抛光垫修整器、抛光设备及方法技术

本发明专利技术提供一种抛光垫修整器、抛光设备及方法。抛光垫修整器包括驱动装置、安装基板、钻石修整头、毛刷、弹性连接件及控制器，所述安装基板包括第一表面，所述钻石修整头设置于所述安装基板的第一表面，所述毛刷通过所述弹性连接件设置于所述安装基板的第一表面；所述驱动装置与所述安装基板及控制器相连接，用于在所述控制器的控制下，向所述安装基板施加压力，所述弹性连接件的伸缩度随所述压力的变化而发生变化，由此改变所述毛刷相对于所述钻石修整头的高度，以实现不同的修整目的。采用本发明专利技术，在抛光作业过程中，可以根据需要灵活切换钻石修整头或毛刷，有助于改善抛光效果，提高抛光效率。

【技术实现步骤摘要】
抛光垫修整器、抛光设备及方法
本专利技术涉及硅片制备领域，特别是涉及一种抛光垫修整器、抛光设备及方法。
技术介绍
抛光垫修整器(Padconditioner/Dresser)是在硅片抛光工艺中，用来改善抛光垫表面状况的一种装置。目前抛光垫修整器主要有毛刷型和钻石型两种。毛刷型主要起清洁抛光垫的作用，对于抛光垫的磨损消耗比较小，对于抛光工艺均匀度影响比较小，主要用于偏软的抛光垫；钻石型主要起改善抛光垫粗糙度的作用，也有一定的清洁作用，对于抛光垫的磨损消耗比较大，对于抛光工艺均匀度影响比较大，主要用于偏硬的抛光垫。而目前主流的抛光设备针对每张抛光垫都只配备了一组抛光垫修整器基座和摆动手臂，即，只能选择一种类型的抛光垫修整器，无法实现毛刷型和钻石型的同时使用或交替使用，无法达到既能够清洁，又能够改善粗糙度的效果。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种抛光垫修整器、抛光设备及方法，用于解决现有的抛光设备只配备单一类型的修整器，无法实现毛刷型和钻石型修整器的同时使用或交替使用，导致在使用上有诸多不变，无法达到既能够清洁，又能够改善粗糙度的效果等问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种抛光垫修整器，包括：驱动装置、安装基板、钻石修整头、毛刷、弹性连接件及控制器，所述安装基板包括第一表面，所述钻石修整头设置于所述安装基板的第一表面，所述毛刷通过所述弹性连接件设置于所述安装基板的第一表面；所述驱动装置与所述安装基板及控制器相连接，用于在所述控制器的控制下，向所述安装基板施加压力，所述弹性连接件的伸缩度随所述压力的变化而发生变化，由此改变所述毛刷相对于所述钻石修整头的高度，以实现不同的修整目的。可选地，所述钻石修整头为中空环状，所述毛刷位于所述钻石修整头的内侧。可选地，所述驱动装置包括气缸和电动缸中的一种。可选地，所述抛光垫修整器还包括基座，所述安装基板还包括相对于第一表面的第二表面，所述基座与所述安装基板的第二表面相连接。可选地，所述抛光垫修整器还包括调整臂，所述调整臂与所述基座相连接，且与驱动装置及控制器电连接，以在所述控制器的控制下，通过所述调整臂调整所述抛光垫修整器的位置。可选地，所述抛光垫修整器还包括旋转装置，所述旋转装置与所述钻石修整头和/或所述毛刷相连接，用于带动所述钻石修整头和/或所述毛刷旋转。可选地，当所述压力小于临界压力时，所述毛刷的下表面低于所述钻石修整头的下表面并与抛光垫接触，以实现对抛光垫的清洁；当所述压力大于等于所述临界压力时，所述毛刷的下表面与所述钻石修整头的下表面均与抛光垫接触，以实现对抛光垫的修整。可选地，所述弹性连接件为弹簧。本专利技术还提供一种抛光设备，所述抛光设备包括如上述任一方案中所述的抛光垫修整器。本专利技术还提供一种抛光方法，所述抛光方法依上述任一方案中所述的抛光设备进行，所述抛光方法包括在抛光过程中切换所述钻石修整头和毛刷，以实现对抛光垫表面不同的抛光需要。如上所述，本专利技术的抛光垫修整器、抛光设备及方法，具有以下有益效果：本专利技术经改善的结构设计，在抛光垫修整器上同时设置钻石修整头和毛刷，因而在抛光作业过程中，可以根据需要灵活切换钻石修整头或毛刷，比如在硅片抛光开始阶段，设置较高的压力，使得钻石修整头工作，获得比较适合的粗糙度，在硅片抛光进入收尾阶段，设置较低的压力，使得仅有毛刷工作，则可以在不消耗抛光垫的情况下，获得更好的洁净度。本专利技术的装置结构简单，使用非常方便。采用本专利技术，有助于改善抛光效果，提高抛光效率。附图说明图1显示为本专利技术的抛光垫修整器的结构示意图。图2显示为图1中的钻石修整头和毛刷的位置关系示意图。图3及图4显示为图1在不同压力下的状态示意图。元件标号说明11基座12安装基板12a第一表面12b第二表面13钻石修整头14毛刷15弹性连接件具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本专利技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点及功效。请参阅图1至图4。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本专利技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本专利技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本专利技术所揭示的
技术实现思路
所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本专利技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质
技术实现思路
的变更下，当亦视为本专利技术可实施的范畴。如图1及图2所示，本专利技术提供一种抛光垫修整器，包括：驱动装置(未示出)、安装基板12、钻石修整头13、毛刷14、弹性连接件15及控制器(未示出)，所述安装基板12包括第一表面12a，所述钻石修整头13设置于所述安装基板12的第一表面12a，所述毛刷14通过所述弹性连接件15设置于所述安装基板12的第一表面12a，即所述弹性连接件15的一端与所述安装基板12的第一表面12a相连接，另一端与所述毛刷14相连接，所述毛刷14的刷毛朝背离所述弹性连接件15的方向延伸，且优选所述毛刷14与所述钻石修整头13之间具有间距，以确保两者在工作时互不干扰；所述驱动装置与所述安装基板12及控制器相连接，所述驱动装置在所述控制器的控制下，向所述安装基板12施加压力，所述弹性连接件15的伸缩度随所述压力的变化而发生变化，由此改变所述毛刷14相对于所述钻石修整头13的高度，以实现不同的修整目的。比如在需要抛光垫具有较大粗糙度时，需利用所述钻石修整头13，则使所述弹性连接件15收缩以使所述毛刷14的下表面高于钻石修整头13的下表面，而在不需要钻石修整头13时，弹性连接件15自然伸展，以使所述毛刷14的下表面低于所述钻石修整头13的下表面(当然，此过程中通常需要配合调整抛光垫修整器和抛光垫之间的距离)。本专利技术经改善的结构设计，在抛光垫修整器上同时设置钻石修整头和毛刷，因而在抛光作业过程中，可以根据需要灵活切换钻石修整头或毛刷，以使抛光垫表面的粗糙度满足待抛光物的不同抛光需要。比如在硅片抛光开始阶段，设置较高的压力，使得钻石修整头工作，获得比较适合的粗糙度，在硅片抛光进入收尾阶段，设置较低的压力，使得仅有毛刷工作，则可以在不消耗抛光垫的情况下，获得更好的洁净度。本专利技术结构简单，使用非常方便。采用本专利技术，有助于改善抛光效果，提高抛光效率。作为示例，所述钻石修整头13为中空环状，所述毛刷14位于所述钻石修整头13的内侧(所述弹性连接件15相应位于所述钻石修整头13的内侧)，也即位于所述钻石修整头13的中间，所述毛刷14的刷头面优选为圆形面，所述毛刷14和钻石修整头13的位置关系如图2所示。作为示例，所述驱动装置包括气缸和电动缸中的一种。...

【技术保护点】
1.一种抛光垫修整器，其特征在于，包括：驱动装置、安装基板、钻石修整头、毛刷、弹性连接件及控制器，所述安装基板包括第一表面，所述钻石修整头设置于所述安装基板的第一表面，所述毛刷通过所述弹性连接件设置于所述安装基板的第一表面；所述驱动装置与所述安装基板及控制器相连接，以在所述控制器的控制下，向所述安装基板施加压力，所述弹性连接件的伸缩度随所述压力的变化而发生变化，由此改变所述毛刷相对于所述钻石修整头的高度，以实现不同的修整目的。/n

【技术特征摘要】
1.一种抛光垫修整器，其特征在于，包括：驱动装置、安装基板、钻石修整头、毛刷、弹性连接件及控制器，所述安装基板包括第一表面，所述钻石修整头设置于所述安装基板的第一表面，所述毛刷通过所述弹性连接件设置于所述安装基板的第一表面；所述驱动装置与所述安装基板及控制器相连接，以在所述控制器的控制下，向所述安装基板施加压力，所述弹性连接件的伸缩度随所述压力的变化而发生变化，由此改变所述毛刷相对于所述钻石修整头的高度，以实现不同的修整目的。


2.根据权利要求1所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述钻石修整头为中空环状，所述毛刷位于所述钻石修整头的内侧。


3.根据权利要求1所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述驱动装置包括气缸和电动缸中的一种。


4.根据权利要求1所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述抛光垫修整器还包括基座，所述安装基板还包括相对于第一表面的第二表面，所述基座与所述安装基板的第二表面相连接。


5.根据权利要求4所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述抛光垫修整器还包括调整臂，所述调整臂与所述基座...

【专利技术属性】
技术研发人员：沙酋鹤，
申请(专利权)人：上海新昇半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31