一种电子级TFT显影液的制备工艺制造技术

本发明专利技术属于薄膜晶体管加工技术领域，提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺。该电子级TFT显影液的制备工艺，包括：(1)将第一超纯水溶解于溶解槽；(2)接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后送至混配槽；(3)接着依次向混配槽中加入表面活性剂和第二超纯水，搅拌；(4)过滤即得显影液。由该制备工艺制备得到的显影液具有优异的综合性能，膜渣残留少、显像图形清晰度高、分散稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
一种电子级TFT显影液的制备工艺
本专利技术属于薄膜晶体管加工
，具体地说，涉及一种电子级TFT显影液的制备工艺。
技术介绍
在薄膜晶体管加工过程中，为了获得更加精细的图形，一般会用到光刻胶在基材上形成薄膜，薄膜经曝光后，再以碱性显影液显像以便于除去不需要的薄膜部分，从而获得所需图形。现有技术中的显影液多存在着显像不清晰，分散不稳定等缺点。
技术实现思路
针对现有技术中上述的不足，本专利技术的目的在于提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺，由该制备工艺制备得到的显影液具有优异的综合性能，膜渣残留少、显像图形清晰度高、分散稳定性好。为了达到上述目的，本专利技术采用的解决方案是：一种电子级TFT显影液的制备工艺，包括：(1)将第一超纯水溶解于溶解槽；(2)接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后送至混配槽；(3)接着依次向混配槽中加入表面活性剂和第二超纯水，搅拌；(4)过滤即得显影液。本专利技术提供的一种电子级TFT显影液的制备工艺的有益效果是：本专利技术提供的该种电子级TFT显影液的制备工艺，通过上述各工艺步骤之间协同配合，将超纯水分为两部分，并向第一超纯水中先加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体进行第一次搅拌后，再加入第二超纯水和表面活性剂进行第二次搅拌，通过分多次加入原料，能够充分增加各原料之间的表面积，以使各原料能够充分混合。由该制备工艺制备得到的显影液具有优异的综合性能，膜渣残留少、显像图形清晰度高、分散稳定性好。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。下面对本专利技术实施例提供的一种电子级TFT显影液的制备工艺进行具体说明。本专利技术提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺，包括：(1)将第一超纯水溶解于溶解槽，并将第一超纯水升温至42-44℃。(2)接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后通过输送泵输送至混配槽，继续升温至48-50℃；在本步骤中，搅拌的时间为2h，转速为70-85转/min。(3)接着依次向混配槽中加入表面活性剂和第二超纯水，搅拌；其中，表面活性剂由输送泵输送至中间槽存放，并由管道在重力作用下输送至混配槽中；在本步骤中，搅拌的时间为2h，转速为85-90转/min。需要说明的是，在本实施例中，表面活性剂为非离子型表面活性剂。具体地，非离子型表面活性剂包括烷基酚聚氧乙烯醚和高碳脂肪醇聚氧乙烯醚中的至少一种。非离子型表面活性剂具有优异的乳化、渗透和乳化分散等特点。(4)过滤即得显影液。本实施例采用梯度升温、梯度搅拌加速并结合分次加入原料的方式，能够使得原料得到充分的溶解和分散。在本实施例中，按重量份数计，碳酸钠晶体为5-7份，碳酸氢钠晶体为2-4份，表面活性剂为28-32份，第一超纯水和所述第二超纯水的总和为160-162份。进一步地，按重量份数计，碳酸钠晶体为6份，碳酸氢钠晶体为3份，表面活性剂为30份，第一超纯水和第二超纯水的总和为161份。根据本实施例提供的各原料之间的配比，各原料能够更好地协同配合，促使该显影液溶出抗蚀剂的效果更加显著。需要说明的是，在本实施例中，第一超纯水与第二超纯水的质量比为2:1，以使各原料在各阶段分散度更好。混配槽内产品再依据客户不同需求，经高精密过滤后充填成各种不同包材。以下结合实施例对本专利技术的特征和性能作进一步的详细描述。实施例1本实施例提供了一种电子级TFT显影液的原料，按重量分数计包括：碳酸钠晶体为5份，碳酸氢钠晶体为4份，表面活性剂为28份，第一超纯水和第二超纯水的总和为160份(第一超纯水与第二超纯水的质量比为2:1)。本实施例提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺，包括：(1)将第一超纯水溶解于溶解槽，并将第一超纯水升温至43℃；(2)接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后输送至混配槽，继续升温至49℃；在本步骤中，搅拌的时间为2h，转速为80转/min；(3)接着依次向混配槽中加入烷基酚聚氧乙烯醚和第二超纯水，搅拌；在本步骤中，搅拌的时间为2h，转速为88转/min；(4)过滤即得显影液。实施例2本实施例提供了一种电子级TFT显影液的原料，按重量分数计包括：碳酸钠晶体为7份，碳酸氢钠晶体为2份，表面活性剂为32份，第一超纯水和第二超纯水的总和为160份(第一超纯水与第二超纯水的质量比为2:1)。本实施例提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺，包括：(1)将第一超纯水溶解于溶解槽，并将第一超纯水升温至43℃；(2)接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后输送至混配槽，继续升温至49℃；在本步骤中，搅拌的时间为2h，转速为80转/min；(3)接着依次向混配槽中加入烷基酚聚氧乙烯醚和第二超纯水，搅拌；在本步骤中，搅拌的时间为2h，转速为88转/min；(4)过滤即得显影液。实施例3本实施例提供了一种电子级TFT显影液的原料，按重量分数计包括：碳酸钠晶体为6份，碳酸氢钠晶体为3份，表面活性剂为30份，第一超纯水和第二超纯水的总和为161份(第一超纯水与第二超纯水的质量比为2:1)。本实施例提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺，包括：(1)将第一超纯水溶解于溶解槽，并将第一超纯水升温至43℃；(2)接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后输送至混配槽，继续升温至49℃；在本步骤中，搅拌的时间为2h，转速为80转/min；(3)接着依次向混配槽中加入烷基酚聚氧乙烯醚和第二超纯水，搅拌；在本步骤中，搅拌的时间为2h，转速为88转/min；(4)过滤即得显影液。实施例4本实施例提供了一种电子级TFT显影液的原料，按重量分数计包括：碳酸钠晶体为6份，碳酸氢钠晶体为3份，表面活性剂为30份，第一超纯水和第二超纯水的总和为161份(第一超纯水与第二超纯水的质量比为2:1)。本实施例提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺，包括：(1)将第一超纯水溶解于溶解槽，并将第一超纯水升温至42℃；(2)接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后输送至混配槽，继续升温至48℃；在本步骤中，搅拌的时间为2h，转速为70转/min；(3)接着依次向混配槽中加入烷基酚聚氧乙烯醚和第二超纯水，搅拌；在本步骤中，搅拌的时间为2h，转速为85转/min；(4)过滤即得显影液。实施例5本实施例提供了一种电子级TFT显影液的原料，按重量分数计包括：碳酸钠晶体为6份，碳酸氢钠晶体为3份，表面活性剂为30份，第一超纯水和第二超纯水的总和为161份(第一超纯水与第二超纯水的质量比为2:1)。本实施例提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺，包括：(1)将第一超纯水溶解于溶解槽，并将第一超本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子级TFT显影液的制备工艺，其特征在于：包括：/n(1)将第一超纯水溶解于溶解槽；/n(2)接着向所述溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后送至混配槽；/n(3)接着依次向所述混配槽中加入表面活性剂和第二超纯水，搅拌；/n(4)过滤即得所述显影液。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子级TFT显影液的制备工艺，其特征在于：包括：
(1)将第一超纯水溶解于溶解槽；
(2)接着向所述溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后送至混配槽；
(3)接着依次向所述混配槽中加入表面活性剂和第二超纯水，搅拌；
(4)过滤即得所述显影液。


2.根据权利要求1所述的电子级TFT显影液的制备工艺，其特征在于：按重量份数计，所述碳酸钠晶体为5-7份，所述碳酸氢钠晶体为2-4份，所述表面活性剂为28-32份，所述第一超纯水和所述第二超纯水的总和为160-162份。


3.根据权利要求2所述的电子级TFT显影液的制备工艺，其特征在于：按重量份数计，所述碳酸钠晶体为6份，所述碳酸氢钠晶体为3份，所述表面活性剂为30份，所述第一超纯水和所述第二超纯水的总和为161份。


4.根据权利要求2或3所述的电子级TFT显影液的制备工艺，其特征在于：所述第一超纯水与所述超纯水的质量比为2:1。...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈重佑，陈少骏，邱建铭，吴俊贤，骆彦成，吴全贵，任建业，林德荣，刘奕丰，
申请(专利权)人：福建天甫电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35