光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器制造技术

技术编号:2668159 阅读:194 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术的目的在于提供可以在降低驱动电压的同时,对宽范围的波长的光使用的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明专利技术的光学设备(1)为可以通过在驱动电极和可动部(21)之间产生电位差,而在它们之间产生静电引力,使可动部(21)的位置及/或姿势变化,在固定反射膜(35)和可动反射膜(25)之间反复进行光反射,产生光干涉,并向外部射出与它们之间距离对应的波长的光的结构,驱动电极具有隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置的第一驱动电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于可动反射膜(25)相反侧的面对置的第二驱动电极(43)。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种光学设备,其具备:    具有第一光反射部的固定部;    具有隔着间隔与所述第一光反射部对置的第二光反射部,且可以相对所述固定部位移从而改变所述第一光反射部和所述第二光反射部之间距离的可动部;    隔着间隔与所述可动部对置的驱动电极,    通过在所述驱动电极和所述可动部之间产生电位差,而在它们之间产生静电引力,使所述可动部的位置及/或姿势变化,    在所述第一光反射部和所述第二光反射部之间反复进行光反射,产生干涉,从而可以向外部射出与它们之间距离对应的波长的光,    所述光学设备的特征在于,    所述驱动电极具有隔着间隔与所述可动部的所述第一光反射部侧的面对置的第一驱动电极、和隔着间隔与所述可动部的位于所述第一光反射部相反侧的面对置的第二驱动电极。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:中村亮介
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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