一种单晶硅棒切片机制造技术

本发明专利技术公开了一种单晶硅棒切片机，其结构包括有移动升降台、单晶硅棒、导向轮、张紧轮、绕线筒、金刚石线、机体、喷淋管、夹具、支撑柱、底座，底座通过支撑柱与机体连接，支撑柱设有四根且其中一根支撑柱上安装有喷淋管，与现有技术相比，本发明专利技术的有益效果在于：通过导向滚珠与金刚石线点接触，以此能大大减少金刚石线与导向轮的接触面积，来大大减少热摩擦，能够金刚石线的老化，通过加强块与支撑杆相间设置形成通风道，通风道使空气得以流通，从而使空气能对金刚石线及导向滚珠进行散热，有助于延长金刚石线的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒切片机
本专利技术涉及半导体
，具体地说是一种单晶硅棒切片机。
技术介绍
今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种，其中在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，硅晶片是通过硅晶棒经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻加工出来，由于单晶硅棒脆硬，故对于单晶硅棒的切片大多采用特别适用于切割各种脆性晶体的金刚石线切割机来切片。金刚石线切割机是通过高速旋转并往复回转的绕丝筒带动金刚石线做往复运动，金刚石线被二个张紧线轮所张紧，同时加设两个导向轮以确保切割的精度和面型，金刚石切割线在被被切割物件和位于其左右的两个导向轮之间形成了一个张角，因现有的金刚石线切割机技术不够完善，使得金刚石线与导向轮的接触面积较大，而金刚石线进行往复运动，会与导向轮发生热摩擦，接触面积大，热摩擦大，从而易加快金刚石线的老化。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于克服现有技术的不足，提供一种单晶硅棒切片机。本专利技术采用如下技术方案来实现：一种单晶硅棒切片机，其结构包括有移动升降台、单晶硅棒、导向轮、张紧轮、绕线筒、金刚石线、机体、喷淋管、夹具、支撑柱、底座，所述底座通过支撑柱与机体连接，所述支撑柱设有四根且其中一根所述支撑柱上安装有喷淋管，所述机体的顶部安装有绕线筒，所述机体还设有张紧轮、导向轮，所述导向轮、张紧轮各设有两个且通过金刚石线与绕线筒配合，所述底座安装有移动升降台，所述移动升降台的顶部中心固定有夹具，所述夹具夹置有单晶硅棒。所述导向轮包括有加强块、支撑杆、不全轮、滚珠套、导向滚珠、限位块，所述不全轮为四分之三圆结构设置，四分之一圆处设有支撑杆、加强块，所述加强块与支撑杆为相间布设，末端为支撑杆，末端的支撑杆与不全轮连接，相邻两根所述支撑杆通过加强块连接，所述支撑杆远离加强块的一端固定有滚珠套，所述滚珠套内设有导向滚珠，所述导向滚珠两侧均设有与滚珠套连接的限位块，所述导向滚珠与金刚石线接触，所述金刚石线处于两块所述限位块之间。作为优化，所述滚珠套设有滚珠槽，所述滚珠槽与导向滚珠配合，所述滚珠槽的深度大于导向滚珠的半径且小于导向滚珠的直径，所述滚珠槽的开口口径小于导向滚珠的直径。作为优化，所述加强块与不全轮间形成三角通道，所述三角通道为等腰三角形结构设置。作为优化，所述加强块与相邻两根所述支撑杆间形成通风道，所述通风道设有与加强块相同个数，所述加强块设有五个，所述支撑杆设有六根。作为优化，所述滚珠套上的两块限位块之间形成开口，所述开口的口径略大于金刚石线。作为优化，所述限位块包括有基块、顶弧面、侧弧面，所述基块的顶部设有顶弧面，内侧设有侧弧面，所述顶弧面与导向滚珠间具有缝隙，所述基块与滚珠套固定连接，所述侧弧面与金刚石线间具有缝隙。作为优化，所述滚珠套上两块基块的侧弧面为镜像设置且形成线道，所述线道与金刚石线采用间隙配合。作为优化，所述滚珠套还内开设有散气道，所述散气道与中空结构的支撑杆相通。作为优化，所述基块内设有分流道、散气孔，所述分流道与散气孔、散气道相通，所述散气孔设置在侧弧面上且正朝向金刚石线。作为优化，所述不全轮包括有进气孔、集气道、分气孔、轮体，所述轮体的中心设有进气孔，所述进气孔与集气道、分气孔相通，所述集气道呈扇形结构设置，所述分气孔开设在轮体上且通过支撑杆与散气道相通。有益效果与现有技术相比，本专利技术提供了一种单晶硅棒切片机，具备以下有益效果：(I)本专利技术通过加强块、支撑杆、不全轮、滚珠套、导向滚珠、限位块的结合设置形成新结构的导向轮，摒弃传统金刚石线与传统的导向轮为面接触的方式，通过导向滚珠与金刚石线接触，使得金刚石线与导向轮为点接触，以此能够大大减少金刚石线与导向轮的接触面积，利于金刚石线的散热；(II)本专利技术通过加强块与支撑杆相间设置，使得加强块与相邻两根所述支撑杆间形成通风道，通风道使得空气得以流通，从而使得空气能对金刚石线及导向滚珠进行散热，而加强块与不全轮间形成三角通道，三角通道能够增加通风效果，利于散热，且三角通道为等腰三角形，具有三角形的稳固性，从而能够提高支撑杆与加强块的稳固性，利于提高切片的稳固性；(III)本专利技术通过在滚珠套两侧增设限位块，限位块能对金刚石线起到限位的作用，有效防止金刚石线脱离导向滚珠，避免金刚石线发生偏位，便于金刚石线与导向滚珠接触，利于金刚石线的活动；(IV)本专利技术通过在不全轮设置进气孔、集气道、分气孔，在基块增设分流道、散气孔，在滚珠套上开设散气道，以此进气孔与外界导气装置连接，导气装置能提供惰性气体，惰性气体从进气孔进入集气道，从分气孔经中空结构的支撑杆进入散气道，从而从分流道经散气孔吹向金刚石线，微小的气流能够吹向金刚石线的两侧面，使得金刚石线能够居中处于线道，能够进一步对金刚石线起到很好的限位作用，有效防止金刚石线发生偏位，更利于金刚石线对单晶硅棒切片。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本专利技术一种单晶硅棒切片机的结构示意图。图2为本专利技术的导向轮与金刚石线配合的结构示意图。图3为本专利技术的滚珠套的剖面结构示意图。图4为本专利技术的导向轮与金刚石线配合的剖面结构示意图。图5为本专利技术的滚珠套与导向滚珠、限位块配合的结构示意图。图6为本专利技术的滚珠套与导向滚珠、限位块配合的剖面结构示意图。图中，部件名称与附图编号的对应关系为：移动升降台1、单晶硅棒2、导向轮3、张紧轮4、绕线筒5、金刚石线6、机体7、喷淋管8、夹具9、支撑柱10、底座11、加强块301、支撑杆302、不全轮303、滚珠套304、导向滚珠305、限位块306、滚珠槽304a、三角通道x、通风道y、开口z、基块306a、顶弧面306b、侧弧面306c、线道n、分流道306d、散气孔306e、进气孔303a、集气道303b、分气孔303c、轮体303d。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例1请参阅图1-5，本专利技术提供一种单晶硅棒切片机技术方案：其结构包括有移动升降台1、单晶硅棒2、导向轮3、张紧轮4、绕线筒5、金刚石线6、机体7、喷淋管8、夹具9、支撑柱10、底座11，所述底座11通过支撑柱10与机体7连接，所述支撑柱10设有四根且其中一根所述支撑柱10上安装有喷淋管8，所述机体7的顶部安装有绕线筒5，所述机体7还设有张紧轮4、导向轮3，所述导向轮3、张紧轮4各设有两个且通过金刚石线6与绕线筒5配合本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅棒切片机，其结构包括有移动升降台(1)、单晶硅棒(2)、导向轮(3)、张紧轮(4)、绕线筒(5)、金刚石线(6)、机体(7)、喷淋管(8)、夹具(9)、支撑柱(10)、底座(11)，所述底座(11)通过支撑柱(10)与机体(7)连接，所述支撑柱(10)上安装有喷淋管(8)，所述机体(7)安装有与金刚石线(6)配合的绕线筒(5)、张紧轮(4)、导向轮(3)，所述底座(11)安装有移动升降台(1)，所述移动升降台(1)固定有夹具(9)，所述夹具(9)夹置有单晶硅棒(2)，其特征在于：/n所述导向轮(3)包括有加强块(301)、支撑杆(302)、不全轮(303)、滚珠套(304)、导向滚珠(305)、限位块(306)，所述不全轮(303)连接六根支撑杆(302)，相邻两根所述支撑杆(302)通过加强块(301)连接，所述支撑杆(302)固定有滚珠套(304)，所述滚珠套(304)内设有导向滚珠(305)，所述滚珠套(304)还连有限位块(306)，所述导向滚珠(305)与金刚石线(6)接触。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒切片机，其结构包括有移动升降台(1)、单晶硅棒(2)、导向轮(3)、张紧轮(4)、绕线筒(5)、金刚石线(6)、机体(7)、喷淋管(8)、夹具(9)、支撑柱(10)、底座(11)，所述底座(11)通过支撑柱(10)与机体(7)连接，所述支撑柱(10)上安装有喷淋管(8)，所述机体(7)安装有与金刚石线(6)配合的绕线筒(5)、张紧轮(4)、导向轮(3)，所述底座(11)安装有移动升降台(1)，所述移动升降台(1)固定有夹具(9)，所述夹具(9)夹置有单晶硅棒(2)，其特征在于：
所述导向轮(3)包括有加强块(301)、支撑杆(302)、不全轮(303)、滚珠套(304)、导向滚珠(305)、限位块(306)，所述不全轮(303)连接六根支撑杆(302)，相邻两根所述支撑杆(302)通过加强块(301)连接，所述支撑杆(302)固定有滚珠套(304)，所述滚珠套(304)内设有导向滚珠(305)，所述滚珠套(304)还连有限位块(306)，所述导向滚珠(305)与金刚石线(6)接触。


2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切片机，其特征在于：所述滚珠套(304)设有滚珠槽(304a)，所述滚珠槽(304a)与导向滚珠(305)配合。


3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切片机，其特征在于：所述加强块(301)与不全轮(303)间形成三角通道(x)。


4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切片机，其特征在于：所述加强块(301)与相邻两根所述支撑杆(302)间形成通风道(y)。
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【专利技术属性】
技术研发人员：张诗颖，
申请(专利权)人：张诗颖，
类型：发明
国别省市：上海;31