一种光纤束，包括： 多条光纤，在输入端侧和输出端侧被捆起来； 所述光纤从输入端侧接收光并将光输出到输出端侧； 连接构件，提供给所述光纤束； 其中， 根据所述光纤的输出端侧位置，在所述输入端侧将所述光纤一个一个单独分开或分成多个组，及 所述光纤束布置成适于调节从每个所述光纤或每个所述组的所述输入端侧接收的所述光。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，尤其涉及光源装置中光纤束的输出光强度分布的控制。
技术介绍
光纤束有几个至几千个捆起来的光纤。捆起来的光纤在光纤束的末端部分被粘合并抛光。光纤束广泛用于发光或能量转移。如图11所示，光纤束的管10的两个端部120和130通常用套管状金属配件等固定，但在光纤束的中间部分，易弯曲性得到保护。因此，增大光纤束的光输入区域或输出区域，同时其空间自由度得到保护。因此，当输出区域作得极小、光纤光源放在期望位置上时，可以将光纤束安装在任何地方。这样，在各个领域都试图将利用光纤束的光源装置用于在光分档器中的曝光光源或熟化粘结光学元件用的照相排版树脂等的光源。在这种情况下，要求输出光强度分布均匀。在其输出侧上环状的光纤束中，还需要输出光强度分布同心均匀且圆周均匀。此外，当光源装置用作分档器(stepper)中的曝光光源时，需要根据抗蚀剂来改变曝光光的波长或者调整照射能量。这样，无论什么场合，都需要不同的光源装置。而且，分档器需要一个在曝光之前将掩模与晶片对准的步骤，即掩模对准步骤。在掩模对准步骤中，需要具有波长不同于抗蚀剂的敏感波长的光源。这样，需要两个不同光源。或者，还有一种方法，其中，在对准时大规模地降低用于曝光的光源的光强度，以便光源用作对准光源。但是，存在的问题的是在对准时，不可避免地要使抗蚀剂曝光。而且，希望调节对准时要被照射的区域，原因是没有必要照射整个晶片表面，而是只照射设在虚区域例如晶片周围边沿部分中的对准标记即可。但是，现有的光源装置不能实现这种区域定义。此外，需要降低相应于周围边沿部分的区域中的光强度。然而，仅降低周围部分中的光强度是很困难的。当以规则的强度分布进行曝光时，在周围边沿部分出现过度曝光，导致模糊。这样，就有不能得到精确的抗蚀图形的问题。所以，有必要使曝光范围适于照射光强度分布。但是在典型的方法中，用光均匀照射晶片是基本的，但对每个区域来说，很难改变强度或改变照射波长。而且，近年来，随着数字照相机等的发展，光学元件作得越来越精细。在安装这种光学元件时，对更准确对准并固定的要求日益增长。当利用照相排版树脂将光学元件彼此固定时，希望用不同种类的树脂来完成两个阶段的熟化处理。在这种情况下，需要用具有不同发射波长的两个独立光源作为用于处理的光源。因此，难以将这种处理付诸实施。对于使光强度均匀的要求，在现有技术中，采纳了一种方法，其中，在光纤束的输出侧上使光纤随机化，以便调节光强度分布。具有高光强度的光纤与具有低光强度的纤维适当地均匀混合，以便能得到期望的均匀输出光强度分布。在这种方法中，光纤在光纤束中被随机化，然后，确认光纤束的输出光强度。如果确认的结果输出光强度不均匀，则将光纤随机化，使得输出光强度是均匀的。所以，光纤束的产量和生产效率受到这种随机方法的限制。此外，在这种方法中，不能定义或改变从光纤束照射的输出光的区域。而且，当利用光纤束精确控制输出光强度时，光纤束输出端附近的照度必须如图12所示那样在经照度传感器600测量并反馈给光源。但是，这导致装置尺寸变大。此外，光学系统200还变成了妨碍装置小型化的主要因素。而且，即使能用大尺寸的装置控制光强度分布，也不能利用同一光源装置中的光纤束来调节波长。因此，需要提供一种用于对准的光源和用于独立曝光的光源。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能有效控制输出光强度分布的光纤束和光源装置以及利用光纤束的制造方法。本专利技术的另一个目的是提供一种光纤束和利用光纤束的光源装置，在所述光纤束中，输出光强度能得到精确控制。本专利技术的再一个目的是提供一种光纤束和利用光纤束的光源装置，在所述光纤束中，输出光强度分布能改变。本专利技术的再一个目的是提供一种光纤束和利用光纤束的光源装置，在所述光纤束中，输出光波长可以改变。本专利技术的再一个目的是提供一种能容易地制造光纤束的制造方法。所以，根据本专利技术，提供一种光纤束，包含多条光纤，在输入端侧和输出端侧被捆起来，光纤从输入端侧接收光并将光输出到输出端侧；连接构件，提供给光纤束；其中，根据光纤的输出端侧位置，在输入端侧将光纤一个一个单独分开或分成多个组，光纤束布置成适于调节从每个光纤或每组光纤输入端侧接收的光。用这种结构，不用调节光纤束本身的对准，调节输入光就可以了。因此，能有效且精确地控制光强度或波形。通过调节从输入端侧接收的光，可得到期望的输出图形。每条光纤最好包括连接构件。这样，转换用于光纤的光源变得容易了，并且能精确地调节光强度分布。最好根据光纤输出端侧位置将其分成多个组，每个组最好包括连接构件。这样，可以对每组调节用于光纤的光源，以便有效获得期望的光强度分布。此外，当为每条光纤或每组光纤设有光强度调节构件时，可以得到精确的光强度分布。而且，当设有光强度调节构件例如光阑时，即使光来自一个单独光源，也能调节用于每条光纤或每组光纤的光强度。此外，当光纤设计成能直接和用于每条光纤或每组光纤的光纤光源连接时，不需要设置任何连接构件。这样，能得到极精确的控制。此外，可以独立控制光强度或发射波长，以便能容易地获得具有期望光强度分布和期望发射波长的光。光纤束最好包括检测光纤束输出端侧输出光的光纤。不必特殊设计光纤。光纤可以不连接光源而连接它们输入端侧的光敏探测器。当用每个光敏探测器测量根据接收的光强度流过的电流，可以容易地检测光强度。那样，可以根据光敏探测器的输出调节与光纤连接的光纤光源的光强度，该光纤的输出端放在光敏探测器的检测位置附近。以这种方式，可以容易地得到精确的控制。最好根据光纤的输出端侧位置将其分成多个组，在检测其输出光的每个组中包括用于检测的光纤。当根据在光敏探测器的输出侧调节输入端的输入光时，能获得精确调节后的光强度分布。希望在其输出端侧以角形、环形或圆形对准光纤。根据本专利技术，在对准的范围内能很容易地得到期望的光图形。还希望将输出端侧光纤的末端表面位置设计成彼此能相对调节，使得能改变输出图形。在这种情况下，能根据输出端侧位置作出调节，使得对调节来说能保护自由度。此外，光纤的直径可以作成等于用于通信的光纤的包层直径。在这种情况下，可以很容易减小连接部分中的传输损失。而且，每条光纤在输入端侧包括缓冲光纤部分，缓冲光纤部分设计成具有多阶变化的包层直径。在这种情况下，可以容易地降低连接部分中的传输损耗。最好用多模光纤作为光纤。在这种情况下，能传送更多功率。最好用单模光纤作为光纤。在这种情况下，成本被降低，可以用光纤束更有效地传输功率。而且，光纤可以布置成单模光纤制成的光纤用于检测，多模光纤制成的光纤用于输出。在这种情况下，能获得廉价、高可靠性的光纤束。当在输出端侧将光纤分成多个组时，可以将一个光源用于多个分档器中的曝光。这样，能得到尺寸小、成本低的光源装置。根据本专利技术的一种光源装置，包含光纤光源；光纤束，在输入端侧从光纤光源接收光，将光输出到输出端侧，光纤束包括在输入端侧和输出端侧捆成期望形状的多条光纤，其中，根据光纤的输出端侧位置，在输入端侧将光纤一个一个单独分开或分成多个组，光纤束布置成适于调节从每个光纤或每组光纤输入端侧接收的光。每条光纤最好包括连接构件，每条光纤通过连接构件和光纤光源连接。最好根据输出端侧位置将光纤分成多个组，每个组包括连接构件并通过连接构件和光纤光源连接。光纤最好通过为每条光纤或本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：铃木俊美，肉户资彦，远藤壮一，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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