柔性发光器件的制造方法以及制造装置制造方法及图纸

根据本公开的柔性发光器件的制造方法，在对层叠构造体(100)的树脂膜(30)的中间区域(30i)和柔性基板区域(30d)进行了分割后，利用剥离光照射柔性基板区域(30d)与玻璃基座(10)之间的界面。在使层叠构造体(100)接触了台部(210)的状态下，将层叠构造体(100)分离为第一部分(110)和第二部分(120)。第一部分(110)包括与台部(210)接触的多个发光器件(1000)，发光器件(1000)具有多个功能层区域(20)和柔性基板区域(30d)。第二部分(120)包括玻璃基座(10)和中间区域(30i)。利用剥离光照射的工序包括以下工序，即，使剥离光对中间区域(30i)与玻璃基座(10)之间的界面的至少一部分的照射强度低于剥离光对柔性基板区域(30d)与玻璃基座(10)之间的界面的照射强度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】柔性发光器件的制造方法以及制造装置
本公开涉及柔性发光器件的制造方法以及制造装置。
技术介绍
柔性显示器的典型例是具备有由聚酰亚胺等合成树脂制成的薄膜(以下称为“树脂膜”)、被树脂膜支承的TFT(ThinFilmTransistor)以及OLED(OrganicLightEmittingDiode)等元件。树脂膜作为柔性基板起作用。由于构成OLED的有机半导体层容易因水蒸气而劣化，因此柔性显示器被阻气膜(封装膜)封装。上述的柔性显示器的制造是使用在上表面上形成有树脂膜的玻璃基座进行。玻璃基座在制造工序中作为将树脂膜的形状维持为平面状的支承体(载体)起作用。通过在树脂膜上形成TFT元件以及OLED等发光元件以及阻气膜等，从而在被玻璃基座支承的状态下实现柔性显示器的构造。其后，将柔性显示器从玻璃基座剥离，并获得柔软性。可以将排列有TFT元件以及OLED等发光元件的部分作为整体称为“功能层区域”。根据现有技术，在从玻璃基座剥离了包括多个柔性显示器的片状的构造物后，相对于该片状的构造物进行光学部件等的安装。其后，从片状的构造物分割多个柔性器件。该分割例如通过激光束的照射来进行。专利文献1公开为了将各个柔性显示器从玻璃基座(支承基板)剥离而利用激光照射各个柔性显示器与玻璃基座之间的界面的方法。根据专利文献1公开的方法，在剥离光照射后，分割成各个柔性显示器，并将各个柔性显示器从玻璃基座剥离。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-48619号公报专利
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题根据现有的制造方法，在包括多个柔性显示器的片状的构造物安装了例如封装薄膜、偏振板以及/或者散热片等高价的部件后，进行基于激光束的照射的分割，因此通过激光束的照射而分割的不需要部分即最终没有构成显示器的部分完全是浪费的。另外，也存在以下课题，即，在从玻璃基座剥离后，不易处理不具有刚性的多个柔性显示器。这样的问题不限于具有OLED作为发光元件的柔性显示器，并且也可能在具有由无机半导体材料制成的微型LED(μLED)作为发光元件的柔性发光器件的制造过程中发生。本公开提供能够解决上述课题的柔性发光器件的制造方法以及制造装置。解决问题的方案本公开的柔性发光器件的制造方法在例示的实施方式中，包括以下工序：准备层叠构造体的工序，其中，上述层叠构造体是具有第一表面和第二表面的层叠构造体，且具备玻璃基座、多个功能层区域、合成树脂膜以及保护片，上述玻璃基座对上述第一表面进行规定，上述多个功能层区域分别包括TFT层以及发光元件层，上述合成树脂膜为位于上述玻璃基座与上述多个功能层区域之间并固定于上述玻璃基座的合成树脂膜，且包括分别支承上述多个功能层区域的多个柔性基板区域和包围上述多个柔性基板区域的中间区域，上述保护片覆盖上述多个功能层区域，并对上述第二表面进行规定；对上述合成树脂膜的上述中间区域和上述多个柔性基板区域的每一个进行分割的工序；利用剥离光照射上述合成树脂膜与上述玻璃基座之间的界面的工序；以及在使上述层叠构造体的上述第二表面接触于台部的状态下，通过扩大从上述台部至上述玻璃基座的距离，从而将上述层叠构造体分离为第一部分和第二部分的工序。上述层叠构造体的上述第一部分包含与上述台部接触的多个发光器件，上述多个发光器件分别具有上述多个功能层区域并且具有上述合成树脂膜的上述多个柔性基板区域。上述层叠构造体的上述第二部分包含上述玻璃基座和上述合成树脂膜的上述中间区域。利用上述剥离光照射上述合成树脂膜与上述玻璃基座之间的界面的工序包括：使上述剥离光对上述合成树脂膜的上述中间区域与上述玻璃基座之间的界面的至少一部分的照射强度低于与上述剥离光对上述合成树脂膜的上述多个柔性基板区域与上述玻璃基座之间的上述界面的照射强度。在某个实施方式中，上述剥离光是非相干光。在某个实施方式中，上述发光元件层包含排列而成的多个微型LED，上述剥离光是激光。在某个实施方式中，上述剥离光是沿与上述玻璃基座的外缘平行的第一方向延伸的线束，利用上述剥离光照射上述合成树脂膜与上述玻璃基座之间的界面的工序是，通过使由上述剥离光照射的上述界面上的照射区域在与上述第一方向相交的第二方向上移动来执行。在某个实施方式中，上述合成树脂膜的上述中间区域与上述玻璃基座之间的界面的上述至少一部分包括沿着上述玻璃基座的上述外缘延伸的两个平行的条纹区域。在某个实施方式中，上述合成树脂膜的上述中间区域与上述玻璃基座之间的界面的上述至少一部分包括至少一个与上述条纹区域平行的中间条纹区域。在某个实施方式中，上述合成树脂膜的上述中间区域与上述玻璃基座之间的界面的上述至少一部分具有上述中间区域的宽度的50％以上的宽度。在某个实施方式中，上述合成树脂膜的上述中间区域与上述玻璃基座之间的界面的上述至少一部分具有1mm以上的宽度。在某个实施方式中，上述合成树脂膜的上述中间区域与上述玻璃基座之间的界面的上述至少一部分中的上述剥离光的照射强度、与上述剥离光对上述合成树脂膜的上述多个柔性基板区域与上述玻璃基座之间的上述界面的照射强度之间的差异为50mJ/cm2以上。在某个实施方式中，在进行了将上述层叠构造体分离为上述第一部分和上述第二部分的工序后，还包括对与上述台部接触的上述多个发光器件的每一个同时或依次地执行处理的工序。在某个实施方式中，上述处理包括分别对上述多个发光器件同时或依次地执行以下的任一个处理：粘贴电介质以及/或者导电体的薄膜、进行清洁或者蚀刻、安装光学部件以及/或者电子部件。本公开的柔性发光器件的制造装置在例示的实施方式中，包括：台部，其支承层叠构造体，其中，上述层叠构造体是具有第一表面和第二表面的层叠构造体，且具备玻璃基座、多个功能层区域、合成树脂膜以及保护片，上述玻璃基座对上述第一表面进行规定，上述多个功能层区域分别包括TFT层以及发光元件层，上述合成树脂膜为位于上述玻璃基座与上述多个功能层区域之间并固定于上述玻璃基座的合成树脂膜，且包括分别支承上述多个功能层区域的多个柔性基板区域和包围上述多个柔性基板区域的中间区域，上述保护片覆盖上述多个功能层区域，并对上述第二表面进行规定；以及剥离光照射装置，其利用剥离光照射被支承于上述台部的上述层叠构造体中的上述合成树脂膜与上述玻璃基座之间的界面。在上述剥离光照射装置中，上述剥离光对上述合成树脂膜的上述中间区域与上述玻璃基座之间的界面的至少一部分的照射强度低于与上述剥离光对上述合成树脂膜的上述多个柔性基板区域与上述玻璃基座之间的上述界面的照射强度。在某个实施方式中，上述剥离光照射装置具备非相干光源。在某个实施方式中，上述发光元件层包含排列而成的多个微型LED，上述剥离光照射装置具备激光光源。在某个实施方式中，还具备驱动装置，在上述台部与上述层叠构造体的上述第二表面接触的状态下，上述驱动装置通过扩大从上述台部至上述玻璃基座的距离，从而将上述层叠构造体分离为第一部分和第二部分，上述层叠构造体的上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性发光器件的制造方法，其特征在于，包括以下工序：/n准备层叠构造体的工序，其中，所述层叠构造体是具有第一表面和第二表面的层叠构造体，且具备玻璃基座、多个功能层区域、合成树脂膜以及保护片，所述玻璃基座对所述第一表面进行规定，所述多个功能层区域分别包括TFT层以及发光元件层，所述合成树脂膜为位于所述玻璃基座与所述多个功能层区域之间并固定于所述玻璃基座的合成树脂膜，且包括分别支承所述多个功能层区域的多个柔性基板区域和包围所述多个柔性基板区域的中间区域，所述保护片覆盖所述多个功能层区域，并对所述第二表面进行规定；/n对所述合成树脂膜的所述中间区域和所述多个柔性基板区域的每一个进行分割的工序；/n利用剥离光照射所述合成树脂膜与所述玻璃基座之间的界面的工序；以及/n在使所述层叠构造体的所述第二表面接触于台部的状态下，通过扩大从所述台部至所述玻璃基座的距离，从而将所述层叠构造体分离为第一部分和第二部分的工序，/n所述层叠构造体的所述第一部分包括与所述台部接触的多个发光器件，所述多个发光器件分别具有所述多个功能层区域，并分别具有所述合成树脂膜的所述多个柔性基板区域，/n所述层叠构造体的所述第二部分包括所述玻璃基座和所述合成树脂膜的所述中间区域，/n利用所述剥离光照射所述合成树脂膜与所述玻璃基座之间的界面的工序包括以下工序：使所述剥离光对所述合成树脂膜的所述中间区域与所述玻璃基座之间的界面的至少一部分的照射强度低于所述剥离光对所述合成树脂膜的所述多个柔性基板区域与所述玻璃基座之间的所述界面的照射强度的工序。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种柔性发光器件的制造方法，其特征在于，包括以下工序：
准备层叠构造体的工序，其中，所述层叠构造体是具有第一表面和第二表面的层叠构造体，且具备玻璃基座、多个功能层区域、合成树脂膜以及保护片，所述玻璃基座对所述第一表面进行规定，所述多个功能层区域分别包括TFT层以及发光元件层，所述合成树脂膜为位于所述玻璃基座与所述多个功能层区域之间并固定于所述玻璃基座的合成树脂膜，且包括分别支承所述多个功能层区域的多个柔性基板区域和包围所述多个柔性基板区域的中间区域，所述保护片覆盖所述多个功能层区域，并对所述第二表面进行规定；
对所述合成树脂膜的所述中间区域和所述多个柔性基板区域的每一个进行分割的工序；
利用剥离光照射所述合成树脂膜与所述玻璃基座之间的界面的工序；以及
在使所述层叠构造体的所述第二表面接触于台部的状态下，通过扩大从所述台部至所述玻璃基座的距离，从而将所述层叠构造体分离为第一部分和第二部分的工序，
所述层叠构造体的所述第一部分包括与所述台部接触的多个发光器件，所述多个发光器件分别具有所述多个功能层区域，并分别具有所述合成树脂膜的所述多个柔性基板区域，
所述层叠构造体的所述第二部分包括所述玻璃基座和所述合成树脂膜的所述中间区域，
利用所述剥离光照射所述合成树脂膜与所述玻璃基座之间的界面的工序包括以下工序：使所述剥离光对所述合成树脂膜的所述中间区域与所述玻璃基座之间的界面的至少一部分的照射强度低于所述剥离光对所述合成树脂膜的所述多个柔性基板区域与所述玻璃基座之间的所述界面的照射强度的工序。


2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述剥离光为非相干光。


3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述发光元件层包含排列而成的多个微型LED，所述剥离光是激光。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的制造方法，其特征在于，
所述剥离光是沿与所述玻璃基座的外缘平行的第一方向延伸的线束，
利用所述剥离光照射所述合成树脂膜与所述玻璃基座之间的界面的工序是，通过使由所述剥离光照射的所述界面上的照射区域在与所述第一方向相交的第二方向上移动来执行。


5.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于
所述合成树脂膜的所述中间区域与所述玻璃基座之间的界面的所述至少一部分包括沿着所述玻璃基座的所述外缘延伸的两个平行的条纹区域。


6.根据权利要求4或5所述的制造方法，其特征在于
所述合成树脂膜的所述中间区域与所述玻璃基座之间的界面的所述至少一部分包括至少一个与所述条纹区域平行的中间条纹区域。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的制造方法，其特征在于，所述合成树脂膜的所述中间区域与所述玻璃基座之间的界面的所述至少一部分具有所述中间区域的宽度的50％以上的宽度。


8.根据权利要求1至7中任一项所述的制造方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：岸本克彦，田中康一，
申请(专利权)人：堺显示器制品株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP