【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机械器件，包括： 可偏转微机械功能结构（１）；以及 将所述微机械功能结构定位在所述微机械器件中的非刚性偏压悬挂件（２）。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：托马斯克洛泽，克里斯蒂安德拉伯，
申请(专利权)人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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