绿色版图的认证方法及预警点的风险性的判断方法技术

本发明专利技术提供了一种绿色版图的认证方法，包括：获取版图上的第一低风险点；获取第一低风险点的当前层的版图形状、参考层的版图形状、OPC模拟值和OPC修正后的值，并建立第一信息库；获得出版版图的预警点，判断预警点的当前层的版图在第一范围内是否和第一信息库中的当前层版图相同；如果相同，则判断预警点的参考层的版图形状在第二范围内是否和第一信息库中的参考层的版图形状是否相同；如果相同，则判断预警点的OPC模拟值是否和第一信息库中的OPC模拟值中相同；如果相同，则判断预警点的OPC修正后的值是否和第一信息库中的OPC修正后的值相同；如果相同，则认为预警点为第二低风险点，多个第二风险点形成所述第二信息库。可以用于过滤相同的低风险点。

【技术实现步骤摘要】
绿色版图的认证方法及预警点的风险性的判断方法
本专利技术涉及半导体
，尤其是涉及一种绿色版图的认证方法及预警点的风险性的判断方法。
技术介绍
在光刻工艺中，由于光学临近效应(OpticalProximityEffect)，设计图形经过曝光之后在晶圆上的实际图形会和原始设计略有差异，所以引入光学修正技术(OpticalProximityCorrect，OPC)来弥补由光学系统的有限分辨率造成的误差。随着芯片的技术节点进入几十纳米，OPC技术得到大量广泛的使用，同时版图设计的复杂度以及线宽的逐渐变小，使得光学修正的程式也越来越复杂。对于已实现量产的技术节点的产品，在进行OPC出版时，大量低风险的预警报错点重复实现，针对重复出现的低风险预警报错点，OPC修正规则一般不建议修改，并且OPC修正规则也较难修改。因此，为了提高对真正高风险点的关注并且提升OPC修正的效率，需要寻找一种方法来滤除掉已知的低风险点。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种绿色版图的认证方法及预警点的风险性的判断方法，可以滤掉版图上已知的低风险点，提高对高风险点的关注度，最终提升OPC修正的效率。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种绿色版图的认证方法，用于建立出版版图的OPC处理的低风险点的信息库，包括：获取成品版图上的低风险区域，所述低风险区域包括多个第一低风险点；获取第一低风险点的当前层的版图形状、参考层的版图形状、OPC模拟值和OPC修正后的值，并建立第一信息库；获得出版版图的预警点的信息，判断所述预警点的当前层的版图在第一范围内是否和所述第一信息库中的当前层版图相同；如果预警点的当前层的版图形状在第一范围内和第一信息库中的当前层版图形状相同，则判断预警点的参考层的版图形状在第二范围内是否和所述第一信息库中的参考层的版图形状是否相同；如果预警点的参考层的版图形状在第二范围内和所述第一信息库中的参考层版图形状相同，则判断所述预警点的OPC模拟值是否和第一信息库中的OPC模拟值中相同；如果述预警点的OPC模拟值和第一信息库中的OPC模拟值中相同，则判断所述预警点的OPC修正后的值是否和所述第一信息库中的OPC修正后的值相同；如果所述预警点的OPC修正后的值和所述第一信息库中的OPC修正后的值相同，则认为所述预警点为第二低风险点，多个所述第二风险点形成所述第二信息库。可选的，在所述的绿色版图的认证方法中，如果预警点的当前层的版图形状在第一范围内和所述第一信息库中的当前层版图形状不相同或者预警点的参考层的版图形状在第二范围内和所述第一信息库中的参考层版图形状不相同或者预警点的OPC模拟值和所述第一信息库中的OPC模拟值中不相同或者预警点的OPC修正后的值和所述第一信息库中的OPC修正后的值不相同，则该预警点需要人工判断是否为第二低风险点。可选的，在所述的绿色版图的认证方法中，所述第一范围为当前层的设计规则的3倍～5倍。可选的，在所述的绿色版图的认证方法中，所述第二范围为参考层的设计规则的2倍～3倍。可选的，在所述的绿色版图的认证方法中，所述OPC模拟值的判断精度为1格点～3格点。可选的，在所述的绿色版图的认证方法中，所述OPC修正后的值的判断规格为设计规则的1/100～1/50。可选的，在所述的绿色版图的认证方法中，所述第一信息库包括多个所述当前层的版图形状、多个参考层的版图形状、多个OPC模拟值和多个OPC修正后的值。可选的，在所述的绿色版图的认证方法中，多个所述第二风险点形成所述第二信息库的方法包括：将第二风险点进行绿色标示，并且放入绿色信息库中，形成第二信息库。本专利技术还提供了一种预警点的风险性的判断方法，用于判断待出版的版图的OPC预警点是否为低风险点，对同一类产品的待出版版图的预警点进行扫描，判断所述待出版版图的预警点是否与所述绿色版图的认证方法形成的第二信息库中的预警点是否一致，如果一致，则认为待出版的版图的OPC预警点为低风险点，直接放行。可选的，在所述的预警点的风险性的判断方法中，如果不一致，则进行人工判断待出版的版图的OPC预警点是否为低风险点。在本专利技术提供的一种绿色版图的认证方法及预警点的风险性的判断方法中，可以通过绿色版图的认证方法的方法建立一个信息库，然后量产的其他产品的版图的预警点可以直接与信息库里进行对比以判断出是否是低风险点，进一步的，可以滤掉版图上已知的低风险点，提高对高风险点的关注度，最终提升OPC修正的效率。附图说明图1是本专利技术实施例的绿色版图的认证方法的流程图。具体实施方式下面将结合示意图对本专利技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。在下文中，术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。本专利技术提供了一种绿色版图的认证方法，用于建立出版版图的OPC处理的低风险点的信息库，包括：S11：获取成品版图上的低风险区域，所述低风险区域包括多个第一低风险点；S12：获取第一低风险点的当前层的版图形状、参考层的版图形状、OPC模拟值和OPC修正后的值，并建立第一信息库；S13：获得出版版图的预警点的信息，判断所述预警点的当前层的版图在第一范围内是否和所述第一信息库中的当前层版图相同；S14：如果预警点的当前层的版图形状在第一范围内和第一信息库中的当前层版图形状相同，则判断预警点的参考层的版图形状在第二范围内是否和所述第一信息库中的参考层的版图形状是否相同；S15：如果预警点的参考层的版图形状在第二范围内和所述第一信息库中的参考层版图形状相同，则判断所述预警点的OPC模拟值是否和第一信息库中的OPC模拟值中相同；S16：如果述预警点的OPC模拟值和第一信息库中的OPC模拟值中相同，则判断所述预警点的OPC修正后的值是否和所述第一信息库中的OPC修正后的值相同；S17：如果所述预警点的OPC修正后的值和所述第一信息库中的OPC修正后的值相同，则认为所述预警点为第二低风险点，多个所述第二风险点形成所述第二信息库。对于已实现量产的技术节点的产品，在进行OPC出版时，大量低风险的预警点重复报错，针对重复出现的低风险预警点，可以对其进行过滤，即多个产品的同一个风险点只进行一次判断，如果判断成功，这类产品的其他产品可以直接和这个点进行比较，和这个点一致，则不用再进行判断，如果和这个点不一致，则进行人工判断，而一个产品上有多个点，所以可以先将这些点建成一个绿色信息库，即本实施例的第二信本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种绿色版图的认证方法，用于建立出版版图的OPC处理的低风险点的信息库，其特征在于，包括：/n获取成品版图上的低风险区域，所述低风险区域包括多个第一低风险点；/n获取第一低风险点的当前层的版图形状、参考层的版图形状、OPC模拟值和OPC修正后的值，并建立第一信息库；/n获得出版版图的预警点的信息，判断所述预警点的当前层的版图在第一范围内是否和所述第一信息库中的当前层版图相同；/n如果预警点的当前层的版图形状在第一范围内和所述第一信息库中的当前层版图形状相同，则判断预警点的参考层的版图形状在第二范围内是否和所述第一信息库中的参考层的版图形状是否相同；/n如果预警点的参考层的版图形状在第二范围内和所述第一信息库中的参考层版图形状相同，则判断所述预警点的OPC模拟值是否和所述第一信息库中的OPC模拟值中相同；/n如果述预警点的OPC模拟值和所述第一信息库中的OPC模拟值中相同，则判断所述预警点的OPC修正后的值是否和所述第一信息库中的OPC修正后的值相同；/n如果所述预警点的OPC修正后的值和所述第一信息库中的OPC修正后的值相同，则认为所述预警点为第二低风险点，多个所述第二风险点形成所述第二信息库。/n...

【技术特征摘要】
1.一种绿色版图的认证方法，用于建立出版版图的OPC处理的低风险点的信息库，其特征在于，包括：
获取成品版图上的低风险区域，所述低风险区域包括多个第一低风险点；
获取第一低风险点的当前层的版图形状、参考层的版图形状、OPC模拟值和OPC修正后的值，并建立第一信息库；
获得出版版图的预警点的信息，判断所述预警点的当前层的版图在第一范围内是否和所述第一信息库中的当前层版图相同；
如果预警点的当前层的版图形状在第一范围内和所述第一信息库中的当前层版图形状相同，则判断预警点的参考层的版图形状在第二范围内是否和所述第一信息库中的参考层的版图形状是否相同；
如果预警点的参考层的版图形状在第二范围内和所述第一信息库中的参考层版图形状相同，则判断所述预警点的OPC模拟值是否和所述第一信息库中的OPC模拟值中相同；
如果述预警点的OPC模拟值和所述第一信息库中的OPC模拟值中相同，则判断所述预警点的OPC修正后的值是否和所述第一信息库中的OPC修正后的值相同；
如果所述预警点的OPC修正后的值和所述第一信息库中的OPC修正后的值相同，则认为所述预警点为第二低风险点，多个所述第二风险点形成所述第二信息库。


2.如权利要求1所述的绿色版图的认证方法，其特征在于，如果预警点的当前层的版图形状在第一范围内和所述第一信息库中的当前层版图形状不相同或者预警点的参考层的版图形状在第二范围内和所述第一信息库中的参考层版图形状不相同或者预警点的OPC模拟值和所述第一信息库中的OPC模拟值中不相同或者预警点的OPC修正后的值和所述第一信息库中的OPC修正后的值不相同...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐雪蕊，张辰明，孟鸿林，孟春霞，魏芳，朱骏，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31