电子元件针测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电子元件针测装置，包含机架、测试机、旋转测试平台以及探针模块。测试机可沿X方向及垂直X方向的Y方向位移地设置于机架。旋转测试平台可绕沿X方向延伸的转动轴转动地设置于机架，垂直X方向及Y方向为Z方向，旋转测试平台与测试机位于不同的Z方向位置上。探针模块设置于旋转测试平台上。

【技术实现步骤摘要】
电子元件针测装置
本专利技术涉及一种半导体检测的装置。
技术介绍
随着电子产品的普及，电子产品中多仰赖一印刷电路板集成各种电子零组件以提供电子产品的各种功能。而印刷电路板在生产过程中，可能因外在因素而造成短路、断路及漏电等电性上的瑕疵，因此印刷电路板的检测一直以来都是制程中极为重要的一环。而随着电子产品功能的进化及复杂程度的提高，传统单面板(SingleLayerPCB)已无法满足电路布线及电子零组件配置的需求，而布线面积双倍的双面板(DoubleLayerPCB)结构即能满足具有复杂电路布线的产品上。而如何对双面均有布线的双面板进行测试即为当前所必须面对的课题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种电子元件针测装置，能够对待测物的双面同时进行针测，且符合特定频率测试的测试信号线的配置。电子元件针测装置包含机架、测试机、旋转测试平台以及探针模块。测试机可沿X方向及垂直X方向的Y方向位移地设置于机架。旋转测试平台可绕沿X方向延伸的转动轴转动地设置于机架，垂直X方向及Y方向为Z方向，旋转测试平台与测试机位于不同的Z方向位置上。探针模块设置于旋转测试平台上。藉此，旋转测试平台上可夹持待测物以对待测物的双面同时进行针测。此外，测试机位在距离待测物的最短距离，藉此得以符合特定频率测试的测试信号线的配置。以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限定。附图说明图1为本专利技术电子元件针测装置的一实施例的示意图，且是显示旋转测试平台处在水平位置的状态；图2为本专利技术电子元件针测装置的一实施例的示意图，且是显示旋转测试平台处在直立位置的状态；图3为图1中圈选处3的局部放大图；图4为本专利技术电子元件针测装置的一实施例的局部结构放大示意图；图5为图1中圈选处5的局部放大图；图6为图1中圈选处6的局部放大图；图7为本专利技术电子元件针测装置的一实施例的探针模块及摄影模块的示意图；图8为图1中圈选处8的局部放大图。其中，附图标记10机架11上侧111第一导轨12下侧13载台131第二导轨14第一平台15第二平台16轴套件17抵块20测试机30旋转测试平台31框体311镂空部312内周面3121第三导轨313第一表面314第二表面32转轴33夹持机构331支持部332第一颚部333第二颚部334调整件34探针模块341探针座342探针35摄影模块36限止结构361第一平面362第二平面37第一位移组件371第四导轨372第一滑台373第五导轨374第二滑台375转座38第二位移组件381第一基座382第一滑座383第二基座384第二滑座385第三基座386第三滑座39顶柱结构391导杆392滑杆393滑块394顶柱395定位件40吊挂模块41支架42滑车43卷扬机S1第一螺杆N1第一螺帽S2第二螺杆N2第二螺帽S3第三螺杆N3第三螺帽O转动轴S止挡块X、Y、Z方向D待测物具体实施方式下面结合附图对本专利技术的结构原理和工作原理作具体的描述：请配合参阅图1，图1为本专利技术电子元件针测装置的一实施例的示意图。图1绘示的电子元件针测装置包含机架10、测试机20、旋转测试平台30以及探针模块34。测试机20可沿X方向及垂直X方向的Y方向位移地设置于机架10。旋转测试平台30可绕沿X方向延伸的转动轴O转动地设置于机架10。垂直X方向及Y方向为Z方向，旋转测试平台30与测试机20位于不同的Z方向位置上。探针模块34设置于旋转测试平台30上。值得说明的是，以下所述的X方向、Y方向及Z方向是以如图1的座标系为准。基于此，继续参阅图1并配合参阅图2，旋转测试平台30可以夹持待测物D，并在旋转测试平台30旋转至直立状态时得以进行双面测试。此外，测试机20位在距离待测物D的最短距离，藉此得以符合特定频率测试的测试信号线的配置。一实施例中，本专利技术电子元件针测装置可以但不限于应用于110GHz的高频量测。于一实施例中，参阅图1至图3，机架10具有相对的上侧11及下侧12。于此，机架10的上侧11设置第一导轨111，第一导轨111沿着X方向延伸。具体地，机架10的上侧11是设置两平行间隔的第一导轨111。进一步地，参阅图1至图3，测试机20可线性位移地设置于机架10的上侧11。具体地，机架10更包含载台13，载台13可滑移地跨设于第一导轨111而能沿X方向滑移。此外，载台13上更具有第二导轨131，第二导轨131沿着垂直Z方向及X方向的Y方向延伸，具体地，载台13上设置两平行间隔的第二导轨131。一实施例中，参阅图1至图3，测试机20可滑移地跨设于第二导轨131而能沿Y方向滑移。藉此，测试机20通过第一导轨111、载台13及第二导轨131而能可线性位移地设置于机架10的上侧11，且测试机20能沿X方向及Y方向位移。在此，参阅图1至图3，第一导轨111是延伸于整个机架10在X方向上的范围，藉此使测试机20得以位移于整个机架10在X方向上的范围，使得测试机20与旋转测试平台30之间维持最短间距，据此确保测试机20与旋转测试平台30上的探针模块34之间的最短信号线连线路径。第二导轨131的设计可以使测试机20在整个机架10的Y方向上的一定范围内移动，特别是使测试机20朝向待测物D远离测试机20一侧移动，在测试机20与探针模块34之间传输线的长度固定或者不够长的情况下，可以藉由调整测试机20在Y方向的位置，来量测待测物D与测试机20相对距离较远的接点(Pad)。一实施例中，参阅图1、图2并配合图5，旋转测试平台30用以夹持待测物D并能翻转以对待测物D进行双面测试，旋转测试平台30可绕沿X方向延伸的转动轴O转动地设置于机架10。在此，机架10在上侧11及下侧12之间具有相对的第一平台14及第二平台15，第一平台14及第二平台15位于相同的Z方向位置上。旋转测试平台30可转动地设置于第一平台14及第二平台15。具体地，第一平台14及第二平台15上分别设置轴套件16，而旋转测试平台30包含框体31、二转轴32、夹持机构33、探针模块34以及摄影模块35。转轴32设置于框体31的相对两侧，框体31以转轴32穿设于第一平台14及第二平台15的轴套件16，而能以转轴32的连线作为转动轴O而转动。于此，转轴32沿X方向延伸，旋转测试平台30转动时即能绕沿X方向延伸的转动轴O转动。基于前述，由于旋转测试平台30的框体31系可转动地设置于上侧11及下侧12之间的第一平台14及第二平台15，因此，测试机20系位于旋转测试平台30的上方，并能沿X方向位移于涵盖旋转测试平台30的整个范围，据此使得测试机20能依待测物D的测试位置调整位置以保持与探针模块34本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子元件针测装置，其特征在于，包含：/n一机架；/n一测试机，能够沿一X方向及垂直所述X方向的一Y方向位移地设置于所述机架；/n一旋转测试平台，能够绕沿所述X方向延伸的一转动轴转动地设置于所述机架，垂直所述X方向及所述Y方向为一Z方向，所述旋转测试平台与所述测试机位于不同的所述Z方向位置上；以及/n一探针模块，设置于所述旋转测试平台上。/n

【技术特征摘要】
20190618 TW 1081211601.一种电子元件针测装置，其特征在于，包含：
一机架；
一测试机，能够沿一X方向及垂直所述X方向的一Y方向位移地设置于所述机架；
一旋转测试平台，能够绕沿所述X方向延伸的一转动轴转动地设置于所述机架，垂直所述X方向及所述Y方向为一Z方向，所述旋转测试平台与所述测试机位于不同的所述Z方向位置上；以及
一探针模块，设置于所述旋转测试平台上。


2.根据权利要求1所述的电子元件针测装置，其特征在于，所述旋转测试平台的相对两侧分别具有一转轴，所述转轴能够转动地设置于所述机架。


3.根据权利要求2所述的电子元件针测装置，其特征在于，更包含一蜗轮及一蜗杆，所述蜗轮连接所述转轴，所述蜗杆与所述蜗轮啮合。


4.根据权利要求2所述的电子元件针测装置，其特征在于，更包含一限止结构，设置于所述转轴，所述限止结构具有一第一平面及一第二平面，在所述转轴转动过程中，所述第一平面及所述第二平面抵靠所述机架，使所述转轴转动范围小于360度。


5.根据权利要求1所述的电子元件针测装置，其特征在于，所述旋转测试平台包含一框体及多个夹持机构，所述框体具有一内周面，所述多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅康晏，罗雅鸿，蔡守仁，顾伟正，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71