真空泵及其冷却部件制造技术

为了提供一种能够与设置真空泵的现场的冷却配管布局对应而进行相对于冷却部件的冷却配管的连接作业、使用方便性良好的真空泵以及冷却部件，冷却部件（8）具备：多个端口对（81），由第一以及第二端口（81A、81B）构成；冷却介质的流路（82），与多个端口对的各端口连通；设定机构（83），设定多个端口对的使用形态，多个端口对沿外装框体的周向方向设置，设定机构为，在多个端口对之中，关于被选择的一个端口对，设定为能够使用其第一端口从外部向流路内进行冷却介质的供给、能够使用其第二端口从流路内向外部进行冷却介质的排出，并且，关于在此之外的端口对，设定为不能使用其第一端口从外部向流路内进行冷却介质的供给、不能使用其第二端口从流路内向外部进行冷却介质的排出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵及其冷却部件
本专利技术涉及一种真空泵，被用作半导体制造处理装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的处理腔室、其他的真空腔室的气体排气机构，特别地为适于正确地判断泵维护的必要性的真空泵。
技术介绍
以往，作为这种真空泵，公知有例如专利文献1所述的真空泵。该真空泵（以下称为“以往的真空泵”）为以下构造：在由外筒（127）、基座部（129）等构成的外装框体的内侧收纳有旋转体（103），借助该旋转体（103）的旋转对气体进行吸气和排气。此外，在以往的真空泵中，相对于构成外装框体的基座部（129）设置作为冷却部件的水冷管（149），从而进行真空泵的冷却。但是，若基于以往的真空泵，则水冷管（149）被埋设于基座部（129），相对于水冷管（149）供给冷却水或从水冷管（149）将冷却水排出的冷却水供给/排出用端口被固定在既定的位置。为此，在将真空泵设置于既定的现场的状态中，存在该冷却水供给/排出用端口的位置与现场的冷却配管布局不对应的情况，在该情况下，存在如下的问题点：在现场的相对于冷却水供给/排出用端口的冷却配管的连接作业变得困难等，不能够与现场的冷却配管布局对应而迅速地进行相对于真空泵的冷却部件的冷却配管的连接作业，使用方便性较差。在以上的说明中，括号内的附图标记是在专利文献1中使用的附图标记。专利文献1:WO2012/053270日本特开2017-194040号公报。
技术实现思路
本专利技术是为了解决前述问题点而提出的，其目的在于提供一种使用方便性良好的真空泵及其冷却部件，能够与设置真空泵的现场的冷却配管布局对应而迅速地进行相对于真空泵的冷却部件的冷却配管的连接作业。为了达成前述目的，本专利技术是一种借助旋转体的旋转而对气体进行吸气和排气的真空泵，其特征在于，具有收纳前述旋转体的外装框体、被配置于前述外装框体的外周的冷却部件，前述冷却部件具备：由第一以及第二端口构成的多个端口对、与前述多个端口对的前述各端口连通的冷却介质的流路、以及设定前述多个端口对的使用形态的设定机构，前述多个端口对沿前述外装框体的周向方向设置，前述设定机构为，在前述多个端口对中，关于被选择的一个端口对，设定为能够使用其前述第一端口从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、能够使用其前述第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出，并且，关于在此之外的端口对，设定为不能使用其前述第一端口从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、不能使用其第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出。此外，本专利技术是一种被配置于真空泵的外装框体外周的真空泵的冷却部件，其特征在于，具备由第一以及第二端口构成的多个端口对、与前述多个端口对的各端口连通的冷却介质的流路、以及设定前述多个端口对的使用形态的设定机构，前述多个端口对沿前述外装框体的周向方向设置，前述设定机构为，在前述多个端口对中，关于被选择的一个端口对，设定为能够使用其前述第一端口从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、能够使用其前述第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出，并且，关于在此之外的端口对，设定为不能使用其前述第一端口从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、不能使用其第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出。在前述本专利技术中，其特征在于，作为前述设定机构，采用连接管，在前述多个端口对中，在使用被选择的一个端口对从外部向前述流路内进行冷却介质的供给以及从前述流路内向外部进行冷却介质的排出的情况下，通过将前述连接管安装在没有被选择的其他的端口对上，使构成前述其他的端口对的前述第一端口和前述第二端口连通连接。在前述本专利技术中，其特征在于，作为前述设定机构，采用中间流路、以及第一及第二塞，前述中间流路构成为具有用于插入前述第一塞的塞插入孔部、并且将构成前述多个端口对的前述第一端口和前述第二端口连通连接，前述第一塞以既定量插入到前述中间流路的前述塞插入孔部从而与该插入量对应而具备下述功能：作为防止自前述塞插入孔部的冷却介质的流出、并且截断在前述中间流路内的冷却介质的流动的机构的功能、以及作为防止自前述塞插入孔部的冷却介质的流出、并且维持前述中间流路内的冷却介质的流动的机构的功能，前述第二塞被能够拆装地安装于构成前述多个端口对的前述第一、第二端口，在其安装时，作为禁止经由前述第一、第二端口的冷却介质的出入的机构而起作用。在本专利技术中，作为真空泵及其冷却部件的具体的结构，如前所述，采用了端口对沿外装框体的周向方向设置多个这样的结构。为此，在设置真空泵的现场中，从多个端口对中选择与现场的冷却配管布局对应的一个端口对而相对于选择后的端口对连接对应的冷却配管即可，所以能够提供一种使用方便性良好的真空泵及其冷却部件，能够与现场的冷却配管布局对应而迅速地进行相对于真空泵的冷却部件的冷却配管的连接作业。附图说明图1是应用了本专利技术的真空泵的剖视图。图2是图1的真空泵中采用的冷却部件的第一概念图。图3是在图2的冷却部件中，与设置真空泵的现场的冷却配管布局对应而变更了使用的端口对的例子的说明图。图4是图2的真空泵中采用的冷却部件的第二概念图。图5是在图4的冷却部件中，与设置真空泵的现场的冷却配管布局对应而变更了使用的端口对的例子的说明图。图6是作为截止塞或者填充塞而起作用的第一塞的局部剖视示意图（作为填充塞而起作用的状态）。图7是图6所示的第一塞的动作说明图（作为截止塞而起作用的状态）。图8是应用了本专利技术的其他的真空泵的剖视图。具体实施方式以下，一边参照附图一边详细地说明用于实施本专利技术的最优的方式。图1是应用了本专利技术的真空泵的剖视图，图2是图1的真空泵中采用的冷却部件的第一概念图。图1的真空泵P1具备：外装框体1；旋转体2，其被收纳在外装框体1内；支承机构3，其能够旋转地支承旋转体2；驱动机构4，其旋转驱动旋转体2；吸气口5，其用于通过旋转体2的旋转而对气体进行吸气；排气口6，其用于将从吸气口5吸气后的气体进行排气；气体的流路7（以下称为“气体流路”），其为从吸气口5朝向排气口6移动的气体的流路；冷却部件8，其被配置在外装框体1的外周，且真空泵P1为借助旋转体2的旋转而将气体进行吸气和排气的构造。外装框体1具有泵基座1B及位于泵基座1B之上的筒状的泵壳体1A，泵壳体1A的上端部侧作为前述吸气口5而开口。吸气口5与在真空环境中实施既定的处理的装置、例如半导体制造装置的处理腔室等那样地成为高真空的真空腔室（省略图示）连接。在泵基座1B的下端部侧表面设置有排气端口9，排气端口9的一端与前述气体流路7连通，该排气端口9的另一端为作为前述排气口6而开口的形态。排气口6与未图示的辅助泵连通连接。在泵壳体1A内的中央部设置有定子柱10。该定子柱10为从泵基座1B朝向吸气口5的方向立起的构造。在这样的构造的定子柱10上安装有各种电装部件（参照后述的驱动马达15等）。在图1的真空泵中，采用了定子柱10和泵基座1B作为一个部件而一体化了的构造，但也不被限定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，是借助旋转体的旋转而对气体进行吸气和排气的真空泵，其特征在于，具有：/n外装框体，收纳前述旋转体；/n冷却部件，被配置在前述外装框体的外周，/n前述冷却部件具备：/n多个端口对，由第一以及第二端口构成；/n冷却介质的流路，与前述多个端口对的前述各端口连通；/n设定机构，设定前述多个端口对的使用形态，/n前述多个端口对沿前述外装框体的周向方向设置，/n前述设定机构为，在前述多个端口对之中，关于被选择的一个端口对，设定为能够使用其前述第一端口而从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、能够使用其前述第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出，并且，关于在此之外的端口对，设定为不能使用其前述第一端口而从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、不能使用其第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空泵，是借助旋转体的旋转而对气体进行吸气和排气的真空泵，其特征在于，具有：
外装框体，收纳前述旋转体；
冷却部件，被配置在前述外装框体的外周，
前述冷却部件具备：
多个端口对，由第一以及第二端口构成；
冷却介质的流路，与前述多个端口对的前述各端口连通；
设定机构，设定前述多个端口对的使用形态，
前述多个端口对沿前述外装框体的周向方向设置，
前述设定机构为，在前述多个端口对之中，关于被选择的一个端口对，设定为能够使用其前述第一端口而从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、能够使用其前述第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出，并且，关于在此之外的端口对，设定为不能使用其前述第一端口而从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、不能使用其第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出。


2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
作为前述设定机构采用连接管，
在前述多个端口对中，使用被选择的一个端口对而从外部向前述流路内进行冷却介质的供给以及从前述流路内向外部进行冷却介质的排出的情况下，通过将前述连接管安装于没有被选择的其他的端口对，使构成前述其他的端口对的前述第一端口和前述第二端口连通连接。


3.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
作为前述设定机构采用中间流路和第一以及第二塞，
前...

【专利技术属性】
技术研发人员：三轮田透，高井庆行，坂口祐幸，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP