基板搬送机器人及其控制方法技术

一种基板搬送机器人，具备：具备第一手部的机器人主体，所述第一手部包含载置基板的第一基板载置部和将载置于第一基板载置部的基板保持及解放的第一基板保持机构；以及机器人控制器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板搬送机器人及其控制方法
本专利技术涉及一种基板搬送机器人及其控制方法。
技术介绍
以往使用有搬送基板的机器人。作为如上述的机器人的一例，已知有记载于专利文献1的基板搬送装置。在此基板搬送装置中，在索引（indexer）机器人与中央机器人的基板授受动作中，空手的状态的索引侧上方手部与载置未处理基板的索引侧下方手部以索引侧上方手部先移动的形式开始前进，先到达交接位置的索引侧上方手部接受处理完毕的基板，之后索引侧下方手部到达交接位置。接着，索引侧上方手部开始后退之后，索引侧下方手部交付未处理基板，之后，索引侧下方手部开始后退。索引侧下方手部以追上索引侧上方手部的形式高速后退，两者返回初期位置。藉此，与索引侧上方手部及索引侧下方手部交互授受处理完毕的基板与未处理基板的情况相比，可缩短基板搬送时间。并且，由于在使索引侧上方手部先移动而到达基板交接位置时索引侧上方手部是空手的状态，故即使以较快的进出速度到达基板交接位置，也不会发生基板落下等状况。现有技术文献：专利文献：专利文献1：日本特开2006-086294号公报（参照摘要）。
技术实现思路
专利技术要解决的问题：不过，专利文献1并没有提及基板搬送装置（机器人）是否具备在手部保持基板的机构。基板搬送机器人具备在手部保持基板的机构（以下称为基板保持机构）时，即使手部存在有基板，仍能以与手部没存在有基板时同样的速度使手部进退。然而，为了通过基板保持机构来保持基板，需要用来保持基板的时间。为了避免基板搬送时间增加上述时间的量，若仅在手部的进退中通过基板保持机构来保持基板，则因手部的速度或加速度而存在基板保持机构未能保持基板的可能性。本专利技术为了解决如上述课题而完成，目的在于提供在手部具备基板保持机构，且能抑制基板搬送时间变长及降低使手部进退时基板保持机构未能保持基板的可能性的基板搬送机器人及其控制方法。解决问题的技术手段：为了解决上述课题，本专利技术的某一形态（aspect）的基板搬送机器人是：一种基板搬送机器人，具备：具备第一手部的机器人主体，所述第一手部包含载置基板的第一基板载置部和将载置于所述第一基板载置部的基板保持及解放的第一基板保持机构，且能在所述基板的搬送方向上的位置亦即后退位置与前进位置之间进行前进及后退动作；以及控制所述第一手部及所述第一基板保持机构的动作的机器人控制器；所述机器人控制器，以如下形式使所述第一基板保持机构及所述第一手部动作：所述第一基板保持机构将基板解放，且所述第一手部在尚未将所述基板载置于所述第一基板载置部的状态下从所述后退位置往所述前进位置前进，在该前进位置将载置于基板载置体的基板载置于所述第一基板载置部，之后往所述后退位置后退；在所述第一手部后退的期间，使所述第一基板保持机构保持载置于所述第一基板载置部的基板，且以如下形式控制所述第一手部的速度：从所述第一手部开始后退至由所述第一基板保持机构保持所述基板的时点为止的第一期间内的第一最大速度的绝对值或第一最大加速度的绝对值，与从所述基板被保持的时点至所述第一手部结束后退为止的第二期间内的第二最大速度的绝对值或第二加速度的绝对值相比低速或低加速度。在此，“基板”中包含晶圆、液晶显示器的玻璃基板等。通过上述构成，由于在所述第一手部后退的期间内，使所述第一基板保持机构保持载置于所述第一基板载置部的基板，因此与在第一手部在前进位置停止的状态下第一基板保持机构保持载置于第一基板载置部的基板的情况相比，可使第一手部的后退时间较短，进而可抑制基板搬送时间变长。此外，机器人控制器在第一手部后退的期间内，使第一基板保持机构保持载置于第一基板载置部的基板，且以如下形式控制所述第一手部的速度：从第一手部开始后退至由第一基板保持机构保持基板的时点为止的第一期间内的第一最大速度的绝对值或第一最大加速度的绝对值，与从所述基板被保持的时点至所述第一手部结束后退为止的第二期间内的第二最大速度的绝对值或第二加速度的绝对值相比低速或低加速度，因此通过在第一期间使第一最大速度的绝对值或第一加速度的绝对值为充分低速或低加速度，以此可降低第一基板保持机构未能保持载置于所述第一基板载置部的基板的可能性。此“可降低第一基板保持机构未能保持载置于第一基板载置部的基板的可能性的第一最大速度的绝对值或第一加速度的绝对值”根据实验、模拟、计算等而设定。也可以是，所述第一期间是所述第一手部从所述前进位置后退规定距离的时间。通过上述构成，到第一基板保持机构保持载置于第一基板载置部的基板为止，第一手部会后退规定距离，因此与到第一基板保持机构保持载置于第一基板载置部的基板为止第一手部在前进位置停止的情况相比，可使第一手部的后退时间较短。也可以是，所述机器人主体进一步具备第二手部，且构成为所述第一手部与所述第二手部能一起上升及下降，所述第二手部包含载置基板的第二基板载置部和将载置于所述第二基板载置部的基板保持及解放的第二基板保持机构，且能在所述第一手部的下方或上方，在所述后退位置与所述前进位置之间进行前进及后退动作；所述机器人控制器进一步控制所述第二手部及所述第二基板保持机构的动作；所述机器人控制器在所述第一手部前进至位于所述前进位置为止，使所述第二手部以所述第二基板保持机构保持载置于所述第二基板载置部的基板的状态在所述后退位置待机，在所述第一手部位于所述前进位置后，使所述第一手部及所述第二手部仅上升规定上升高度，将载置于所述基板载置体的基板载置于所述第一手部的所述第一基板载置部，之后使所述第二手部前进而位于所述前进位置并使所述第二基板保持机构放开所述基板，且仅所述第一期间使所述第一手部从所述前进位置后退，并在所述第一期间内使所述第一基板保持机构保持载置于所述第一基板载置部的基板，之后使所述第一手部及所述第二手部仅下降所述规定下降高度，将载置于所述第二手部的所述第二基板载置部的所述基板载置于所述基板载置体，之后使所述第一手部及所述第二手部往所述后退位置后退。通过上述构成，仅使基板搬送机器人动作一次，即可通过第一手部将原本载置于基板载置体的基板取出并通过第二手部将新的基板载置于基板载置体。并且，在将载置于第二手部的第二基板载置部的基板载置于基板载置体后，使第一手部及第二手部往后退位置后退，因此只要在第二手部后退至后退位置之前使第一手部后退至后退位置即可。因此，在第一手部后退的期间内，即使第一期间内的第一最大速度的绝对值或第一加速度的绝对值比第二期间内的第二最大速度的绝对值或第二最大加速度的绝对值低速或低加速度，基板搬送时间也不会与第一手部以高于其的速度或加速度后退的情况有变化。此外，本专利技术的另一形态（aspect）的基板搬送机器人的控制方法是基板搬送机器人的控制方法，该基板搬送机器人具备：具备第一手部的机器人主体，所述第一手部包含载置基板的第一基板载置部和将载置于所述第一基板载置部的基板保持及解放的第一基板保持机构，能在所述基板的搬送方向上的位置亦即后退位置与前进位置之间进行前进及后退动作；以及控制所述第一手部及所述第一基板保持机构的动作的机器人控制器；所述机器人控本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板搬送机器人，具备：/n具备第一手部和第二手部的机器人主体，所述第一手部包含载置基板的第一基板载置部，能进行前进及后退动作，所述第二手部包含载置基板的第二基板载置部，能进行前进及后退动作；以及/n控制所述第一手部及第二手部的动作的机器人控制器；/n所述机器人控制器如下进行基板替换动作：/n以所述第一手部在尚未将所述基板载置于所述第一基板载置部的状态下前进，将载置于基板载置体的所述基板载置于所述第一基板载置部之后后退的形式使所述第一手部动作，/n以所述第二手部在所述基板载置于所述第二基板载置部的状态下前进，将载置于所述第二手部的所述第二基板载置部的所述基板载置于所述基板载置体，之后后退的形式使所述第二手部动作；/n在所述基板替换动作的至少一部分的期间内，所述第一手部的动作方向与所述第二手部的动作方向一致。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180706 JP 2018-1292231.一种基板搬送机器人，具备：
具备第一手部和第二手部的机器人主体，所述第一手部包含载置基板的第一基板载置部，能进行前进及后退动作，所述第二手部包含载置基板的第二基板载置部，能进行前进及后退动作；以及
控制所述第一手部及第二手部的动作的机器人控制器；
所述机器人控制器如下进行基板替换动作：
以所述第一手部在尚未将所述基板载置于所述第一基板载置部的状态下前进，将载置于基板载置体的所述基板载置于所述第一基板载置部之后后退的形式使所述第一手部动作，
以所述第二手部在所述基板载置于所述第二基板载置部的状态下前进，将载置于所述第二手部的所述第二基板载置部的所述基板载置于所述基板载置体，之后后退的形式使所述第二手部动作；
在所述基板替换动作的至少一部分的期间内，所述第一手部的动作方向与所述第二手部的动作方向一致。


2.一种基板搬送机器人，具备：
具备第一手部和第二手部的机器人主体，所述第一手部包含载置基板的第一基板载置部，能进行前进及后退动作，所述第二手部包含载置基板的第二基板载置部，能进行前进及后退动作；以及
控制所述第一手部及第二手部的动作的机器人控制器；
所述机器人控制器如下进行基板替换动作：
以所述第一手部在尚未将所述基板载置于所述第一基板载置部的状态下前进，将载置于基板载置体的所述基板载置于所述第一基板载置部，之后后退的形式使所述第一手部动作，
以所述第二手部在所述基板载置于所述第二基板载置部的状态下前进，将载置于所述第二手部的所述第二基板载置部的所述基板载置于所述基板载置体，之后后退的形式使所述第二手部动作；
所述第一手部的前进动作与所述第二手部的前进动作的至少一部分同时进行，或所述第一手部的后退动作与所述第二手部的后退动作的至少一部分同时进行。


3.一种基板搬送机器人，具备：
具备第一手部的机器人主体，所述第一手部包含载置基板的第一基板载置部和将载置于所述第一基板载置部的基板保持及解放的第一基板保持机构，且能在所述基板的搬送方向上的位置亦即后退位置与前进位置之间进行前进及后退动作；以及
控制所述第一手部及所述第一基板保持机构的动作的机器人控制器；
所述机器人控制器，以如下形式使所述第一基板保持机构及所述第一手部动作：所述第一基板保持机构将基板解放，且所述第一手部在尚未将所述基板载置于所述第一基板载置部的状态下从所述后退位置往所述前进位置前进，在该前进位置将载置于基板载置体的基板载置于所述第一基板载置部，之后往所述后退位置后退；
在所述第一手部后退的期间，使所述第一基板保持机构保持载置于所述第一基板载置部的基板，且
以如下形式控制所述第一手部的速度：从所述第一手部开始后退至由所述第一基板保持机构保持所述基板的时点为止的第一期间内的第一最大速度的绝对值或第一最大加速度的绝...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田雅也，菅原润一，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP