【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及数据的采样技术,特别提供了一种辉光放电电流隔离取样器。在辉光放电阴极溅射时,不同样品(基体不同)即使是电压和气压相同时,放电电流也不相同,因此记录辉光放电电流数值,而且要求精确是一个十分重要而且相当关键的环节。过去使用普通模拟指针式直流毫安表测量辉光放电电流有如下弊病1.仪表的精度低,给测量带来误差。2.人工读数给测量带来误差。3.频繁变化的辉光放电电流,人工读数及表指示跟不上电流变化而出现漏检情况,给分析带来不能够弥补损失。正是基于上述原因,需要用计算机来进行数据处理,与计算机的联接需要处理下述三个技术问题1.将2000伏特的直流辉光放电电源产生的辉光放电电流用计算机进行数据处理;2.将0-100毫安的直流辉光放电电流变为计算机要求的毫伏级电压信号。3.送入计算机的毫伏电压信号与辉光放电电流保持宽范围的线性。本技术的目的在于提供一种使取样信号与辉光放电电流保持宽范围线性的辉光放电电流隔离取样器。本技术提供了一种辉光放电电流隔离取样器,其特征在于由电阻R1构成的信号转换电路接放大器IC1,经电流扩展三极管G射级输出,再经电位器W2,接光电耦合器IC2,输出端接IC3放大器再经W3电位器取样输出。本技术具有良好的输出输入线性,与计算机联结可以精确地测量辉光放电电流,实现高压电流与计算机的隔离,以下结合附图通过实施例详述本技术。附附图说明图1电气原理图实施例2000伏直流高压电源产生的辉光放电电流经过输出低电位端接的R1电阻进入输入放大级IC1,放大后的电压经过电流扩展三极管G,由射级输出经电位器W2进入光电耦合器IC2,由光敏三极管部分输出送 ...
【技术保护点】
一种辉光放电电流隔离取样器,其特征在于:由电阻R↓[1]构成的信号转换电路接放大器IC↓[1],经电流扩展三极管G射级输出,再经电位器W↓[2],接光电耦合器IC↓[2],输出端接IC↓[3]放大器再经W↓[3]电位器取样输出。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员:徐奂光,
申请(专利权)人:中国科学院金属研究所,
类型:实用新型
国别省市:89[中国|沈阳]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。