具备静压流体支承装置的机床制造方法及图纸

一种机床，其中，具备：支承体；移动体，其能够相对于上述支承体相对移动；静压流体支承装置，其经由流体将上述移动体支承为能够相对于上述支承体相对移动；以及振动测定装置，其能够测定上述移动体的振动。上述静压流体支承装置具备：静压凹部；流体供给装置，其供给上述流体；流体引导流路，其将从上述流体供给装置供给的流体向上述静压凹部引导；主动型的可变节流阀，其通过改变节流开度，能够调整供给至上述静压凹部的上述流体的流量；以及阀控制装置，其基于上述振动测定装置的测定结果主动地调整上述节流开度。

【技术实现步骤摘要】
具备静压流体支承装置的机床
本专利技术涉及具备静压流体支承装置的机床。
技术介绍
公知具备静压流体支承装置的机床。例如，在专利文献1中公开了在对置的移动体以及固定体的面中的一方具备静压凹部的静压流体支承(轴承)装置。在专利文献1记载的静压流体支承装置中，通过泵加压后的流体供给至静压凹部，在移动体与固定体之间形成规定厚度的流体膜。由此，移动体相对于固定体被非接触地支承从而摩擦减少，移动体以及固定体能够高精度地相对移动。专利文献1：日本专利第5874185号公报专利技术人发现，通过根据施加于移动体的干扰负荷主动地调整向静压凹部供给的流体的流量，能够抑制移动体的振动。然而，从改变设置于静压流体支承装置的可变节流阀的节流开度开始，至向静压凹部供给的流体的流量变化为止，产生恒定的时滞。即，即便配合施加于移动体的干扰负荷的变化，改变可变节流阀40的节流开度，向静压凹部供给的流体的流量的变化也与施加于移动体的干扰负荷的变化不一致，无法充分抑制移动体的振动。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种机床，具备通过根据施加于移动体的干扰负荷调整向静压凹部供给的流体的流量来抑制移动体的振动的静压流体支承装置。本专利技术的机床具备：支承体；移动体，其能够相对于上述支承体移动；静压流体支承装置，其经由流体将上述移动体支承为能够相对于上述支承体相对移动；以及振动测定装置，其能够测定上述移动体的振动。上述静压流体支承装置具备：静压凹部，其设置于上述支承体以及上述移动体中的一方，配置于与上述支承体以及上述移动体中的另一方对置的位置；流体供给装置，其供给上述流体；流体引导流路，其将从上述流体供给装置供给的流体向上述静压凹部引导；主动型的可变节流阀，其设置于上述流体引导流路，通过改变节流开度，能够调整供给至上述静压凹部的上述流体的流量；以及阀控制装置，其基于上述振动测定装置的测定结果主动地调整上述节流开度。上述阀控制装置具备：基准波形数据获取部，其获取基于作为上述振动测定装置的测定结果的测定波形数据得到的基准波形数据；最优波形数据生成部，其基于上述基准波形数据生成最优波形数据；以及节流开度调整部，其基于上述最优波形数据调整上述节流开度。上述最优波形数据生成部具备：第一调整波形数据生成部，其生成向时间轴方向转换与上述基准波形数据相位相反的波形数据得到的第一调整波形数据；最优转换时间导出部，其在边改变上述第一调整波形数据相对于上述基准波形数据的相位相反的波形数据的转换时间边基于上述第一调整波形数据调整了上述节流开度时，通过观察上述基准波形数据的振幅的变化，导出对上述基准波形数据的振幅变小最优的上述第一调整波形数据的最优转换时间；以及最优波形数据存储部，其存储以上述最优转换时间在时间轴方向对上述基准波形数据进行转换得到的最优波形数据。根据本专利技术的机床，节流开度调整部基于以最优转换时间在时间轴方向对基准波形数据进行转换得到的最优波形数据调整节流开度。这里，在可变节流阀中调整完节流开度时，调整完节流开度的时刻与向静压凹部供给的流体的流量改变的时刻在时间上产生偏差。即，当基于基准波形数据本身调整完节流开度时，无法使向静压凹部供给的流体的流量为适当量。因此，如上述那样，通过节流开度调整部调整的节流开度基于以最优转换时间在时间轴方向对基准波形数据进行转换得到的最优波形数据来调整。因此，静压流体支承装置能够根据施加于移动体的干扰负荷的变化使向静压凹部供给的流体的流量适当变化。其结果是，该机床能够可靠地抑制移动体的振动。附图说明图1是关于机床中的支承部分的结构图。图2是构成机床的可变节流阀的放大剖视图。图3是构成机床的阀控制装置的功能框图。图4是阀控制装置的最优波形数据生成部的功能框图。图5是示意地表示位移波形数据DW、最优流量波形数据BFW以及流量波形数据FW的线图。图6是示意地表示最优流量波形数据BFW以及第一调整波形数据RW1的线图。图7是示意地表示最优流量波形数据BFW、第一调整波形数据RW1以及第一调整流量波形数据FW1的线图。图8是示意地表示最优流量波形数据BFW、第一调整波形数据RW1、第二调整波形数据RW2、第一调整流量波形数据FW1以及第二调整流量波形数据FW2的线图。图9是表示基准波形数据的振幅以及移动体的位移的时间序列变化与转换时间以及增益的时间序列变化的关系的图。此外，在图9的最下图中，粗线表示转换时间，细线表示增益。图10是表示基准波形数据的振幅与流量波形数据相对于基准波形数据的相位偏移量的关系的线图。图11是表示基准波形数据的振幅与流量波形数据相对于基准波形数据的增益之差的关系的线图。图12是表示通过阀控制装置执行的节流开度调整处理的流程图。图13是表示在节流开度调整处理中执行的最优波形数据生成处理的流程图。图14A是表示在最优波形数据生成处理中执行的最优转换时间导出处理的流程图。图14B是表示在最优波形数据生成处理中执行的最优转换时间导出处理的流程图。图15是表示在最优波形数据生成处理中执行的最优增益导出处理的流程图。附图标记说明：1…机床；2…支承体；3…移动体；4…振动测定装置；10…静压凹部；20…流体供给装置；30…流体引导流路；40…可变节流阀；61…节流开度调整部；70…基准波形数据获取部；80…判定部；91…第一调整波形数据生成部；92…最优转换时间导出部；93…第二调整波形数据生成部；94…最优增益导出部；95…初始转换时间存储部；96…初始增益存储部；100…静压流体支承装置；am11…第一调整前振幅；am12…第一调整后振幅；am21…第二调整前振幅；am22…第二调整后振幅；BG…最优增益；BPS…最优转换时间；D…缝隙(节流开度)；F…流体。具体实施方式(1.机床1的结构)机床1例如是磨床、加工中心等，具备将移动体支承为相对于支承体能够移动的支承装置。为了高精度支承移动体，本例中的机床应用静压流体支承装置作为支承装置。特别是在本例中，通过主动地调整静压流体支承装置中的向静压凹部供给的流体的流量，能够使移动体的振动衰减。这里，移动体可以构成为相对于支承体滑动移动，也可以构成为进行旋转。移动体构成为滑动移动的结构，是磨床中的砂轮座、纵向基座、工作台、加工中心中的柱、工作台等。另外，移动体构成为进行旋转的结构，是磨床中的砂轮的支承轴、工件的旋转支承轴、加工中心中的工具的支承轴、工件的旋转支承轴等。参照图1说明机床1的结构。其中，在图1中，仅图示机床1中的与支承部分有关的结构。机床1主要具备支承体2、移动体3和静压流体支承装置100。例如，当机床1是砂轮座纵向进给类型的磨床时，支承体2是磨床中的纵向基座，移动体3是磨床的砂轮座。当机床1是工作台纵向进给类型的磨床时，支承体2是磨床中的基座，移动体3是磨床的砂轮座。当然，支承体2以及移动体3也能以除上述以外的方式应用。静压流体支承装置100是经本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机床，其中，具备：/n支承体；/n移动体，其能够相对于所述支承体相对移动；/n静压流体支承装置，其经由流体将所述移动体支承为能够相对于所述支承体相对移动；以及/n振动测定装置，其能够测定所述移动体的振动，/n所述静压流体支承装置具备：/n静压凹部，其设置于所述支承体以及所述移动体中的一方，配置于与所述支承体以及所述移动体中的另一方对置的位置；/n流体供给装置，其供给所述流体；/n流体引导流路，其将从所述流体供给装置供给的流体向所述静压凹部引导；/n主动型的可变节流阀，其设置于所述流体引导流路，通过改变节流开度，能够调整供给至所述静压凹部的所述流体的流量；以及/n阀控制装置，其基于所述振动测定装置的测定结果主动地调整所述节流开度，/n所述阀控制装置具备：/n基准波形数据获取部，其获取基于作为所述振动测定装置的测定结果的测定波形数据得到的基准波形数据；/n最优波形数据生成部，其基于所述基准波形数据生成最优波形数据；以及/n节流开度调整部，其基于所述最优波形数据调整所述节流开度，/n所述最优波形数据生成部具备：/n第一调整波形数据生成部，其生成向时间轴方向转换与所述基准波形数据相位相反的波形数据得到的第一调整波形数据；/n最优转换时间导出部，其在边改变所述第一调整波形数据相对于所述基准波形数据的相位相反的波形数据的转换时间边基于所述第一调整波形数据调整完所述节流开度时，通过获取所述基准波形数据的振幅的变化，导出对所述基准波形数据的振幅变小最优的所述第一调整波形数据的最优转换时间；以及/n最优波形数据存储部，其存储以所述最优转换时间在时间轴方向对所述基准波形数据进行转换得到的最优波形数据。/n...

【技术特征摘要】
20190605 JP 2019-1051491.一种机床，其中，具备：
支承体；
移动体，其能够相对于所述支承体相对移动；
静压流体支承装置，其经由流体将所述移动体支承为能够相对于所述支承体相对移动；以及
振动测定装置，其能够测定所述移动体的振动，
所述静压流体支承装置具备：
静压凹部，其设置于所述支承体以及所述移动体中的一方，配置于与所述支承体以及所述移动体中的另一方对置的位置；
流体供给装置，其供给所述流体；
流体引导流路，其将从所述流体供给装置供给的流体向所述静压凹部引导；
主动型的可变节流阀，其设置于所述流体引导流路，通过改变节流开度，能够调整供给至所述静压凹部的所述流体的流量；以及
阀控制装置，其基于所述振动测定装置的测定结果主动地调整所述节流开度，
所述阀控制装置具备：
基准波形数据获取部，其获取基于作为所述振动测定装置的测定结果的测定波形数据得到的基准波形数据；
最优波形数据生成部，其基于所述基准波形数据生成最优波形数据；以及
节流开度调整部，其基于所述最优波形数据调整所述节流开度，
所述最优波形数据生成部具备：
第一调整波形数据生成部，其生成向时间轴方向转换与所述基准波形数据相位相反的波形数据得到的第一调整波形数据；
最优转换时间导出部，其在边改变所述第一调整波形数据相对于所述基准波形数据的相位相反的波形数据的转换时间边基于所述第一调整波形数据调整完所述节流开度时，通过获取所述基准波形数据的振幅的变化，导出对所述基准波形数据的振幅变小最优的所述第一调整波形数据的最优转换时间；以及
最优波形数据存储部，其存储以所述最优转换时间在时间轴方向对所述基准波形数据进行转换得到的最优波形数据。


2.根据权利要求1所述的机床，其中，
所述第一调整波形数据生成部生成向时间轴方向依次转换与所述基准波形数据相位相反的波形数据得到的所述第一调整波形数据，
所述最优转换时间导出部比较第一调整后振幅与第一调整前振幅，其中，
所述第一调整后振幅是基于重新时间转换得到的所述第一调整波形数据调整所述节流开度时得到的所述基准波形数据的振幅，
所述第一调整前振幅是基于重新时间转换之前的所述第一调整波形数据调整所述节流开度时得到的所述基准波形数据的振幅，
所述最优转换时间导出部基于所述第一调整后振幅与所述第一调整前振幅的比较结果，导出所述基准波形数据的振幅变小的所述最优转换时间。


3.根据权利要求2所述的机床，其中，
所述第一调整波形数据生成部生成向时间前进方向和时间延迟方向中的任一方依次转换与所述基准波形数据相位相反的波形数据得到的所述第一调整波形数据，
一旦所述第一调整后振幅变为比所述第一调整前振幅小之后变为比所述第一调整前振幅大时，所述最优转换时间导出部将与所述第一调整前振幅对应的所述第一调整波形数据中的转换时间作为所述最优转换时间导出。


4.根据权利要求1～3中的任一项所述的机床，其中，
所述第一调整波形数据生成部将最初生成所述第一调整波形数据时的转换时间即初始转换时间设为除0以外的时间，生成所述第一调整波形数据。


5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：近藤隆，杉本太，金箱孝则，
申请(专利权)人：株式会社捷太格特，
类型：发明
国别省市：日本;JP