一种半导体光刻板移动机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体光刻板移动机构，其结构包括运输板、滑动连接块、滑轨、连接斜板、滑轨体、支撑底块、侧连接块、圆杆,本实用新型专利技术一种半导体光刻板移动机构，在将光刻板放置在运输板上的时候，光刻板会先于板体上的吸附块顶端相接触，从而使其能够对光刻板产生一定的吸附，在运输板快移动到加工设备上的时候，板体底部上的活动连接块便于与轨体上的圆杆相接触，从而使活动连接块受力向上移动，带动抽动连接杆上移，使抽板上推，将吸附光刻板推起，使吸附块接触对光刻板的吸附方便进行卸下，使设备在进行使用的时候，其上的运输板能够较好的对光刻板进行吸附固定，在要将其卸下的时候，自动解除吸附，提高了设备对光刻板运输的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体光刻板移动机构
本技术是一种半导体光刻板移动机构，属于光刻板移动设备

技术介绍
半导体光刻板移动机构是光刻板加工设备的连接机构之一，其上设有运输板，运输驱动机构，能够较好的对光刻板进行移动，方便其到连接设备上进行加工，但是现有技术的仍存在以下缺陷：移动机构在进行使用的时候，为了方便将光刻卸下来，往往是采用直接平放的方式来将光刻板放置在运输板进行运输，该方法易在设备发生震动的时候，使其上的光刻板发生偏移抖动，从而对其放置方位造成影响甚至受设备运行震动的影响而滑落下来，影响设备对光刻板进行运输。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种半导体光刻板移动机构，以解决的现有技术移动机构在进行使用的时候，为了方便将光刻卸下来，往往是采用直接平放的方式来将光刻板放置在运输板进行运输，该方法易在设备发生震动的时候，使其上的光刻板发生偏移抖动，从而对其放置方位造成影响甚至受设备运行震动的影响而滑落下来，影响设备对光刻板进行运输的问题。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种半导体光刻板移动机构，其结构包括运输板、滑动连接块、滑轨、连接斜板、滑轨体、支撑底块、侧连接块、圆杆,所述运输板的底端与滑动连接块的顶端为一体化结构，所述滑轨与滑轨体为一体化结构，所述支撑底块的顶端与滑轨体的底端相焊接，所述侧连接块的右端与滑轨体的左端相焊接，所述圆杆设于滑轨体上，所述连接斜板的左端与滑轨体的右端相焊接，所述运输板包括抽动连接杆、滑动弹簧槽、吸附块、抽板、板体、活动连接块、弹簧，所述抽动连接杆的底端与活动连接块的顶端相焊接，所述滑动弹簧槽与板体的顶端为一体化结构，所述吸附块嵌入安装在滑动弹簧槽上，所述抽板嵌入安装在吸附块上，所述抽板的底端与抽动连接杆的顶端相焊接，所述活动连接块位于板体的正下方，所述弹簧嵌入安装在滑动弹簧槽内，所述板体的底端滑动连接块的顶端为一体化结构。进一步地，所述运输板位于支撑底块的正上方。进一步地，所述滑动连接块嵌入安装在滑轨上。进一步地，所述滑动弹簧槽为环形空槽结构。进一步地，所述抽动连接杆与抽板相互垂直。进一步地，所述抽板为圆板结构。进一步地，所述吸附块采用橡胶材质制成，具有一定的弹性。有益效果本技术一种半导体光刻板移动机构，通过将光刻板放置在运输板上，使运输板上的滑动连接块在滑轨上进行滑动，接对光刻板进行移动，使其来到连接设备上进行加工，在将光刻板放置在运输板上的时候，光刻板会先于板体上的吸附块顶端相接触，而吸附块具有一定的弹性，从而使其能够对光刻板产生一定的吸附力，在运输板快移动到加工设备上的时候，板体底部上的活动连接块便于与轨体上的圆杆相接触，从而使活动连接块受力向上移动，带动抽动连接杆上移，使抽板上推，将吸附光刻板推起，使吸附块接触对光刻板的吸附方便进行卸下，通过改进设备的结构，使设备在进行使用的时候，其上的运输板能够较好的对光刻板进行吸附固定，在要将其卸下的时候，自动解除吸附，提高了设备对光刻板运输的稳定性。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种半导体光刻板移动机构的结构示意图；图2为本技术运输板正视图的横截面详细结构示意图；图3为本技术运输板正视图运行后的横截面详细结构示意图。图中：运输板-1、滑动连接块-2、滑轨-3、连接斜板-4、滑轨体-5、支撑底块-6、侧连接块-7、圆杆-8、抽动连接杆-11、滑动弹簧槽-12、吸附块-13、抽板-14、板体-15、活动连接块-16、弹簧-17。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1、图2与图3，本技术提供一种半导体光刻板移动机构技术方案：其结构包括运输板1、滑动连接块2、滑轨3、连接斜板4、滑轨体5、支撑底块6、侧连接块7、圆杆8,所述运输板1的底端与滑动连接块2的顶端为一体化结构，所述滑轨3与滑轨体5为一体化结构，所述支撑底块6的顶端与滑轨体5的底端相焊接，所述侧连接块7的右端与滑轨体5的左端相焊接，所述圆杆8设于滑轨体5上，所述连接斜板4的左端与滑轨体5的右端相焊接，所述运输板1包括抽动连接杆11、滑动弹簧槽12、吸附块13、抽板14、板体15、活动连接块16、弹簧17，所述抽动连接杆11的底端与活动连接块16的顶端相焊接，所述滑动弹簧槽12与板体15的顶端为一体化结构，所述吸附块13嵌入安装在滑动弹簧槽12上，所述抽板14嵌入安装在吸附块13上，所述抽板14的底端与抽动连接杆11的顶端相焊接，所述活动连接块16位于板体15的正下方，所述弹簧17嵌入安装在滑动弹簧槽12内，所述板体15的底端滑动连接块2的顶端为一体化结构，所述运输板1位于支撑底块6的正上方，所述滑动连接块2嵌入安装在滑轨3上，所述滑动弹簧槽12为环形空槽结构，所述抽动连接杆11与抽板14相互垂直，所述抽板14为圆板结构，所述吸附块13采用橡胶材质制成，具有一定的弹性。当需要使用移动机构来光刻板进行运输的时候，通过将光刻板放置在运输板1上，使运输板1上的滑动连接块2在滑轨3上进行滑动，接对光刻板进行移动，使其来到连接设备上进行加工，在将光刻板放置在运输板1上的时候，光刻板会先于板体15上的吸附块13顶端相接触，而吸附块13具有一定的弹性，从而使其能够对光刻板产生一定的吸附力，在运输板1快移动到加工设备上的时候，板体15底部上的活动连接块16便于与轨体5上的圆杆8相接触，从而使活动连接块16受力向上移动，带动抽动连接杆11上移，使抽板14上推，将吸附光刻板推起，使吸附块13接触对光刻板的吸附方便进行卸下。本技术解决现有技术移动机构在进行使用的时候，为了方便将光刻卸下来，往往是采用直接平放的方式来将光刻板放置在运输板进行运输，该方法易在设备发生震动的时候，使其上的光刻板发生偏移抖动，从而对其放置方位造成影响甚至受设备运行震动的影响而滑落下来，影响设备对光刻板进行运输的问题，本技术通过上述部件的互相组合，通过将光刻板放置在运输板1上，使运输板1上的滑动连接块2在滑轨3上进行滑动，接对光刻板进行移动，使其来到连接设备上进行加工，在将光刻板放置在运输板1上的时候，光刻板会先于板体15上的吸附块13顶端相接触，而吸附块13具有一定的弹性，从而使其能够对光刻板产生一定的吸附力，在运输板1快移动到加工设备上的时候，板体15底部上的活动连接块16便于与轨体5上的圆杆8相接触，从而使活动连接块16受力向上移动，带动抽动连接杆11上移，使抽板14上推，将吸附光刻板推起，使吸附块13接触对光刻板的吸附方便进行卸下，通过改进设备的结构，使设备在进行使用的时候，其上的运输板能够较好的对光刻板进行吸附固定，在要将其卸下的时候，自动解除吸附，提高了设备对光刻板运输的稳定性。以上显示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体光刻板移动机构，其结构包括运输板(1)、滑动连接块(2)、滑轨(3)、连接斜板(4)、滑轨体(5)、支撑底块(6)、侧连接块(7)、圆杆(8),其特征在于：/n所述运输板(1)的底端与滑动连接块(2)的顶端为一体化结构，所述滑轨(3)与滑轨体(5)为一体化结构，所述支撑底块(6)的顶端与滑轨体(5)的底端相焊接，所述侧连接块(7)的右端与滑轨体(5)的左端相焊接，所述圆杆(8)设于滑轨体(5)上，所述连接斜板(4)的左端与滑轨体(5)的右端相焊接，所述运输板(1)包括抽动连接杆(11)、滑动弹簧槽(12)、吸附块(13)、抽板(14)、板体(15)、活动连接块(16)、弹簧(17)，所述抽动连接杆(11)的底端与活动连接块(16)的顶端相焊接，所述滑动弹簧槽(12)与板体(15)的顶端为一体化结构，所述吸附块(13)嵌入安装在滑动弹簧槽(12)上，所述抽板(14)嵌入安装在吸附块(13)上，所述抽板(14)的底端与抽动连接杆(11)的顶端相焊接，所述活动连接块(16)位于板体(15)的正下方，所述弹簧(17)嵌入安装在滑动弹簧槽(12)内，所述板体(15)的底端滑动连接块(2)的顶端为一体化结构。/n...

【技术特征摘要】
1.一种半导体光刻板移动机构，其结构包括运输板(1)、滑动连接块(2)、滑轨(3)、连接斜板(4)、滑轨体(5)、支撑底块(6)、侧连接块(7)、圆杆(8),其特征在于：
所述运输板(1)的底端与滑动连接块(2)的顶端为一体化结构，所述滑轨(3)与滑轨体(5)为一体化结构，所述支撑底块(6)的顶端与滑轨体(5)的底端相焊接，所述侧连接块(7)的右端与滑轨体(5)的左端相焊接，所述圆杆(8)设于滑轨体(5)上，所述连接斜板(4)的左端与滑轨体(5)的右端相焊接，所述运输板(1)包括抽动连接杆(11)、滑动弹簧槽(12)、吸附块(13)、抽板(14)、板体(15)、活动连接块(16)、弹簧(17)，所述抽动连接杆(11)的底端与活动连接块(16)的顶端相焊接，所述滑动弹簧槽(12)与板体(15)的顶端为一体化结构，所述吸附块(13)嵌入安装在滑动弹簧槽(12)上，所述抽板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐莹，
申请(专利权)人：林丽琴，
类型：新型
国别省市：福建;35