一种硅片加工用均胶机制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体加工技术领域，且公开了一种硅片加工用均胶机，包括机体，所述机体的侧面转动连接有转动杆，所述转动杆的端部连接有齿轮组，所述齿轮组的数量为两个，另一个所述齿轮组的内壁螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部转动连接有转动筒，所述转动筒的内壁固定安装有定位座。通过把手、主动轮与齿条之间的配合，使得限位夹可以移动不同的位置，当限位夹移动到最顶端时，更好将硅片夹持在吸盘的轴心处，使得吸盘在固定与旋转时，始终沿吸盘的轴心做圆周运动，一方面使得硅片保持均匀旋转，另一方面增加硅片在旋转时的稳定性，解决了手动放置偏移，吸气管吸力下降，无法稳定吸附硅片的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片加工用均胶机
本技术涉及半导体加工
，具体为一种硅片加工用均胶机。
技术介绍
匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度，主要将基片上涂覆一层光刻胶。现有均胶机的工作原理为，将硅片防止在均胶机的加工台上，然后用胶枪，使胶水滴落在基片上，然后启动真空泵将均胶机内部的空气抽出，然后加工台带动硅片旋转，利用离心力的作用，将胶水均匀涂覆在硅片上，现有硅片在安装时，大多是直接放置在加工台上，然后再由加工台上的吸气管，将硅片吸附在加工台上，吸气管与真空泵相连，当硅片在旋转时，部分多余的胶水会流至硅片的底部，胶水受到重力的影响，再加上真空泵始终处于工作状态，产生的吸力，也会将部分胶水通过吸气管吸附至泵体内，导致泵体内含有大量杂质，同时胶水的吸入，也会造成吸气管堵塞，导致均胶机内部的空气无法排出，且吸气管堵塞后，也无法将硅片牢牢吸附在加工台上，导致硅片在旋转时，无法均匀做圆周运动，偏移加工台的轴心，更严重时，将会导致硅片从加工台上直接甩出的，造成硅片受力破损，影响硅片的加工和均胶机的后续使用。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅片加工用均胶机，具备校正硅片位置、吸附稳定的优点，解决了硅片偏移、硅片脱落的问题。本技术提供如下技术方案：一种硅片加工用均胶机，包括机体，所述机体的侧面转动连接有转动杆，所述转动杆的端部连接有齿轮组，所述齿轮组的数量为两个，另一个所述齿轮组的内壁螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部转动连接有转动筒，所述转动筒的内壁固定安装有定位座，所述定位座内转动连接有定位杆，所述定位杆上安装有定位块，所述定位块的端部安装有滑动块，所述滑动块上转动连接有滑动杆，所述滑动杆的端部贯穿并延伸至机体的外部，所述螺纹杆的内壁固定连接有充气筒，所述充气筒上滑动安装有竖杆，所述竖杆的端部固定连接有活塞，所述活塞的侧面与充气筒的底壁之间安装有弹簧，所述充气筒的端部连通有吸盘。优选的，所述机体的两侧固定安装有支撑架，所述支撑架上转动安装有把手，所述把手上安装有位于支撑架内部的主动轮，所述主动轮的外齿啮合连接有齿条，所述齿条的底部固定连接有支撑杆，所述支撑架与支撑杆的相接处开设有卡槽，卡槽的宽度与支撑杆的宽度相适配，支撑杆移动的长度小于卡槽的长度。优选的，所述齿条的端部固定连接有固定块，固定块的外壁与支撑架的内壁滑动连接，所述齿条的另一端固定连接有磁块，所述磁块的数量为两个，另一个所述磁块与支撑架的侧壁固定连接，两个所述磁块为异级相吸状态。优选的，所述支撑杆的底端固定连接有限位夹，所述限位夹的内壁固定安装有弹性夹，所述限位夹与弹性夹的形状均为弧形。与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：1、该硅片加工用均胶机，通过把手、主动轮与齿条之间的配合，使得限位夹可以移动不同的位置，当限位夹移动到最顶端时，更好将硅片夹持在吸盘的轴心处，使得吸盘在固定与旋转时，始终沿吸盘的轴心做圆周运动，一方面使得硅片保持均匀旋转，另一方面增加硅片在旋转时的稳定性，解决了手动放置偏移，吸气管吸力下降，无法稳定吸附硅片的问题。2、该硅片加工用均胶机，通过转动杆、齿轮组与螺纹杆的配合，使得吸盘不断上升，将吸盘内部的空气排出，从而将硅片固定在吸盘的下方，使得硅片无需防止在吸气管的端部也可固定，一方面杜绝胶水进入吸气管的内部，另一方面增加硅片在固定时的稳定性，同时拉动滑动杆即可使活塞推动气体进入吸盘内，从而便于吸盘的脱落。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为定位座的侧视结构示意图；图3为充气筒的放大结构示意图；图4为支撑架的结构示意图；图5为限位夹的俯视结构示意图。图中：1、机体；2、转动杆；3、齿轮组；4、螺纹杆；5、转动筒；6、定位座；7、定位杆；8、定位块；9、滑动块；10、滑动杆；11、充气筒；12、竖杆；13、活塞；14、弹簧；15、吸盘；16、支撑架；17、把手；18、主动轮；19、齿条；20、支撑杆；21、磁块；22、限位夹；23、弹性夹。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，一种硅片加工用均胶机，包括机体1，所述机体1的侧面转动连接有转动杆2，所述转动杆2的端部连接有齿轮组3，齿轮组3为锥齿轮，当转动杆2带动齿轮旋转时，利用齿轮的啮合，带动螺纹杆4上的齿轮旋转，螺纹杆4上的齿轮内部设有内螺纹，与丝杆原理相似，可带动螺纹杆4向上或向下移动，螺纹杆4上的齿轮与机体1的内壁转动连接，通过两边设置支撑圈，支撑圈与齿轮接触的位置为环形，便于对齿轮的固定，将齿轮固定在螺纹杆4上，所述齿轮组3的数量为两个，另一个所述齿轮组3的内壁螺纹连接有螺纹杆4，所述螺纹杆4的底部转动连接有转动筒5，螺纹杆4的直径小于转动筒5的直径，螺纹杆4的底部安装在转动筒5的顶部，所述转动筒5的内壁固定安装有定位座6，所述定位座6内转动连接有定位杆7，所述定位杆7上安装有定位块8，所述定位块8的端部安装有滑动块9，所述滑动块9上转动连接有滑动杆10，所述滑动杆10的端部贯穿并延伸至机体1的外部，所述螺纹杆4的内壁固定连接有充气筒11，所述充气筒11上滑动安装有竖杆12，竖杆12的顶部与滑动杆10的底部相接触，便于滑动杆10移动时，使得竖杆12保持同步运动，所述竖杆12的端部固定连接有活塞13，所述活塞13的侧面与充气筒11的底壁之间安装有弹簧14，所述充气筒11的端部连通有吸盘15，便于将充气筒11内部的气体冲入吸盘15内，从而将吸盘15从硅片上脱落。其中，所述机体1的两侧固定安装有支撑架16，所述支撑架16上转动安装有把手17，所述把手17上安装有位于支撑架16内部的主动轮18，所述主动轮18的外齿啮合连接有齿条19，所述齿条19的底部固定连接有支撑杆20，所述支撑架16与支撑杆20的相接处开设有卡槽，卡槽的宽度与支撑杆20的宽度相适配，支撑杆20移动的长度小于卡槽的长度，便于支撑杆20的移动，使得支撑杆20可以移动不同的位置。其中，所述齿条19的端部固定连接有固定块，固定块的外壁与支撑架16的内壁滑动连接，所述齿条19的另一端固定连接有磁块21，所述磁块21的数量为两个，另一个所述磁块21与支撑架16的侧壁固定连接，两个所述磁块21为异级相吸状态，一方面增加齿条19在移动时的稳定性，使得齿条19保持横向竖直移动，另一方面利用两个磁块21吸附的力度，将限位夹22吸附在硅片的外部，便于将硅片固定在吸盘15的轴心处，便于吸盘15的吸附。其中，所述支撑杆20的底端固定连接有限位夹22，所述限位夹22的内壁固定安装有弹性夹23，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片加工用均胶机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的侧面转动连接有转动杆(2)，所述转动杆(2)的端部连接有齿轮组(3)，所述齿轮组(3)的数量为两个，另一个所述齿轮组(3)的内壁螺纹连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)的底部转动连接有转动筒(5)，所述转动筒(5)的内壁固定安装有定位座(6)，所述定位座(6)内转动连接有定位杆(7)，所述定位杆(7)上安装有定位块(8)，所述定位块(8)的端部安装有滑动块(9)，所述滑动块(9)上转动连接有滑动杆(10)，所述滑动杆(10)的端部贯穿并延伸至机体(1)的外部，所述螺纹杆(4)的内壁固定连接有充气筒(11)，所述充气筒(11)上滑动安装有竖杆(12)，所述竖杆(12)的端部固定连接有活塞(13)，所述活塞(13)的侧面与充气筒(11)的底壁之间安装有弹簧(14)，所述充气筒(11)的端部连通有吸盘(15)。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片加工用均胶机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的侧面转动连接有转动杆(2)，所述转动杆(2)的端部连接有齿轮组(3)，所述齿轮组(3)的数量为两个，另一个所述齿轮组(3)的内壁螺纹连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)的底部转动连接有转动筒(5)，所述转动筒(5)的内壁固定安装有定位座(6)，所述定位座(6)内转动连接有定位杆(7)，所述定位杆(7)上安装有定位块(8)，所述定位块(8)的端部安装有滑动块(9)，所述滑动块(9)上转动连接有滑动杆(10)，所述滑动杆(10)的端部贯穿并延伸至机体(1)的外部，所述螺纹杆(4)的内壁固定连接有充气筒(11)，所述充气筒(11)上滑动安装有竖杆(12)，所述竖杆(12)的端部固定连接有活塞(13)，所述活塞(13)的侧面与充气筒(11)的底壁之间安装有弹簧(14)，所述充气筒(11)的端部连通有吸盘(15)。


2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用均胶机，其特征在于：所述机体(1)的两侧固定安装有支撑架(16...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建章，
申请(专利权)人：徐州野马锂电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32