基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构和AOI检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构和AOI检测装置，该角度补正机构包括吸盘吸附模组能够将气浮条件下玻璃基板吸附在吸盘上；摆臂旋转模组一端与所述丝杆滑轨模组的运动端连接，另一端与吸盘吸附模组底部固定连接；丝杆滑轨模组能够驱动摆臂旋转模组带动吸盘吸附模组吸附玻璃，使玻璃在气浮条件下进行水平角度补正范围在(‑1.5°)至1.5°；其中，丝杆滑轨模组运动精度为0.1‑0.4um，摆臂旋转模组的旋转精度在±0.02分，从而使得玻璃旋转精度为±0.02分。该角度补正机构能够对玻璃基板进行微调，实现对玻璃基板的角度补正，从而提高玻璃基板中缺陷的检出率。

【技术实现步骤摘要】
基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构和AOI检测装置
本专利技术涉及自动光学检测设备领域，具体地，涉及一种基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构和AOI检测装置。
技术介绍
随着TFT-LCD及新型显示技术的迅速发展，各世代玻璃基板尺寸越做越大，玻璃厚度越来越薄，对液晶玻璃基板质量要求也越来越高(任何3um以上划痕和脏污都会影响最终显示屏的显像质量并导致次品产生)。AOI设备也越来越多的取代传统人工视觉检测，对AOI设备的要求也越来越严，对于大尺寸玻璃如6代线玻璃(1500mm*1850mm*0.4mm)以及8代线甚至11代线玻璃基板，现在越来越多的是采用气浮传输代替原本roller传输，解决了传统roller传输对玻璃表面造成的接触性损伤，以及杂质污染和基材变形等问题。不过，气浮状态下通过扫描传输时，相比于传统的roller传输，气浮状态下的扫描影像常常模糊不清，对后端算法分析玻璃缺陷产生很大影响，往往使得对玻璃缺陷情况的检测不准确。因此，提供一种机构，解决气浮状态下通过扫描传输时，玻璃扫描影像模糊不清的问题，提高玻璃缺陷的检出率，将对玻璃基板的质量管控具有重大的意义。
技术实现思路
本专利技术的专利技术人经过研究发现，气浮状态下通过扫描传输时玻璃扫描影像之所以模糊不清，是因为气浮状态下，用气体将玻璃吹起来扫描传输时又引入了玻璃基板的平面度和稳定性等问题，因为高分辨率5um以内的线阵相机景深很小，在几十个微米范围内，视野范围也很小，如果在气浮状态玻璃基板抖动幅度大于相机景深的话，扫描影像就会模糊不清对后端算法分析玻璃缺陷产生很大影响；同时，如果大尺寸玻璃扫描时发生任何小角度的倾斜，往往会使得玻璃的扫描影像偏出相机视野范围，无法通过扫描相机判断玻璃是否存在缺陷。一般情况下，采用常规的气浮对位气缸校正玻璃角度，但即便校正后，玻璃还会存在1°左右的偏差，放大到扫描影像上就有几十毫米的偏斜，从而使得玻璃扫描影像模糊不清或超出视野范围，扫描不全，无法精准判断该玻璃是否存在缺陷，大大降低了气浮传输下玻璃基板的缺陷检测的准确性。基于上述的发现，本专利技术提供一种基于气浮传输下玻璃基板角度补正机构，该角度补正机构能够针对大世代玻璃基板在气浮传输时常发生1°左右的偏斜，使得玻璃宽度方向的扫描影像将会偏移几十个毫米的情况，对玻璃基板进行微调，实现对玻璃基板的角度补正，确保玻璃平行于运动方向通过扫描相机，以使得玻璃基板的影像完全并清晰地显示出来，从而提高玻璃基板中缺陷的检出率。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构，包括丝杆滑轨模组、摆臂旋转模组和吸盘吸附模组；所述吸盘吸附模组能够将气浮条件下玻璃基板吸附在吸盘上；所述摆臂旋转模组一端与所述丝杆滑轨模组的运动端连接，另一端与吸盘吸附模组底部固定连接；所述丝杆滑轨模组能够驱动摆臂旋转模组带动吸盘吸附模组吸附玻璃在水平面上进行角度补正-1.5°至1.5°；其中，所述丝杆滑轨模组运动精度为0.1-0.4um，摆臂旋转模组的旋转精度在±0.02分，从而使得玻璃旋转精度为±0.02分。优选地，所述丝杆滑轨模组包括：角度调整底板、导轨滑块I、电机固定板、电机、联轴器、支撑座、丝杆和螺帽座；所述角度调整底板上设置有沿丝杆轴向延伸的滑轨，导轨滑块I设置于滑轨上；所述螺帽座设置于导轨滑块I上，所述螺帽座通过螺帽内部滚子与丝杆连接，所述电机正反向旋转通过联轴器带动所述丝杆正反向转动以带动螺帽内部滚子环绕丝杆转动从而带动所述螺帽座沿所述丝杆的轴向前后运动，使得所述螺帽座的运动精度为0.1-0.4um；所述螺帽座与所述摆臂旋转模组连接。优选地，所述摆臂旋转模组，包括导轨滑块II、摆臂心轴、轴承、摆臂、旋转心轴、旋转心轴支撑座和旋转心轴固定座；导轨滑块II与摆臂心轴连接，摆臂一端与摆臂心轴通过轴承连接另一端与旋转心轴过盈连接，旋转心轴与旋转心轴支撑座通过两端轴承连接，旋转心轴固定座一端固定在丝杆滑轨模组中的角度调整底板上，另一端与旋转心轴支撑座连接；并且螺帽座(18)与导轨滑块II(21)连接，使得螺帽座(18)做前后往复运动时以驱动摆臂(24)做左右旋转运动，这时导轨滑块II(21)同时也在导轨做前后直线运动。优选地，所述吸盘吸附模组，包括转接板、吸盘连接板、吸盘固定下板、吸盘水平调整板和多个吸盘；转接板分别与旋转心轴和吸盘连接板连接，吸盘连接板分别与吸盘固定下板和吸盘水平调整板连接，吸盘固定下板与吸盘连接；摆臂做左右旋转运动时带动与其过盈连接的旋转心轴正反向转动，在旋转心轴与转接板连接的情况下，以实现转接板的左右旋转，在通过转接板与吸盘连接板的连接从而带动吸盘吸附的玻璃做左右旋转运动。优选地，所述电机每旋转一圈能够带动螺帽座运动1-3mm从而驱动摆臂旋转0.5-1.5°。优选地，电机的停止精度为±0.05°，配合导程为1-3mm的丝杆，使得螺帽座在导轨滑块I上沿丝杆轴线方向前后8-12mm时，运动精度达到0.1-0.4um。优选地，摆臂心轴与旋转心轴的中心距为90-120mm，摆臂左右摆动的同时螺帽座在导轨滑块II上垂直于导轨滑块I的方向前后3mm运动范围内，运动精度达到0.08-0.12um，摆臂旋转精度在±0.01分。优选地，所述吸盘吸附模组还包括内六角圆柱头螺钉37和紧定螺钉38，所述吸盘水平调整板能够通过吸盘固定下板上的多颗内六角圆柱头螺钉37，以及下方固定在吸盘水平调整板上的多个紧定螺钉38微调吸盘的上下高度，使得吸盘整体平面度精度达到±0.01mm。优选地，所述吸盘的两侧设置有气源接头与外部气源相连通。优选地，吸盘上表面均布有多个与气源接头相连通的气孔。本专利技术还提供一种AOI检测装置，该装置至少包括AOI设备直线电机、线阵相机和前文所述的角度补正机构，其中，所述丝杆滑轨模组的底部设置在所述AOI设备直线电机的动子上，以在所述吸盘吸附模组吸附玻璃之后能够在所述AOI设备直线电机的动子驱动下通过线阵相机从而对玻璃扫描成像。这样，本专利技术的角度补正机构具有精度高、稳定性高的优点，能够针对大世代玻璃基板在气浮传输时常发生1°左右的偏斜，使得玻璃宽度方向的扫描影像将会偏移几十个毫米的情况，对玻璃基板进行微调，实现对玻璃基板的角度补正，确保玻璃平行于运动方向通过扫描相机，以使得玻璃基板的影像清晰显示，最终使得玻璃扫描影像在视野范围内不出现偏斜，满足算法分析需求，从而提高玻璃基板的缺陷的检测的准确性。本专利技术的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是本专利技术一种优选的实施方式中的角度补正机构的结构示意图；图2是本专利技术一种具体的实施方式中的丝杆滑轨模组的结构示意图；图3是本专利技术一种具体的实施方式中的摆臂旋转模组的结构示意图；图4是本专利技术一种具体的实施方式中的吸盘吸附模组的结构示意图。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构，其特征在于，包括丝杆滑轨模组(1)、摆臂旋转模组(2)和吸盘吸附模组(3)；/n所述吸盘吸附模组(3)能够将气浮条件下玻璃基板吸附在吸盘上；/n所述摆臂旋转模组(2)一端与所述丝杆滑轨模组(1)的运动端连接，另一端与吸盘吸附模组(3)底部固定连接；/n所述丝杆滑轨模组(1)能够驱动摆臂旋转模组(2)带动吸盘吸附模组(3)吸附玻璃在水平面上进行角度补正(-1.5)°至1.5°；/n其中，所述丝杆滑轨模组(1)运动精度为0.1-0.4um，摆臂旋转模组(2)的旋转精度在±0.02分，从而使得玻璃旋转精度为±0.02分。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构，其特征在于，包括丝杆滑轨模组(1)、摆臂旋转模组(2)和吸盘吸附模组(3)；
所述吸盘吸附模组(3)能够将气浮条件下玻璃基板吸附在吸盘上；
所述摆臂旋转模组(2)一端与所述丝杆滑轨模组(1)的运动端连接，另一端与吸盘吸附模组(3)底部固定连接；
所述丝杆滑轨模组(1)能够驱动摆臂旋转模组(2)带动吸盘吸附模组(3)吸附玻璃在水平面上进行角度补正(-1.5)°至1.5°；
其中，所述丝杆滑轨模组(1)运动精度为0.1-0.4um，摆臂旋转模组(2)的旋转精度在±0.02分，从而使得玻璃旋转精度为±0.02分。


2.根据权利要求1所述的角度补正机构，其特征在于，所述丝杆滑轨模组(1)包括：角度调整底板(11)、导轨滑块I(12)、电机固定板(13)(13)、电机(14)、联轴器(15)、支撑座(16)、丝杆(17)和螺帽座(18)；所述角度调整底板(11)上设置有沿丝杆(17)轴向延伸的滑轨，导轨滑块I(12)设置于滑轨上；
所述螺帽座(18)设置于导轨滑块I(12)上，所述螺帽座(18)通过螺帽内部滚子与丝杆(17)连接，所述电机(14)正反向旋转通过联轴器(15)带动所述丝杆(17)正反向转动以带动螺帽内部滚子环绕丝杆(17)转动从而带动所述螺帽座(18)沿所述丝杆(17)的轴向前后运动，使得所述螺帽座(18)的运动精度为0.1-0.4um；
所述螺帽座(18)与所述摆臂旋转模组(2)连接。


3.根据权利要求2所述的角度补正机构，其特征在于，所述摆臂旋转模组(2)，包括导轨滑块II(21)、摆臂心轴(22)、轴承(23)、摆臂(24)、旋转心轴(25)、旋转心轴支撑座(26)和旋转心轴固定座(27)；
导轨滑块II(21)与摆臂心轴(22)连接，摆臂(24)一端与摆臂心轴(22)通过轴承(23)连接另一端与旋转心轴(25)过盈连接，旋转心轴(25)与旋转心轴支撑座(26)通过两端轴承(23)连接，旋转心轴固定座(27)一端固定在丝杆滑轨模组(1)中的角度调整底板(11)上，另一端与旋转心轴支撑座(26)连接；
并且螺帽座(18)与导轨滑块II(21)连接，使得螺帽座(18)做前后往复运动时以驱动摆臂(24)做左右旋转运动，这时导轨滑块II(21)同时也在导轨做前后直线运动。


4.根据权利要求3所述的角度补正机构，其特征在于，所述吸盘吸附模组(3)，包括转接板(31)、吸盘连接板(32)、吸盘固定下...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄旭，周秋俊，胡盛财，董勤，杨如意，陈尹力，
申请(专利权)人：安徽皓视光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34