保护装置及单片机清洗机台制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种保护装置，用于保护陶瓷片，包括：呈马蹄形的卡座，所述卡座卡在所述陶瓷片的侧面。本实用新型专利技术还提供了一种单片机清洗机台，包括：基座、位于在所述基座上的保护装置，所述保护装置设置在所述陶瓷片的侧面，以及位于所述陶瓷片上的夹头销。在本实用新型专利技术实施例提供的保护装置及单片机清洗机台中，使用马蹄形的卡座作为保护装置，可以在更换夹头销的时候保护陶瓷片不被损坏，节约更换陶瓷片的人力和财力。

【技术实现步骤摘要】
保护装置及单片机清洗机台
本技术涉及半导体制造
，尤其是涉及一种保护装置及单片机清洗机台。
技术介绍
DNSSU3100是单片式清洗机台，包括基座，和基座上面的夹头销，夹头销需要定期更换。而夹头销底部有一层陶瓷片，在更换夹头销的过程中，如果用力过大或是方法不对的话，很容易导致陶瓷片受力破碎。如果陶瓷片破碎，会导致整个夹头销损坏。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种保护装置及单片机清洗机台，在更换夹头销过程中，可以保护陶瓷片不受力损坏。为了达到上述目的，本技术提供了一种保护装置，用于保护陶瓷片，包括：呈马蹄形的卡座，所述卡座卡在所述陶瓷片的侧面。可选的，在所述的保护装置中，所述卡座的数量为一个或多个，所述卡座为多个时，所述卡座均匀卡在所述陶瓷片上。可选的，在所述的保护装置中，所述卡座为具有缓冲作用的材质。可选的，在所述的保护装置中，所述卡座的弧形为椭圆的弧形。可选的，在所述的保护装置中，所述卡座的内圈直径为12mm-14mm，所述卡座的外圈直径为32mm-34mm。可选的，在所述的保护装置中，所述卡座的高度与所述陶瓷片的高度一致。可选的，在所述的保护装置中，所述卡座的厚度为2mm-3mm。本技术还提供了一种单片机清洗机台，包括：基座、位于在所述基座上的陶瓷片，设置在所述陶瓷片侧面的保护装置，以及位于所述陶瓷片上的夹头销，所述保护装置还垫在所述夹头销的底部。可选的，在所述的单片机清洗机台中，所述单片机清洗机台还包括：位于所述夹头销上的用于固定夹头销的压块。可选的，在所述的单片机清洗机台中，所述保护装置可拆卸安装在所述夹头销的底部。在本技术实施例提供的保护装置及单片机清洗机台中，使用马蹄形的卡座作为保护装置，可以在更换夹头销的时候保护陶瓷片不被损坏，节约更换陶瓷片的人力和财力。附图说明图1是本技术实施例的保护装置的结构示意图；图2是本技术实施例的单片机清洗机台的结构示意图；图中：111-卡座、110-保护装置、130-基座、120-陶瓷片、140-夹头销、150-压块。具体实施方式下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。在下文中，术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。为了保护陶瓷片不受损坏，从而导致整个夹头销更换，参照图1，本技术提供了一种保护装置110，用于保护陶瓷片，包括：呈马蹄形的卡座111，所述卡座111卡在所述陶瓷片的侧面。优选的，所述卡座111的数量为一个或多个，所述卡座111为多个时，所述卡座111均匀卡在所述陶瓷片上。在本技术实施例中，卡座111的数量为一个，在其他实施例中，卡座111的数量也可以是两个或多个，如两个或者三个，分别均匀的卡在陶瓷片的四周，如果是两个时，将陶瓷片的周长均匀分为两个部分，每个部分的中点对应卡座111的中心设置。优选的，所述卡座111为具有缓冲作用的材质。卡座111是具有缓冲的材质，例如PP材质和聚乙酯，卡在陶瓷片周围的时候不会损坏陶瓷片。优选的，所述卡座111的弧形为椭圆的弧形。卡座111的角度根据陶瓷片的尺寸具体设计，为了方便卡住的效果更好，陶瓷片与卡座111需要无缝相贴合，因此弧形的角度一定要与卡座111的角度一致。所述卡座111的内圈直径为12mm-14mm，所述卡座111的外圈直径为32mm-34mm。例如，卡座111的内圈直径为13mm，外圈直径为33mm。在本技术的其他实施例中，卡座111的内圈直径的尺寸和外圈直径的尺寸也可以是其他尺寸。优选的，所述卡座111的高度与所述陶瓷片的高度一致。在本技术的其他实施例中，卡座111的高度也可以与陶瓷片的高度不一致，而本技术实施例中，卡座的高度与陶瓷片的高度一致即卡座恰好位于基座和夹头销之间可以使得卡座保护陶瓷片的效果更好。进一步的，所述卡座111的厚度为2mm-3mm，例如，本技术实施例的卡座111的厚度为2.5mm。参照图2，本技术还提供了一种单片机清洗机台，包括：基座130、位于所述基座130上的陶瓷片120，设置在所述陶瓷片120侧面的保护装置110，以及位于所述陶瓷片120上的夹头销140，所述保护装置110还垫在所述夹头销140的底部。进一步的，所述单片机清洗机台还包括：位于所述夹头销140上的用于固定夹头销140的压块150。压块可以用于压住固定夹头销140，方便清洗，压块可以旋转，旋转到相反的位置后就可以取下夹头销140。而现有技术中，由于在取下夹头销140的过程中可能导致位于夹头销下面的陶瓷片移动最终可能导致陶瓷片120损坏，本技术的实施例中，在陶瓷片120的四周也就是夹头销140的底部增加保护装置110，用于保护陶瓷片120在更换夹头销140的过程中不受力破损。优选的，所述保护装置110可拆卸安装在所述基座130上。保护装置110可拆卸安装在夹头销140的底部，可以在一段时间内进行更换，在处于安装在基座120上的状态上，保护装置110是固定的状态。综上，在本技术实施例提供的保护装置及单片机清洗机台中，使用马蹄形的卡座作为保护装置，保护装置设置在陶瓷片侧面，可以在更换夹头销的时候保护陶瓷片不被损坏，节约更换陶瓷片的人力和财力。上述仅为本技术的优选实施例而已，并不对本技术起到任何限制作用。任何所属
的技术人员，在不脱离本技术的技术方案的范围内，对本技术揭露的技术方案和
技术实现思路
做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本技术的技术方案的内容，仍属于本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种保护装置，用于保护陶瓷片，其特征在于，包括：呈马蹄形的卡座，所述卡座卡在所述陶瓷片的侧面。/n

【技术特征摘要】
1.一种保护装置，用于保护陶瓷片，其特征在于，包括：呈马蹄形的卡座，所述卡座卡在所述陶瓷片的侧面。


2.如权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述卡座的数量为一个或多个，所述卡座为多个时，所述卡座均匀卡在所述陶瓷片上。


3.如权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述卡座为具有缓冲作用的材质。


4.如权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述卡座的弧形为椭圆的弧形。


5.如权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述卡座的内圈直径为12mm-14mm，所述卡座的外圈直径为32mm-34mm。


6.如权利要求1所述的保护...

【专利技术属性】
技术研发人员：施龚伟，张弢，刘鹏，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31