一种用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台制造技术

本实用新型专利技术涉及电子显微镜技术领域，具体地说，涉及一种用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台，包括基台，基台的底部设置有底座，基台的顶部表面开设有若干方孔，方孔内设置有样品台，基台的一侧紧密焊接有固定板，基台的外壁靠近每个样品台处安装有锁紧机构，样品台包括平台，平台的底部安装有活动柱，活动柱的底部设置有固定管，固定管的一侧外壁竖直开设有条形孔。该用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台能够一次性搭载多个样品，并且每个样品位置可以单独调整水平高度，当不同样品的尺寸大小相差较大时，通过调节每个样品台的高度能够使得样品的上表面保持一致，调节到一定的高度后，还可通过锁紧机构进行锁紧固定。

【技术实现步骤摘要】
一种用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台
本技术涉及电子显微镜
，具体地说，涉及一种用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台。
技术介绍
现有的聚焦离子束双束电子显微镜的样品台通常仅能放置一个样品，在需要连续加工多个样品时需要反复释放设备真空并重新抽真空的操作，此外，聚焦离子束双束电子显微镜的样品台通常为圆形平台，当不同样品的尺寸大小相差较大时，样品的上表面不能保持一致，不能同时进样，限制了多样品载台的使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供了一种用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台，包括基台，所述基台的底部设置有底座，所述基台的顶部表面开设有若干方孔，所述方孔内设置有样品台，所述基台的一侧紧密焊接有固定板，所述基台的外壁靠近每个样品台处安装有锁紧机构，所述样品台包括平台，所述平台的底部安装有活动柱，所述活动柱的底部设置有固定管，所述固定管的一侧外壁竖直开设有条形孔，所述活动柱的外壁靠近条形孔处竖直紧密粘接有滑条，所述滑条与条形孔滑动连接，所述锁紧机构包括螺纹杆，所述螺纹杆远离条形孔的一端紧密焊接有把手，所述基台的外壁靠近螺纹杆处开设有螺纹孔，所述螺纹杆与基台的外壁螺纹连接，所述螺纹杆的一端能够将活动柱靠近条形孔的一侧外壁压紧。作为优选，所述基台远离固定板的一侧为弧形结构。作为优选，所述平台的尺寸小于方孔的尺寸。作为优选，所述平台的底部靠近活动柱处紧密焊接有螺纹管，所述活动柱的顶端外壁设置有外螺纹，所述螺纹管与活动柱的顶端通过螺纹连接。作为优选，样品台为方形结构。作为优选，所述螺纹杆靠近条形孔的一端紧密粘接有垫片。作为优选，所述基台的底部竖直紧密焊接有插杆，所述底座的顶部表面开设有插孔，所述插杆与插孔插接配合。与现有技术相比，本技术的有益效果：该用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台能够一次性搭载多个样品，节省样品的观测时间，并且每个样品位置可以单独调整水平高度，当不同样品的尺寸大小相差较大时，通过调节每个样品台的高度能够使得样品的上表面保持一致，调节到一定的高度后，还可通过锁紧机构进行锁紧固定。附图说明图1为本技术的整体结构示意图；图2为本技术的部分结构示意图；图3为本技术中样品台的内部结构示意图；图4为本技术中基台的背面结构示意图；图5为本技术中底座的结构示意图。图中各个标号意义为：1、基台；11、方孔；12、固定板；13、插杆；2、底座；21、插孔；3、样品台；31、平台；311、螺纹管；32、固定管；321、条形孔；322、滑槽；33、活动柱；331、滑条；332、滑块；4、锁紧机构；41、螺纹杆；42、把手；43、垫片。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。本技术提供一种用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台，如图1-图5所示，包括基台1，基台1的底部设置有底座2，基台1的顶部表面开设有若干方孔11，方孔11内设置有样品台3，用于放置样品，基台1的一侧紧密焊接有固定板12，基台1的外壁靠近每个样品台3处安装有锁紧机构4，用于将样品台3锁紧固定，样品台3包括平台31，平台31的底部安装有活动柱33，活动柱33的底部设置有固定管32，固定管32的一侧外壁竖直开设有条形孔321，活动柱33的外壁靠近条形孔321处竖直紧密粘接有滑条331，滑条331与条形孔321滑动连接，用于保证活动柱33沿着固定管32的竖直方向稳定移动，锁紧机构4包括螺纹杆41，螺纹杆41远离条形孔321的一端紧密焊接有把手42，基台1的外壁靠近螺纹杆41处开设有螺纹孔，螺纹杆41与基台1的外壁螺纹连接，螺纹杆41的一端能够将活动柱33靠近条形孔321的一侧外壁压紧，用于将活动柱33压紧固定，使得平台31的高度固定。具体的，基台1远离固定板12的一侧为弧形结构，避免对操作人员造成磕碰。此外，平台31的尺寸小于方孔11的尺寸，便于手部提拉平台31使其上升。进一步的，平台31的底部靠近活动柱33处紧密焊接有螺纹管311，活动柱33的顶端外壁设置有外螺纹，螺纹管311与活动柱33的顶端通过螺纹连接，便于平台31的拆卸，方便其进行清洗。进一步的，样品台3为方形结构，使得样品台3在不使用时缩回方孔11内，且不会转动，保证其固定。进一步的，螺纹杆41靠近条形孔321的一端紧密粘接有垫片43，避免螺纹杆41的一端对活动柱33的一侧外壁压紧力度过大时不会造成损伤。进一步的，基台1的底部竖直紧密焊接有插杆13，底座2的顶部表面开设有插孔21，插杆13与插孔21插接配合，便于基台1的底部安装在底座2上固定。本实施例的用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台在使用时，首先将底座2放置稳定，再将基台1放置在底座2上，接着将若干样品依次放置在每个样品台3上，通过手部将样品台3的平台31向上提拉，使得平台31升高，接着转动把手41将锁紧机构4的螺纹杆41一端压紧在活动柱33的外壁，使得活动柱33固定且不会上下移动，根据每个样品的尺寸不同进行高度调节，保证上表面齐平，便于进行样品观测。以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本技术的优选例，并不用来限制本技术，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台，包括基台(1)，其特征在于：所述基台(1)的底部设置有底座(2)，所述基台(1)的顶部表面开设有若干方孔(11)，所述方孔(11)内设置有样品台(3)，所述基台(1)的一侧紧密焊接有固定板(12)，所述基台(1)的外壁靠近每个样品台(3)处安装有锁紧机构(4)，所述样品台(3)包括平台(31)，所述平台(31)的底部安装有活动柱(33)，所述活动柱(33)的底部设置有固定管(32)，所述固定管(32)的一侧外壁竖直开设有条形孔(321)，所述活动柱(33)的外壁靠近条形孔(321)处竖直紧密粘接有滑条(331)，所述滑条(331)与条形孔(321)滑动连接，所述锁紧机构(4)包括螺纹杆(41)，所述螺纹杆(41)远离条形孔(321)的一端紧密焊接有把手(42)，所述基台(1)的外壁靠近螺纹杆(41)处开设有螺纹孔，所述螺纹杆(41)与基台(1)的外壁螺纹连接，所述螺纹杆(41)的一端能够将活动柱(33)靠近条形孔(321)的一侧外壁压紧。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台，包括基台(1)，其特征在于：所述基台(1)的底部设置有底座(2)，所述基台(1)的顶部表面开设有若干方孔(11)，所述方孔(11)内设置有样品台(3)，所述基台(1)的一侧紧密焊接有固定板(12)，所述基台(1)的外壁靠近每个样品台(3)处安装有锁紧机构(4)，所述样品台(3)包括平台(31)，所述平台(31)的底部安装有活动柱(33)，所述活动柱(33)的底部设置有固定管(32)，所述固定管(32)的一侧外壁竖直开设有条形孔(321)，所述活动柱(33)的外壁靠近条形孔(321)处竖直紧密粘接有滑条(331)，所述滑条(331)与条形孔(321)滑动连接，所述锁紧机构(4)包括螺纹杆(41)，所述螺纹杆(41)远离条形孔(321)的一端紧密焊接有把手(42)，所述基台(1)的外壁靠近螺纹杆(41)处开设有螺纹孔，所述螺纹杆(41)与基台(1)的外壁螺纹连接，所述螺纹杆(41)的一端能够将活动柱(33)靠近条形孔(321)的一侧外壁压紧。


2.根据权利要求1所述的用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台，其特征在于：所述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：张大梁，韦旎妮，娄宏刚，
申请(专利权)人：重庆市展未微科技服务有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50