述反应釜本体(1)的顶部设有储液罐(2),所述储液罐(2)一侧的顶部固定连通有加液管(3),所述储液罐(2)的底部与反应釜本体(1)的顶部通过套筒(4)固定连接,所述反应釜本体(1)的内顶部设有漂浮板(5),所述漂浮板(5)的顶部固定连接有滑杆(6),所述滑杆(6)的一端贯穿反应釜本体(1)的顶部并向套筒(4)内延伸,所述滑杆(6)延伸的一端固定连接有补液活塞(7),所述储液罐(2)的底部固定连通有与补液活塞(7)对应的补液管(8),所述套筒(4)两侧的底部均固定连通有导流管(9),所述导流管(9)远离套筒(4)的一端与反应釜本体(1)相连通,所述反应釜本体(1)的底部固定连通有排料管(10),所述排料管(10)上安装有排料管阀门(11)。


2.根据权利要求1所述的一种电子级三氯氧磷自动加注装...

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋淑玲翟慈慈张名艳
申请(专利权)人:宿州汉泰化工有限公司
类型:新型
国别省市:安徽;34

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