【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微移动元件，包括：微移动衬底，设有微移动单元，该微移动单元包括：框架；可移动部件，其能够转动；扭转连接部件，连接该框架与该可移动部件；以及致动器，用于产生使该可移动部件转动的驱动力；封装基底，包括内部互连结构；以及 导电连接部件，设置在所述微移动衬底与所述封装基底之间，电连接该致动器与该内部互连结构。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾根田弘光，宓晓宇，奥田久雄，壶井修，高马悟觉，上田知史，
申请(专利权)人：富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。