公开了一种用于制造消除装置的部件的方法。该方法包括：基于指定的部件特性，对限定消除装置的反应室的部件的3D模型表示进行网格划分，以限定所述部件的优化的有限元表示；以及制造优化的有限元表示。以此方式，可产生消除装置的部件的3D模型，可从所述3D模型对其性能进行建模。可限定部件的特定特性，其影响消除装置的操作。然后，这些特性可以用于通过使用网格划分来生成部件的具有这些特性的优化有限元表示（将理解的是，网格划分是将几何对象表示为有限元集合的操作）。然后可以制造优化的有限元表示，从而可靠地生产具有所需特性的部件。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于制造消除装置的部件的方法
本专利技术涉及一种用于制造消除装置的部件的方法。
技术介绍
用于执行消除的消除装置是已知的，并且通常用于处理来自例如半导体或平板显示器制造工业中使用的制造加工工具的排出气体流。在这种制造期间，残余全氟化合物（PFC）和其它化合物存在于从加工工具中泵送出的排出气体流中。PFC难以从排出气体中除去，并且它们到环境中的释放是不期望的，因为已知它们具有相对高的温室活性。已知的消除装置使用热量从排出气体流中除去PFC和其它化合物。通常，排出气体流是含有PFC和其它化合物的氮气流。感应加热器、等离子体或燃烧用来产生热量以处理排出物流。例如，在燃烧装置中，燃料气体与排出气体流混合，并且该气体流混合物被输送到由多孔气体燃烧器的出口表面侧向地包围的燃烧室中。燃料气体和空气同时被供应至多孔燃烧器以影响在出口表面处的无焰燃烧，其中穿过多孔燃烧器的空气量寻求足以不仅消耗供应至燃烧器的燃料气体，而且消耗注入燃烧室中的气体流混合物中的所有可燃物。尽管消除装置有助于处理排出物流，但制造消除装置可能是有问题的。因此，期望提供一种用于制造消除装置的改进技术。
技术实现思路
根据第一方面，提供了一种方法，包括：基于指定的部件特性，对限定消除装置的反应室的部件的3D模型表示进行网格划分，以限定所述部件的优化的有限元表示；以及制造优化的有限元表示。第一方面认识到，用于制造消除装置的部件的现有技术的问题在于，它们是复杂的，并且消除装置的操作难以限定。因此，提供了一种方法。该方法可用于制造消除装置或其部件。该方法可包括以下步骤：对部件的三维（3D）模型表示或限定进行网格划分；该3D模型限定该消除装置的反应室。网格划分可以基于部件的指定或限定的特性，或者响应于部件的指定或限定的特性而执行。网格划分可以基于指定的部件特性来限定或产生部件的优化的有限元或单元表示。也就是说，3D模型表示的网格划分不仅可产生部件的有限元表示，而且可以基于该部件所需的特性来优化有限元表示本身。该方法可以包括由优化的有限元表示来制造部件的步骤。以此方式，可产生消除装置的部件的3D模型，可从所述3D模型对其性能进行建模。可限定部件的特定特性，其影响消除装置的操作。然后，这些特性可以用于生成部件的优化有限元表示，所述优化有限元表示通过使用网格划分而具有这些特性（将理解的是，网格划分是将几何对象表示为有限元集合的操作）。然后可以制造优化的有限元表示，从而可靠地生产具有所需特性的部件。在一个实施例中，网格划分包括利用至少一个有限元进行网格划分。因此，3D模型表示可以利用一个或多个有限元来进行网格划分。在一个实施例中，网格划分包括利用多个有限元进行网格划分。因此，3D模型表示可以利用多于一个的有限元来进行网格划分。在一个实施例中，网格划分包括拟合有限元以填充3D模型表示。因此，有限元可被拟合以填充、映射到或覆盖3D模型表示。在一个实施例中，拟合包括基于末端约束拟合有限元以填充3D模型表示。因此，有限元可以被拟合以填充、映射到或覆盖3D模型表示，经受关于有限元拟合地多好的约束。在一个实施例中，末端约束包括防止有限元突出超过3D模型表示的表面。因此，末端约束可以防止有限元突出或延伸超过或越过3D模型表示的表面或边界。在一个实施例中，该方法包括选择有限元的组合以防止有限元突出超过3D模型表示的表面。因此，可以选择有限元的不同组合，其防止有限元突出或延伸超过模型表示的表面或边界。在一个实施例中，该方法包括截断有限元以防止有限元突出超过3D模型表示的表面。因此，有限元可被截断、切割或细分，以防止其突出或延伸超过3D模型表示的表面或边界。在一个实施例中，每个有限元是规则的。在一个实施例中，每个有限元是多面体。在一个实施例中，每个有限元包括由边缘接合的面。在一个实施例中，所述面是开放的和至少部分填充的中的一种。因此，所述面可以是未填充的、填充的或部分填充的。在一个实施例中，边缘提供限定有限元的支架。因此，边缘可以提供或限定形成有限元的支架或骨架。在一个实施例中，面和边缘中的至少一个是平面和弯曲中的一种。在一个实施例中，3D模型表示限定部件的表面。在一个实施例中，3D模型表示限定部件的外表面。在一个实施例中，网格划分包括基于指定的部件特性调整有限元的填充。因此，有限元的填充量或填充程度基于或响应于指定的部件特性而被调整或选择。在一个实施例中，网格划分包括调整有限元的填充以调整有限元之间的流体连通。因此，有限元的填充量或填充程度可以变化或选择，以控制有限元之间的流体连通的量。将理解的是，完全填充的有限元不提供流体连通，而部分填充或完全未填充的有限元允许流体连通。在一个实施例中，调整填充包括至少部分填充有限元的面。在一个实施例中，调整填充包括至少部分地填充由有限元限定的空隙。在一个实施例中，调整填充包括改变有限元的边缘的厚度或纵横比。在一个实施例中，指定的部件特性限定了渗透率，并且网格划分包括调整有限元的填充以提供渗透率。在一个实施例中，指定的部件特性限定了部件的多个区域中的每一个中的渗透率，并且网格划分包括调整部件的多个区域中的每一个中的有限元的填充以提供该区域中的渗透率。因此，部件的不同区域、部分、面积或体积可以被分配不同的渗透率，并且在这些区域内有限元的填充可以在这些区域中被调整或选择，以允许或限制流体流动并提供这些渗透率。在一个实施例中，所述渗透率包括接收渗透率。因此，渗透率可以是流入部件的速率。在一个实施例中，渗透率包括内部渗透率。因此，渗透率可以是部件内发生流动的速率。在一个实施例中，所述渗透率包括发射渗透率。因此，渗透率可以是流出部件的速率。在一个实施例中，调整填充包括至少部分填充由有限元限定的空隙以提供渗透率。在一个实施例中，调整填充包括改变有限元的边缘厚度以提供渗透率。在一个实施例中，指定的部件特性限定了孔隙率，并且网格划分包括调整有限元的填充以提供孔隙率。在一个实施例中，指定的部件特性限定了部件的多个区域中的每一个中的孔隙率，并且网格划分包括调整部件的多个区域中的每一个中的有限元的填充以提供该区域中的孔隙率。因此，部件的不同区域、部分、面积或体积可以被分配不同的孔隙率，并且在这些区域中有限元的填充可以在这些区域中被调整或选择以允许或限制流体流动并提供这些孔隙率。在一个实施例中，调整填充包括填充有限元的面以提供孔隙率。在一个实施例中，指定的部件特性限定了通过部件的流体流，并且网格划分包括调整有限元的填充以提供流体流。在一个实施例中，指定的部件特性限定了来自部件的流体流，并且网格划分包括调整有限元的填充以提供流体流。在一个实施例中，流体流包括层流流体流和湍流流体流中的至少一种。在一个实施例中，指定的部件特性限定了部件的多个区域中的每一个中的流体流，并且网格划分包括调整在部件的多个区域中的每一个中的有本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种方法，包括：/n基于指定的部件特性，对限定消除装置的反应室的部件的3D模型表示进行网格划分，以限定所述部件的优化的有限元表示；以及/n制造所述优化的有限元表示。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180515 GB 1807855.01.一种方法，包括：
基于指定的部件特性，对限定消除装置的反应室的部件的3D模型表示进行网格划分，以限定所述部件的优化的有限元表示；以及
制造所述优化的有限元表示。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述网格划分包括利用至少一个有限元进行网格划分。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述网格划分包括拟合所述有限元以填充所述3D模型表示。
4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述拟合包括基于末端约束拟合所述有限元以填充所述3D模型表示。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述末端约束包括防止所述有限元突出超过所述3D模型表示的表面。
6.根据权利要求5所述的方法，包括选择所述有限元的组合，以防止所述有限元突出超过所述3D模型表示的表面。
7.根据权利要求5或6所述的方法，包括截断所述有限元以防止所述有限元突出超过所述3D模型表示的表面。
8.根据任何前述权利要求所述的方法，其中，所述网格划分包括基于所述指定的部件特性来调整所述有限元的填充。
9.根据任何前述权利要求所述的方法，其中，所述网格划分包括调整所述有限元的填充以调整所述有限元之间的流体连通。
10.根据权利要求8或9所述的方法，其中，所述调整填充包括以下中的至少一种：
至少部分地填充有限元的面；
至少部分地填充由有限元限定的空隙；以及
改变有限元的边缘的厚度。
11.根据权利要求8至10中任一项所述的方法，其中，所述指定的部件特性限定渗透率，并且所述网格划分包括调整有限元的填充以提供所述渗透率。
12.根据权利要求11的方法，其中，所述调整填充包括至少部分填充由有限元限定的空隙和改变有限元的边缘厚度中的至少一种，以提供所述渗透率。
13.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·J·斯利，G·P·奈特，D·M·普萊斯，M·维尔马，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：英国;GB
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