移动体装置及曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术的基板载台装置(20)，具备能沿包含X轴及Y轴的平面内移动的基板保持具(34)、能沿Y轴方向与基板保持具同步移动的读头单元(60)、标尺(52)设于基板保持具且读头(66x、66y)设于读头单元并根据上述读头的输出求出于X轴及Y轴方向的基板保持具的位置信息的基板位置测量用编码器系统、求出读头单元于Y轴方向的位置信息的读头单元位置测量用编码器系统，以及根据上述基板位置测量用编码器系统及读头单元位置测量用编码器系统的输出进行基板保持具于XY平面内的位置控制的位置控制系。

【技术实现步骤摘要】
移动体装置及曝光装置本专利技术申请是申请日为2015年3月30日、申请号为201580027999.1(国际申请号为PCT/JP2015/059871)、专利技术名称为“移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、组件制造方法及移动体驱动方法”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术是关于移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、组件制造方法及移动体驱动方法，详言之，是关于沿既定2维平面驱动移动体的移动体装置及移动体驱动方法、包含前述移动体装置的曝光装置、使用前述曝光装置的平板显示器的制造方法及使用前述曝光装置的组件制造方法。
技术介绍
一直以来，于制造液晶显示组件、半导体组件(集成电路等)等电子组件(微组件)的微影制程，是使用一边使光罩(photomask)或标线片(以下，统称“光罩”)与玻璃板或晶圆(以下，统称“基板”)沿既定扫描方向(scan方向)同步移动、一边将形成在光罩的图案使用能量束转印至基板上的步进扫描(step&scan)方式的曝光装置(所谓的扫描步进机(亦称扫描机))等。作为此种曝光装置，以具备使用基板载台装置所具有的棒状反射镜(长条镜)求出曝光对象基板于水平面内的位置信息的光干涉仪计系统者广为人知(例如，参照专利文献1)。此处，使用光干涉仪系统求出基板的位置信息的情形时，无法忽视所谓空气波动的影响。此外，上述空气波动的影响虽能藉由编码器系统的使用加以降减，但因近年来基板的大型化，欲准备一能涵盖基板全移动范围的标尺是非常困难的。现有技术文献专利文献1美国专利申请公开第2010/0018950号说明书。
技术实现思路
用来解决课题的手段本专利技术有鉴于上述情事而生，其第1观点是一种移动体装置，其具备：可沿着包含彼此正交的第1及第2方向的既定2维平面移动的第1移动体；可沿该第1方向与该第1移动体同步移动；第1测量系，包含标尺及读头中的一方设置在该第1移动体且该标尺与该读头中的另一方设置在该第2移动体的第1编码器系统，根据该读头的输出求出至少于该第2方向的该第1移动体的位置信息的第2移动体；用来求出该第2移动体于该第1方向的位置信息的第2测量系；以及根据该第1及第2测量系的输出，进行该第1移动体于该2维平面内的位置控制的位置控制系。此处，本说明书中，所谓“同步移动”，是指第1及第2移动体在大致维持相对位置关系的状态下移动之意，并不限于位置(移动方向及速度)必须是在严密一致的状态下移动的情形。据此，第1移动体于第2方向的位置信息可以第1编码器系统加以求出。此处，由于第2移动体是与第1移动体同步往第1方向移动，因此第1编码器系统可与第1移动体于第1方向的位置无关地求出该第1移动体于第2方向的位置信息。而且，第1移动体于第1方向的位置信息可根据第2测量系的输出加以求出。如以上所述，第1编码器系统仅需涵盖第1移动体于第2方向的移动范围即可，效率佳。本专利技术第2观点是一种曝光装置，其具备：既定物体被保持在该第1移动体的本专利技术第1观点的移动体装置；以及一边将保持既定图案的图案保持体与该第1移动体同步驱动于该第2方向、一边使用能量束透过该图案保持体于该物体形成该图案的图案形成装置。本专利技术第3观点是一种平板显示器的制造方法，其包含：使用本专利技术第2观点的曝光装置使前述物体曝光，以及使曝光后前述物体显影。本专利技术第4观点是一种组件制造方法，其包含；使用本专利技术第2观点的曝光装置使前述物体曝光，以及使曝光后前述物体显影。本专利技术第5观点是一种移动体的驱动方法，是沿着包含彼此正交的第1及第2方向的既定2维平面驱动移动体，其包含：根据在第1移动体与和该第1移动体相向配置的第2移动体中的一方设置读头，且在该第1及第2移动体中的另一方设置标尺的编码器系统的输出，将该第1移动体驱动于该第2方向的动作；将该第1移动体驱动于该第1方向的动作；在该第1移动体往该第1方向移动时，将该第2移动体与该第1移动体同步驱动于该第1方向的动作；以及根据从该编码器系统的输出求出的该第1移动体于该第2方向的位置信息，和该第2移动体于该第1方向的位置信息，进行该第1移动体于该2维平面内的位置控制的动作。本专利技术第6观点是一种移动体装置，其具备：可往第1方向移动的第1移动体；与该第1移动体相向配置，可往与该第1方向交叉的第2方向移动的第2移动体；对应该第1移动体于该第2方向的动作，使该第2移动体往该第2方向移动的驱动系；包含发出测量光束的读头及该测量光束照射的标尺中的一方配置在该第1移动体、该读头及该标尺中的另一方配置在该第2移动体的第1编码器系统，根据接收透过该标尺的该测量光束的该读头的输出，求出该第1移动体与该第2移动体间的相对位置信息的第1测量系；求出与该相对位置信息不同的该第2移动体的位置信息的第2测量系；以及根据该第1及第2测量系的输出进行该第1移动体的位置控制的位置控制系。附图说明图1是概略显示第1实施方式的液晶曝光装置的构成的图。图2是显示图1的液晶曝光装置所具备的基板载台装置的一例的图。图3(A)是概略显示光罩编码器系统的构成的图，图3(B)是光罩编码器系统的一部分(图3(A)的A部)的放大图。图4(A)是概略显示基板编码器系统的构成的图，图4(B)及图4(C)是基板编码器系统的一部分(图4(A)的B部)的放大图。图5是基板编码器系统所具有的读头单元的侧视图。图6是图5的C－C线剖面图。图7是基板编码器系统的概念图。图8是显示以液晶曝光装置的控制系为中心构成的主控制装置的输出入关系的方块图。图9(A)是显示光罩编码器系统于曝光动作时的动作的图(其1)，图9(B)是显示基板编码器系统于曝光动作时的动作的图(其1)。图10(A)是显示光罩编码器系统于曝光动作时的动作的图(其2)，图10(B)是显示基板编码器系统于曝光动作时的动作的图(其2)。图11(A)是显示光罩编码器系统于曝光动作时的动作的图(其3)，图11(B)是显示基板编码器系统于曝光动作时的动作的图(其3)。图12(A)是显示光罩编码器系统于曝光动作时的动作的图(其4)，图12(B)是显示基板编码器系统于曝光动作时的动作的图(其4)。图13(A)是显示光罩编码器系统于曝光动作时的动作的图(其5)，图13(B)是显示基板编码器系统于曝光动作时的动作的图(其5)。图14(A)是显示光罩编码器系统于曝光动作时的动作的图(其6)，图14(B)是显示基板编码器系统于曝光动作时的动作的图(其6)。图15(A)是显示光罩编码器系统于曝光动作时的动作的图(其7)，图15(B)是显示基板编码器系统于曝光动作时的动作的图(其7)。图16(A)是显示光罩编码器系统于曝光动作时的动作的图(其8)，图16(B)是显示基板编码器系统于曝光动作时的动作的图(其8)。图17是第2实施方式的光罩编码器系统的部分放大图。图18是第3实施方式的基板编码器系统的部分放大图。符号说明...

【技术保护点】
1.一种移动体装置，其具备：/n光罩保持体，保持具有既定图案的光罩；/n驱动部，使所述光罩保持体往第1方向移动；/n架台部，设置有所述光罩保持体；以及/n测量系，包含能够测量所述光罩保持体于所述第1方向的移动范围的标尺及发出测量光束的读头中的一方配置在所述光罩保持体、所述读头及所述标尺中的另一方配置在所述架台部的编码器系统，根据接收透过所述标尺的所述测量光束的所述读头的输出，求出所述架台部与所述光罩保持体在所述第1方向的位置信息。/n

【技术特征摘要】
20140328 JP 2014-0674351.一种移动体装置，其具备：
光罩保持体，保持具有既定图案的光罩；
驱动部，使所述光罩保持体往第1方向移动；
架台部，设置有所述光罩保持体；以及
测量系，包含能够测量所述光罩保持体于所述第1方向的移动范围的标尺及发出测量光束的读头中的一方配置在所述光罩保持体、所述读头及所述标尺中的另一方配置在所述架台部的编码器系统，根据接收透过所述标尺的所述测量光束的所述读头的输出，求出所述架台部与所述光罩保持体在所述第1方向的位置信息。


2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，
所述标尺沿所述第1方向以既定间隔排列设置多个；
所...

【专利技术属性】
技术研发人员：白户章仁，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP