本发明专利技术公开了一种离子注入机上进出料的切换装置，包括矩形的基座，基座的中部成型有贯穿基座上、下端面的球面形卡槽，球面形卡槽内插接有承载座，承载座的外端面呈球面形并抵靠在球面形卡槽的内壁上；所述承载座前端的外壁上插接固定有旋转轴，旋转轴的前端插设在基座内并和旋转气缸的活塞杆相固接，旋转气缸固定在基座的前端面上；承载座上端面的中心成型有贯穿承载座右侧端面的上安置槽，上安置槽的左侧内壁上成型有上限位槽，上限位槽的左侧内壁上成型有贯穿承载座左侧外壁的上推料槽，基座的右侧外壁上成型有与上安置槽相对的进料槽。
【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机上进出料的切换装置
本专利技术涉及离子注入机的
，更具体地说涉及一种离子注入机上进出料的切换装置。
技术介绍
离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入。现有的离子注入机设有离子源、引出电极和离子分析器、加速管和扫描系统，扫描系统有静电扫描、机械扫描、混合扫描和平行扫描之分，机械扫描中，离子束是固定的，硅片定位在可旋转的转盘上，通过转盘的旋转，实现硅片机械移动，进而利用转盘可以实现硅片上的离子注入；目前采用机械手并利用吸持方式提取已注入离子的硅片和安放新的硅片，已加工的硅片和未加工的硅片放在两条输送带上，一般需要两台机械手各自进行出料和进料的操作，采用两台机械手，使得离子注入机的成本加高。
技术实现思路
本专利技术的目的就是针对现有技术之不足，而提供了一种离子注入机上进出料的切换装置，其能实现已加工硅片和未加工硅片的工位切换，便于一台机械手进行进出料操作，从而可以节省制造离子注入机的成本。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案如下：一种离子注入机上进出料的切换装置，包括矩形的基座，基座的中部成型有贯穿基座上、下端面的球面形卡槽，球面形卡槽内插接有承载座，承载座的外端面呈球面形并抵靠在球面形卡槽的内壁上；所述承载座前端的外壁上插接固定有旋转轴，旋转轴的前端插设在基座内并和旋转气缸的活塞杆相固接，旋转气缸固定在基座的前端面上；所述承载座上端面的中心成型有贯穿承载座右侧端面的上安置槽，上安置槽的左侧内壁上成型有上限位槽，上限位槽的左侧内壁上成型有贯穿承载座左侧外壁的上推料槽，基座的右侧外壁上成型有与上安置槽相对的进料槽；所述承载座的下端面上成型有贯穿承载座左侧外壁的下安置槽，下安置槽的右侧内壁上成型有下限位槽，下限位槽的右侧内壁上成型有贯穿承载座右侧外壁的下推料槽，所述基座的右侧外壁上成型有与下推料槽相对的出料槽，基座的出料槽内插接有L型的推料板，推料板的右侧固定连接有推料气缸，推料气缸的活塞杆穿过推料板固定在侧支架板上；所述球面形卡槽前、后侧的基座下端面上成型有竖直的支撑座，侧支架板的两端固定在支撑座上。优选的，所述基座的支撑座成型有若干矩形的槽孔，槽孔的下底面上成型有贯穿支撑座下端面的安装孔。优选的，所述承载座外壁的直径等于基座内球面形卡槽内壁的直径，承载座的上、下端面分别与基座的上、下端面相齐平。优选的，所述支撑座下端面至基座下端面的距离大于承载座外壁的半径。优选的，所述承载座上的上安置槽底面、上限位槽的底面和基座上进料槽的下底面在同一平面内，下安置槽的底面的和下限位槽的底面在同一平面内。优选的，所述承载座上的上推料槽宽度小于上限位槽的宽度，下限位槽的宽度大于下推料槽的宽度。优选的，所述旋转气缸的旋转角度为度，承载座的下侧设有输送带。优选的，所述基座的右侧外壁上固定有进料槽相对的进料槽板，进料槽板的下端面固定有斜支撑，斜支撑的下端固定在基座的右侧外壁上。本专利技术的有益效果在于：其能实现已加工硅片和未加工硅片的工位切换，便于一台机械手进行进出料操作，从而可以节省制造离子注入机的成本。附图说明图1为本专利技术立体的结构示意图；图2为本专利技术正视的结构示意图；图3为本专利技术半剖的结构示意图；图中：1、基座；11、球面形卡槽；12、进料槽；13、出料槽；14、支撑座；15、槽孔；16、安装孔；2、承载座；21、上安置槽；22、上限位槽；23、上推料槽；24、下安置槽；25、下限位槽；26、下推料槽；3、旋转气缸；4、进料槽板；5、推料板；6、推料气缸；7、侧支架板；8、斜支撑。具体实施方式实施例：见图1至3所示，一种离子注入机上进出料的切换装置，包括矩形的基座1，基座1的中部成型有贯穿基座1上、下端面的球面形卡槽11，球面形卡槽11内插接有承载座2，承载座2的外端面呈球面形并抵靠在球面形卡槽11的内壁上；所述承载座2前端的外壁上插接固定有旋转轴，旋转轴的前端插设在基座1内并和旋转气缸3的活塞杆相固接，旋转气缸3固定在基座1的前端面上；所述承载座2上端面的中心成型有贯穿承载座2右侧端面的上安置槽21，上安置槽21的左侧内壁上成型有上限位槽22，上限位槽22的左侧内壁上成型有贯穿承载座2左侧外壁的上推料槽23，基座1的右侧外壁上成型有与上安置槽21相对的进料槽12；所述承载座2的下端面上成型有贯穿承载座2左侧外壁的下安置槽24，下安置槽24的右侧内壁上成型有下限位槽25，下限位槽25的右侧内壁上成型有贯穿承载座2右侧外壁的下推料槽26，所述基座1的右侧外壁上成型有与下推料槽26相对的出料槽13，基座1的出料槽13内插接有L型的推料板5，推料板5的右侧固定连接有推料气缸6，推料气缸6的活塞杆穿过推料板5固定在侧支架板7上；所述球面形卡槽11前、后侧的基座1下端面上成型有竖直的支撑座14，侧支架板7的两端固定在支撑座14上。所述基座1的支撑座14成型有若干矩形的槽孔15，槽孔15的下底面上成型有贯穿支撑座14下端面的安装孔16。所述承载座2外壁的直径等于基座1内球面形卡槽11内壁的直径，承载座2的上、下端面分别与基座1的上、下端面相齐平。所述支撑座14下端面至基座1下端面的距离大于承载座2外壁的半径。所述承载座2上的上安置槽21底面、上限位槽22的底面和基座1上进料槽12的下底面在同一平面内，下安置槽24的底面的和下限位槽25的底面在同一平面内。所述承载座2上的上推料槽23宽度小于上限位槽22的宽度，下限位槽25的宽度大于下推料槽26的宽度。所述旋转气缸3的旋转角度为180度，承载座2的下侧设有输送带。所述基座1的右侧外壁上固定有进料槽12相对的进料槽板4，进料槽板4的下端面固定有斜支撑8，斜支撑8的下端固定在基座1的右侧外壁上。工作原理：本专利技术为离子注入机上进出料的切换装置，其装置可以实现已加工硅片和未加工硅片所处工位的切换；具体切换方式如下，机械手将已完成加工的硅片放入承载座2的上安置槽21内并上移，然后旋转气缸3启动，实现承载座2翻转180度，承载座2以逆时针方向旋转，承载座2翻转，已完成加工的硅片落入上限位槽22内，并移动到承载座2的下侧，通过启动推料气缸6，推料气缸6推动推料板5将已完成加工的硅片重新推入上安置槽21，进而已完成加工的硅片下落到设置在基座1下侧的输送带上；在推料气缸6工作的同时，通过基座1的进料槽12可以相翻转至基座1上侧的下安置槽24内推入未加工的硅片，然后机械手下移吸持未加工的硅片。所述实施例用以例示性说明本专利技术，而非用于限制本专利技术。任何本领域技术人员均可在不违背本专利技术的精神及范畴下，对所述实施例进行修改，因此本专利技术的权利保护范围，应如本专利技术的权利要求所列。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种离子注入机上进出料的切换装置，包括矩形的基座(1)，其特征在于：基座(1)的中部成型有贯穿基座(1)上、下端面的球面形卡槽(11)，球面形卡槽(11)内插接有承载座(2)，承载座(2)的外端面呈球面形并抵靠在球面形卡槽(11)的内壁上；所述承载座(2)前端的外壁上插接固定有旋转轴，旋转轴的前端插设在基座(1)内并和旋转气缸(3)的活塞杆相固接，旋转气缸(3)固定在基座(1)的前端面上；所述承载座(2)上端面的中心成型有贯穿承载座(2)右侧端面的上安置槽(21)，上安置槽(21)的左侧内壁上成型有上限位槽(22)，上限位槽(22)的左侧内壁上成型有贯穿承载座(2)左侧外壁的上推料槽(23)，基座(1)的右侧外壁上成型有与上安置槽(21)相对的进料槽(12)；/n所述承载座(2)的下端面上成型有贯穿承载座(2)左侧外壁的下安置槽(24)，下安置槽(24)的右侧内壁上成型有下限位槽(25)，下限位槽(25)的右侧内壁上成型有贯穿承载座(2)右侧外壁的下推料槽(26)，所述基座(1)的右侧外壁上成型有与下推料槽(26)相对的出料槽(13)，基座(1)的出料槽(13)内插接有L型的推料板(5)，推料板(5)的右侧固定连接有推料气缸(6)，推料气缸(6)的活塞杆穿过推料板(5)固定在侧支架板(7)上；所述球面形卡槽(11)前、后侧的基座(1)下端面上成型有竖直的支撑座(14)，侧支架板(7)的两端固定在支撑座(14)上。/n...
【技术特征摘要】
1.一种离子注入机上进出料的切换装置，包括矩形的基座(1)，其特征在于：基座(1)的中部成型有贯穿基座(1)上、下端面的球面形卡槽(11)，球面形卡槽(11)内插接有承载座(2)，承载座(2)的外端面呈球面形并抵靠在球面形卡槽(11)的内壁上；所述承载座(2)前端的外壁上插接固定有旋转轴，旋转轴的前端插设在基座(1)内并和旋转气缸(3)的活塞杆相固接，旋转气缸(3)固定在基座(1)的前端面上；所述承载座(2)上端面的中心成型有贯穿承载座(2)右侧端面的上安置槽(21)，上安置槽(21)的左侧内壁上成型有上限位槽(22)，上限位槽(22)的左侧内壁上成型有贯穿承载座(2)左侧外壁的上推料槽(23)，基座(1)的右侧外壁上成型有与上安置槽(21)相对的进料槽(12)；
所述承载座(2)的下端面上成型有贯穿承载座(2)左侧外壁的下安置槽(24)，下安置槽(24)的右侧内壁上成型有下限位槽(25)，下限位槽(25)的右侧内壁上成型有贯穿承载座(2)右侧外壁的下推料槽(26)，所述基座(1)的右侧外壁上成型有与下推料槽(26)相对的出料槽(13)，基座(1)的出料槽(13)内插接有L型的推料板(5)，推料板(5)的右侧固定连接有推料气缸(6)，推料气缸(6)的活塞杆穿过推料板(5)固定在侧支架板(7)上；所述球面形卡槽(11)前、后侧的基座(1)下端面上成型有竖直的支撑座(14)，侧支架板(7)的两端固定在支撑座(14)上。
2.根据权利要求1所述的一种离子注入机上进出料的切换装置，其特征在于：所述基座(1)的支撑座(14)成型有若干矩形...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐俊，
申请(专利权)人：杭州易正科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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