加热装置、蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及加热装置、蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。加热装置对容器进行加热，容器具有：放出蒸镀材料的开口部、第一区域及相比第一区域从开口部离开的第二区域，加热装置具有：对第一区域进行加热的第一加热器、对第二区域进行加热的第二加热器及独立地控制各加热器的控制部，第二加热器包括第一部分和第二部分，第二部分与第一加热器的距离比第一部分与第一加热器的距离小，控制部在控制第二加热器时一体地控制第一部分和第二部分，加热装置还具有配置在第二部分与容器之间的内侧热反射部件，通过遮挡从第二部分向容器放出的热，从而使入射到容器中的与第一部分相向的区域的热量比入射到与第二部分相向的区域的热量大。

【技术实现步骤摘要】
加热装置、蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法
本专利技术涉及加热装置、蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。
技术介绍
近年来，作为显示器的一种，具备使用了有机材料的电场发光的有机EL元件的有机EL装置备受关注。在该有机EL显示器等有机电子器件制造中，具有如下工序：使用蒸发源装置在基板上蒸镀有机材料、金属电极材料等蒸镀材料来进行成膜。在蒸镀工序中使用的蒸发源装置具有：作为收容蒸镀材料的容器的功能；以及用于使蒸镀材料的温度上升而使其蒸发，并使其附着在基板的表面的加热功能。以往，为了提高加热功能而进行良好的成膜，提出有可以均匀地加热蒸镀材料的蒸发源装置。在专利文献1(日本特开2019-031705号公报)中，公开了在将蒸镀材料的容器(坩埚)在高度方向上分成两个不同的区域(上部区域和下部区域)时分别独立地进行上部区域和下部区域的加热控制的所谓双加热器型的蒸发源装置的加热装置。在专利文献1中，根据容器内的蒸镀材料的量、蒸镀的进行程度，对与上部区域对应的上部加热器和与下部区域对应的下部加热器的加热进行控制，从而防止突沸的产生、材料向容器开口部的附着。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2019-031705号公报专利技术要解决的课题但是，在蒸发源装置的加热控制中，要求进一步抑制突沸、材料向容器开口部的附着、由过度加热导致的蒸镀材料的劣化等问题，进行高品质的成膜。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该课题而作出的，其目的在于提供一种用于良好地加热蒸镀材料而进行适当的成膜的技术。用于解决课题的方案为了实现上述目的，本专利技术采用以下结构。即，一种加热装置，对收容蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，所述加热装置具有：第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；以及控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器，所述第二加热器包括第一部分和第二部分，所述第二部分与所述第一加热器的距离比所述第一部分与所述第一加热器的距离小，所述控制部在控制所述第二加热器时，一体地控制所述第一部分和所述第二部分，所述加热装置还具有内侧热反射部件，所述内侧热反射部件配置在所述第二部分与所述容器之间，通过遮挡从所述第二部分向所述容器放出的热，从而使入射到所述容器中的与所述第一部分相向的区域的热量比入射到所述容器中的与所述第二部分相向的区域的热量大。本专利技术还采用以下结构。即，一种加热装置，对收容蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，所述加热装置具有：第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；以及控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器，所述第二加热器包括第一部分和第二部分，所述第二部分与所述第一加热器的距离比所述第一部分与所述第一加热器的距离小，所述控制部在控制所述第二加热器时，一体地控制所述第一部分和所述第二部分，所述加热装置还具有外侧热反射部件，所述外侧热反射部件隔着所述第一部分配置在与所述容器相反的一侧，通过反射从所述第一部分向所述加热装置的外侧放出的热，从而使入射到所述容器中的与所述第一部分相向的区域的热量比入射到所述容器中的与所述第二部分相向的区域的热量大。本专利技术还采用以下结构。即，一种成膜方法，在作为被蒸镀体的基板上利用蒸镀材料进行成膜，其特征在于，具有使用加热装置对收容于容器的蒸镀材料进行加热而使其蒸发的步骤，所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，所述加热装置具有：第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；以及控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器，所述第二加热器包括第一部分和第二部分，所述第二部分与所述第一加热器的距离比所述第一部分与所述第一加热器的距离小，所述控制部在控制所述第二加热器时，一体地控制所述第一部分和所述第二部分，所述加热装置还具有内侧热反射部件，所述内侧热反射部件配置在所述第二部分与所述容器之间，通过遮挡从所述第二部分向所述容器放出的热，从而使入射到所述容器中的与所述第一部分相向的区域的热量比入射到所述容器中的与所述第二部分相向的区域的热量大。本专利技术还采用以下结构。即，一种成膜方法，在作为被蒸镀体的基板上利用蒸镀材料进行成膜，其特征在于，具有使用加热装置对收容于容器的蒸镀材料进行加热而使其蒸发的步骤，所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，所述加热装置具有：第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；以及控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器，所述第二加热器包括第一部分和第二部分，所述第二部分与所述第一加热器的距离比所述第一部分与所述第一加热器的距离小，所述控制部在控制所述第二加热器时，一体地控制所述第一部分和所述第二部分，所述加热装置还具有外侧热反射部件，所述外侧热反射部件隔着所述第一部分配置在与所述容器相反的一侧，通过反射从所述第一部分向所述加热装置的外侧放出的热，从而使入射到所述容器中的与所述第一部分相向的区域的热量比入射到所述容器中的与所述第二部分相向的区域的热量大。专利技术效果根据本专利技术，可以提供用于良好地加热蒸镀材料而进行适当的成膜的技术。附图说明图1是表示成膜装置的结构的示意剖视图。图2(a)～(d)是用于对加热器的配置和容器的加热进行研究的图。图3(a)、(b)是用于说明蒸发源装置的容器以及加热器的结构的图。图4(a)、(b)是表示本专利技术的各实施方式所共通的结构的图。图5(a)～(c)是用于对实施方式1的结构进行说明的图。图6(a)～(c)是用于对实施方式2的结构进行说明的图。图7是用于对实施方式3的结构进行说明的图。图8(a)、(b)是用于说明有机电子器件的制造方法的图。附图标记说明242：蒸镀材料、244：容器、245：加热装置、246：加热器、246a：上部加热器、246b：下部加热器、246b1：第一部分、246b2：第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热装置，对收容蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，/n所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，/n所述加热装置具有：/n第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；/n第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；以及/n控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器，/n所述第二加热器包括第一部分和第二部分，所述第二部分与所述第一加热器的距离比所述第一部分与所述第一加热器的距离小，/n所述控制部在控制所述第二加热器时，一体地控制所述第一部分和所述第二部分，/n所述加热装置还具有配置在所述第二部分与所述容器之间的内侧热反射部件，所述内侧热反射部件通过遮挡从所述第二部分向所述容器放出的热，从而使入射到所述容器中的与所述第一部分相向的区域的热量比入射到所述容器中的与所述第二部分相向的区域的热量大。/n

【技术特征摘要】
20190528 JP 2019-0995671.一种加热装置，对收容蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，
所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，
所述加热装置具有：
第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；
第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；以及
控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器，
所述第二加热器包括第一部分和第二部分，所述第二部分与所述第一加热器的距离比所述第一部分与所述第一加热器的距离小，
所述控制部在控制所述第二加热器时，一体地控制所述第一部分和所述第二部分，
所述加热装置还具有配置在所述第二部分与所述容器之间的内侧热反射部件，所述内侧热反射部件通过遮挡从所述第二部分向所述容器放出的热，从而使入射到所述容器中的与所述第一部分相向的区域的热量比入射到所述容器中的与所述第二部分相向的区域的热量大。


2.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，
所述加热装置还具有配置在所述第一部分以及第二部分与所述容器之间的第二内侧热反射部件。


3.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，
所述加热装置还具有隔着所述第一部分以及第二部分配置在与所述容器相反的一侧的第二外侧热反射部件。


4.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，
所述第一加热器包括第三部分和第四部分，所述第三部分配置在比所述第四部分靠近所述开口部的一侧，
入射到所述容器中的与所述第三部分相向的区域的热量比入射到所述容器中的与所述第四部分相向的区域的热量大。


5.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，
所述控制部进行如下控制：随着收容于所述容器的蒸镀材料的由蒸发引起的减少，从所述第二加热器产生的热量增大。


6.如权利要求5所述的加热装置，其特征在于，
所述控制部进行控制，以使从所述第一加热器产生的热量恒定。


7.如权利要求1～6中任一项所述的加热装置，其特征在于，
所述控制部对所述第一加热器以及所述第二加热器进行控制，以便不存在温度从所述容器的底部朝向开口部降低的部分。


8.一种蒸发源装置，具有加热装置和收容蒸镀材料的容器，其特征在于，
所述加热装置是权利要求1～7中任一项所述的加热装置。


9.一种成膜装置，具有：收容作为被蒸镀体的基板的腔室、以及经由掩模向所述基板放出蒸镀材料而进行成膜的蒸发源装置，其特征在于，
所述蒸发源装置是权利要求8所述的蒸发源装置。


10.一种加热装置，对收容蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，
所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，
所述加热装置具有：
第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；
第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；以及
控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器，
所述第二加热器包括第一部分和第二部分，所述第二部分与所述第一加热器的距离比所述第一部分与所述第一加热器的距离小，
所述控制部在控制所述第二加热器时，一体地控制所述第一部分和所述第二部分，
所述加热装置还具有外侧热反射部件，所述外侧热反射部件隔着所述第一部分配置在与所述容器相反的一侧，通过反射从所述第一部分向所述加热装置的外侧放出的热，从而使入射到所述容器中的与所述第一部分相向的区域的热量比入射到所述容器中的与所述第二部分相向的区域的热量大。


11.如权利要求10所述的加热装置，其特征在于，
所述加热装置还具有配置在所述第一部分以及第二部分与所述容器之间的第二内侧热反射部件。


12.如权利要求10所述的加热装置，其特征在于，
所述加热装置还具有隔着所述第一部分以及第二部分配置在与所述容器相反的一侧的第二外侧热反射部件。


13.如权利要求10所述的加热装置，其特征在于，
所述第一加热器包括第三部分和第四部分，所述第三部分配置在比所述第四部分靠近所述开口部的一侧，
入射到所述容器中的与所述第三部分相向的区域的热量比入射到所述容器中的与所述第四部分相向的区域的热量大。


14.如权利要求10所述的加热装置，其特征在于，
所述控制部进行如下控制：随着收容于所述容器的蒸镀材料的由蒸发引起的减少，从所述第二加热器产生的热量增大。


15.如权利要求14所述的加热装置，其特征在于，
所述控制部进行控制，以使从所述第一加热器产生的热量恒定。


16.如权利要求10～15中任一项所述的加热装置，其特征在于，
所述控制部对所述第一加热器以及所述第二加热器进行控制，以便不存在温度从所述容器的底部朝向开口部降低的部分。


17.一种蒸发源装置，具有加热装置和收容蒸镀材料的容器，其特征在于，
所述加热装置是权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：菅原由季，风间良秋，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP