一种晶圆片打点器制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆检测技术领域，涉及一种晶圆片打点器，包括检测仪、工作台和打点器，所述工作台中间部分设有一个可供打点器放置的矩形槽，所述矩形槽的一侧呈半圆状，所述检测仪设置在工作台顶部，所述检测仪的传感探头中心轴线垂直于矩形槽上半圆状的中心点，所述打点器设置在工作台上设有的矩形槽内，以解决现有技术中不断碰撞会使限位柱与驱动器会发生损伤，导致使用寿命降低，需要经常更换或者维修，会导致在作业过程中可能会发生故障，影响工作效率的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片打点器
本技术涉及晶圆检测
，尤其是涉及一种晶圆片打点器。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。在半导体生产中，随着晶圆的尺寸增大以及元件的尺寸缩小，一片晶圆可依需要划分为数千个相同或不同的芯片。由于制程设计或材料本身的特性，最后完成的晶圆具有正常芯片及缺陷芯片。一般是以测试机台与探针卡(ProbeCard)来测试晶圆上每一个芯片，以确保芯片的电气特性与效能符合设计规格。在晶圆测试过程中若发现缺陷芯片则需进行标记，具体可采用油墨点涂于缺陷芯片上。而缺陷芯片位置信息会根据不同的测试设备形成的形式各异的坐标文件。根据现有技术中专利专利技术申请公布号：CN109935535A的专利公开了一种晶圆打点装置，本专利技术涉及晶圆
，尤其涉及一种晶圆打点装置，包括打点组件，打点组件包括墨斗、导墨丝和驱动器，墨斗位于驱动器的下方，导墨丝自上而下穿过墨斗，且驱动器的活动端与导墨丝连接，以控制导墨丝的尖端上下移动对晶圆表面打点。本专利技术的晶圆打点装置，导墨丝在驱动器的控制下沿竖向移动，导墨丝由墨斗中穿过，带动油墨从墨斗中流向晶圆表面，从而在晶圆表面打点标记，采用开放式墨斗，当油墨耗尽时，只需用注射器直接向墨斗中添加油墨即可，不必对装置进行拆卸安装，能够快速更换油墨，实现了晶圆测试过程中的在线添墨，不间断打点过程，有利于确保打点质量效果，不仅兼容性高，而且节省成本，提高生产效率。通过分析上述专利的结构与效果，发现了现有技术中第一限位件在不断限位过程中会与驱动器进行碰撞，且驱动器和第一限位件都未设有保护装置，所以在不断的碰撞过程中第一限位件与驱动器会发生损伤，导致使用寿命降低，需要经常更换或者维修，会导致在作业过程中可能会发生故障，影响工作效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆片打点器，以解决
技术介绍
中的技术问题。本技术提供一种晶圆片打点器，包括检测仪、工作台和打点器，所述工作台中间部分设有一个可供打点器放置的矩形槽，所述矩形槽的一侧呈半圆状，所述检测仪设置在工作台顶部，所述检测仪的传感探头中心轴线垂直于矩形槽上半圆状的中心点，所述打点器设置在工作台上设有的矩形槽内，所述打点器包括第一限位组件、第二限位组件和打点组件，所述第一限位组件和第二限位组件均设置在打点组件上，所述第一限位组件和第二限位组件设置在打点组件的两侧，所述第一限位组件、第二限位组件和打点组件呈水平状并排设置。进一步的，所述第一限位组件包括限位板和固定螺栓，所述限位板设置在打点组件的顶部所述限位板上端中间部分设有可供固定螺栓放置的凹形槽，所述固定螺栓设置在凹形槽内，所述固定螺栓的输出端设置在打点组件上。进一步的，所述第二限位组件包括连接块、固定螺丝和限位柱，所述连接块贯穿打点组件设置在工作台的矩形槽内，所述连接块呈L形状，所述连接块的底部连接打点组件，所述限位柱设置在连接块的顶部，所述限位组朝打点组件的底端设有两个圆柱，两个所述圆柱上均设有橡胶保护层，所述固定螺丝贯穿限位柱设置在连接块的顶部。进一步的，所述打点组件包括承载块、针头、墨斗、墨线和驱动器，所述承载块设置在工作台上设有的矩形槽内，所述承载块用于固定限位板、连接块和驱动器，所述针头贯穿连接块的底部设置在墨斗的底部，所述墨斗设置在针头的顶部，所述驱动器设置在承载块内部，所述驱动器设置在限位板的一侧，所述驱动器还设置在限位柱的底部，所述墨线贯穿驱动器、墨斗和针头设置在驱动器、墨斗和针头的内部。与现有技术相比较，本技术的有益效果在于：其一，本技术增加了第二限位组件，第二限位组件内设有的限位柱上设有的两个圆柱上均设有橡胶保护层，在与驱动器进行碰撞时，会在碰撞面的中间由橡胶保护层阻挡，使打点组件与橡胶保护层进行碰撞，使打点组件和限位组件不受损坏，以解决现有技术中不断碰撞会使限位柱与驱动器会发生损伤，导致使用寿命降低，需要经常更换或者维修，会导致在作业过程中可能会发生故障，影响工作效率的情况。其二，本技术增加了检测仪，检测仪能够快速有效的检测出晶圆的良品与不良品，在相较于人工检测能够节省更多的时间，也能使工作效率更快。其三，本技术增加了第一限位组件，第一限位组件内设有的固定螺栓和限位板能够使驱动器在运转时无法偏移，使驱动器更有效快速的对不良品晶圆进行标记。其四，本技术增加了连接块，连接块不仅能固定针头，使驱动器在带动墨线进行作业时，连接在针头内的墨线无法偏移，还能使第二限位组件进行固定和调节的作用。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的正视图；图2为本技术的立体结构示意图；图3为本技术的局部立体结构图。附图标记：检测仪1、工作台2、矩形槽201、打点器3、第一限位组件31、限位板311、固定螺栓312、凹形槽3111、第二限位组件32、连接块321、固定螺丝322、限位柱323、圆柱3231、橡胶保护层3232、打点组件33、承载块331、针头332、墨斗333、墨线334、驱动器335。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和显示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面结本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆片打点器，其特征在于，包括检测仪(1)、工作台(2)和打点器(3)，所述工作台(2)中间部分设有一个可供打点器(3)放置的矩形槽(201)，所述矩形槽(201)的一侧呈半圆状，所述检测仪(1)设置在工作台(2)顶部，所述检测仪(1)的传感探头中心轴线垂直于矩形槽(201)上半圆状的中心点，所述打点器(3)设置在工作台(2)上设有的矩形槽(201)内，所述打点器(3)包括第一限位组件(31)、第二限位组件(32)和打点组件(33)，所述第一限位组件(31)和第二限位组件(32)均设置在打点组件(33)上，所述第一限位组件(31)和第二限位组件(32)设置在打点组件(33)的两侧，所述第一限位组件(31)、第二限位组件(32)和打点组件(33)呈水平状并排设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片打点器，其特征在于，包括检测仪(1)、工作台(2)和打点器(3)，所述工作台(2)中间部分设有一个可供打点器(3)放置的矩形槽(201)，所述矩形槽(201)的一侧呈半圆状，所述检测仪(1)设置在工作台(2)顶部，所述检测仪(1)的传感探头中心轴线垂直于矩形槽(201)上半圆状的中心点，所述打点器(3)设置在工作台(2)上设有的矩形槽(201)内，所述打点器(3)包括第一限位组件(31)、第二限位组件(32)和打点组件(33)，所述第一限位组件(31)和第二限位组件(32)均设置在打点组件(33)上，所述第一限位组件(31)和第二限位组件(32)设置在打点组件(33)的两侧，所述第一限位组件(31)、第二限位组件(32)和打点组件(33)呈水平状并排设置。


2.根据权利要求1所述一种晶圆片打点器，其特征在于，所述第一限位组件(31)包括限位板(311)和固定螺栓(312)，所述限位板(311)设置在打点组件(33)的顶部所述限位板(311)上端中间部分设有可供固定螺栓(312)放置的凹形槽(3111)，所述固定螺栓(312)设置在凹形槽(3111)内，所述固定螺栓(312)的输出端设置在打点组件(33)上。


3.根据权利要求2所述一种晶圆片打点器，其特征在于，所述第二限位组件(32)包括连接块(321)...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄栋材，
申请(专利权)人：无锡畅景科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32