固晶设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种固晶设备，其中，所述固晶设备包括机架和多个贴片机构；多个所述贴片机构并列间隔设于所述机架；每一所述贴片机构包括晶圆盘、顶针及顶针；晶圆盘可活动地连接于所述机架，晶圆盘用于粘接晶圆；顶针可活动地连接于所述机架，所述顶针位于所述晶圆盘的上方，并与所述晶圆盘间隔设置；定位件设于所述机架，并位于所述顶针背向所述晶圆盘的一侧，所述定位件具有贴片位置，所述定位件用于放置贴片基材；所述晶圆盘移动至所述定位件的所述贴片位置上方时，所述定位件放置有所述贴片基材，且所述顶针带动所述晶圆盘的晶圆下降，以使晶圆与所述贴片基材抵接。本实用新型专利技术技术方案提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
固晶设备
本技术涉及固晶设备
，特别涉及一种固晶设备。
技术介绍
目前固晶装置都是单组固晶装置对晶圆进行定位贴合，导致生产效率较低，不符合产能需求。上述内容仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种固晶设备，旨在提高生产效率。为实现上述目的，本技术提出的一种固晶设备，所述固晶设备包括：机架；和多个贴片机构，多个所述贴片机构并列间隔设于所述机架；每一所述贴片机构包括：晶圆盘，可活动地连接于所述机架，所述晶圆盘用于粘接晶圆；顶针，可活动地连接于所述机架，所述顶针位于所述晶圆盘的上方，并与所述晶圆盘间隔设置；及定位件，设于所述机架，并位于所述顶针背向所述晶圆盘的一侧，所述定位件具有贴片位置，所述定位件用于放置贴片基材；所述晶圆盘移动至所述定位件的所述贴片位置上方时，所述定位件放置有所述贴片基材，且所述顶针带动所述晶圆盘的晶圆下降，以使晶圆与所述贴片基材抵接。在一实施例中，所述贴片机构还包括第一驱动组件、水平板及竖直板；所述水平板可滑动地连接于所述机架，所述竖直板可滑动地连接于所述水平板背向所述机架的一侧，所述晶圆盘可拆卸地连接于所述竖直板背向所述水平板的一面。在一实施例中，所述第一驱动组件包括：第一电机，设于所述机架；第一丝杆，与所述第一电机的输出轴连接；所述水平板与所述第一丝杆滑动连接；第二电机，设于所述水平板；及第二丝杆，与所述第二电机的输出轴连接；所述竖直板与所述第二丝杆滑动连接；所述第一电机驱动所述第一丝杆带动所述水平板在所述机架上移动，所述第二电机驱动所述第二丝杆带动所述竖直板在所述水平板上移动。在一实施例中，所述定位件为定位圆筒，所述定位圆筒设有内腔和连通所述内腔的穿孔，所述穿孔的延伸方向与所述顶针的延伸方向一致，且所述穿孔贯穿所述定位圆筒；所述穿孔靠近所述晶圆盘的一端设有与所述贴片位置相对设置的透明片，所述透明片用于与所述顶针抵接。在一实施例中，所述固晶设备还包括与所述顶针的周缘连接的防撞机构，所述水平板和所述竖直板均设有过孔，且所述防撞机构与所述过孔的边缘间隔设置，所述防撞机构用于预先与所述过孔的孔壁触碰。在一实施例中，所述贴片机构还包括多个第二驱动组件，每一所述第二驱动组件包括：第三电机，设于所述机架，所述第三电机贯穿所述水平板设置；和滚珠丝杆，所述滚珠丝杆的一端与所述第三电机的输出轴连接，所述滚珠丝杆贯穿所述竖直板设置，所述滚珠丝杆的伸缩杆与所述顶针连接。在一实施例中，所述固晶设备还包括多个第一传感器，每一所述第一传感器设于一所述第三电机，且与每一所述贴片机构的所述顶针和所述定位件间隔设置，所述第一传感器用于检测检测所述晶圆盘与所述顶针的相对位置。在一实施例中，所述固晶设备还包括多个设于所述机架的第二传感器，每一所述第二传感器与每一所述贴片机构的所述顶针、所述晶圆盘间隔设置，且每一所述第二传感器与所述晶圆盘相对设置；所述第二传感器用于检测所述晶圆盘正对所述贴片位置是否有晶圆。在一实施例中，所述固晶设备还包括多个设于所述机架的第三传感器，每一所述第三传感器与一所述贴片位置相对设置，用于检测所述贴片位置是否有晶圆。在一实施例中，所述固晶设备还包括多个设于所述机架的第四传感器，每一所述第四传感器用于在与一贴片基材相对设置时，检测所述贴片基材是否完成贴片。本技术技术方案通过多个所述贴片机构并列间隔设于所述机架；每一所述贴片机构的晶圆盘和顶针均可活动地连接于所述机架，顶针位于所述晶圆盘的上方且间隔设置；定位件设于所述机架，位于所述顶针的下方，所述定位件具有贴片位置；如此，所述晶圆盘移动至所述定位件的所述贴片位置上方时，所述顶针带动所述晶圆盘的晶圆下降与位于所述贴片位置的所述贴片基材抵接，省去现有的固晶设备的吸料装置吸取晶圆、翻转晶圆和定位贴合位置的步骤，提高了晶圆贴合效率，且提高了贴合精度。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本技术固晶设备一实施例的一视角的结构示意图；图2为本技术固晶设备一实施例的另一视角的结构示意图；图3为本技术固晶设备的左视图。附图标号说明：本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，在本技术中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。本技术提出一种固晶设备。在本技术实施例中，参照图1至图3，该固晶设备包括机架和多个贴片机构10，多个所述贴片机构10并列间隔设于所述机架；每一所述贴片机构10包括晶圆盘11、顶针12及定位件13；所述晶圆盘11可活动地连接于所述机架，所述晶圆盘11用于粘接晶圆；所述顶针12可活动地连接于所述机架，所述顶针12位于所述晶圆盘11的上方，并与所述晶圆盘11间隔设置；所述定位件13设于所述机架，并位于所述顶针12背向所述晶圆盘11的一侧，所述定位件13具有贴片位置13a，所述定位件13用于放置贴片基材；所述晶圆盘11移动至所述定位件13的所述贴片位置13a上方时，所述顶针12带动所述晶圆盘11的晶圆下降，以使晶圆与所述贴片基材抵接。在本实施例中，通过多个贴片机构10的晶圆盘11同时移动至指定位置，当确定所述晶圆盘11位于所述指定位置时，控制多个所述晶圆盘11对应的顶针12，将所述晶圆盘11中待顶出的多个晶圆同时顶出，并同时贴合至所述贴片基材上，得到贴合产品。即确定贴片基材和晶圆盘11的位置后，控本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固晶设备，其特征在于，所述固晶设备包括：/n机架；和/n多个贴片机构，多个所述贴片机构并列间隔设于所述机架；/n每一所述贴片机构包括：/n晶圆盘，可活动地连接于所述机架，所述晶圆盘用于粘接晶圆；/n顶针，可活动地连接于所述机架，所述顶针位于所述晶圆盘的上方，并与所述晶圆盘间隔设置；及/n定位件，设于所述机架，并位于所述顶针背向所述晶圆盘的一侧，所述定位件具有贴片位置，所述定位件用于放置贴片基材；/n所述晶圆盘移动至所述贴片位置上方时，且所述顶针带动所述晶圆盘的晶圆下降，以使晶圆与贴片基材抵接。/n

【技术特征摘要】
1.一种固晶设备，其特征在于，所述固晶设备包括：
机架；和
多个贴片机构，多个所述贴片机构并列间隔设于所述机架；
每一所述贴片机构包括：
晶圆盘，可活动地连接于所述机架，所述晶圆盘用于粘接晶圆；
顶针，可活动地连接于所述机架，所述顶针位于所述晶圆盘的上方，并与所述晶圆盘间隔设置；及
定位件，设于所述机架，并位于所述顶针背向所述晶圆盘的一侧，所述定位件具有贴片位置，所述定位件用于放置贴片基材；
所述晶圆盘移动至所述贴片位置上方时，且所述顶针带动所述晶圆盘的晶圆下降，以使晶圆与贴片基材抵接。


2.如权利要求1所述的固晶设备，其特征在于，所述贴片机构还包括第一驱动组件、水平板及竖直板；所述水平板可滑动地连接于所述机架，所述竖直板可滑动地连接于所述水平板背向所述机架的一侧，所述晶圆盘可拆卸地连接于所述竖直板背向所述水平板的一面。


3.如权利要求2所述的固晶设备，其特征在于，所述第一驱动组件包括：
第一电机，设于所述机架；
第一丝杆，与所述第一电机的输出轴连接，所述水平板与所述第一丝杆滑动连接；
第二电机，设于所述水平板；及
第二丝杆，与所述第二电机的输出轴连接；所述竖直板与所述第二丝杆滑动连接；
所述第一电机驱动所述第一丝杆带动所述水平板在所述机架上移动，所述第二电机驱动所述第二丝杆带动所述竖直板在所述水平板上移动。


4.如权利要求3所述的固晶设备，其特征在于，所述定位件为定位圆筒，所述定位圆筒设有内腔和连通所述内腔的穿孔，所述穿孔的延伸方向与所述顶针的延伸方向一致，且所述穿孔贯穿所述定位圆筒；所述穿孔靠近所述晶圆盘的一端设有与所述贴片位置相对...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋仟，单佳伟，黎理明，黎理杰，
申请(专利权)人：深圳源明杰科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44