一种匀胶、烘胶一体机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种匀胶、烘胶一体机，包括腔室和输气管，所述腔室内部设置有基片，所述片托底部连接有空心轴，所述同步轮一侧设置有转轮，所述转轮顶部连接有电机，所述输气管设置于空心轴内部，所述输气管另一端连接有冷却管，所述空心轴表面开设有气孔，所述腔室内部开设有过气通道。该匀胶、烘胶一体机通过加热管向输气管输送热空气，热空气进入腔室内部对腔室内部进行加热，该设置有利于在实现匀胶功能的同时兼顾了烘胶的功能，有效减少转移过程中的基片污染，通过冷却管向输气管输送冷空气，冷空气进入腔室内部对腔室内部进行降温，加速腔室气体和基片的冷却，减少长时间高温对设备的影响，延长设备的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种匀胶、烘胶一体机
本技术涉及匀胶、烘胶一体机
，具体为一种匀胶、烘胶一体机。
技术介绍
目前常见的匀胶、烘胶一体机，一般通过采用机械方式将加热装置和片托连接到一起，通过加热装置的加热，使片托温度升高，进而使片托上基片的温度升高，加速光刻胶凝固，实现烘胶功能。由于加热装置的加热效果直接受热装置内部加热丝分布的影响，因而设备的基片烘胶均匀性直接取决于加热丝分布，对加热装置的加热丝排布要求很高，且匀胶、烘胶一体机缺少相应的措施来使片托及腔室环境冷却到室温，依靠自然冷却来使片托恢复到室温需要很长的时间，延长了下一个基片处理的时间，使的设备工作效率低，针对上述情况，我们推出了一种匀胶、烘胶一体机。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种匀胶、烘胶一体机，以解决上述
技术介绍
中提出一般的加热装置的加热效果直接受热装置内部加热丝分布的影响，因而设备的基片烘胶均匀性直接取决于加热丝分布，对加热装置的加热丝排布要求很高，且匀胶、烘胶一体机缺少相应的措施来使片托及腔室环境冷却到室温，依靠自然冷却来使片托恢复到室温需要很长的时间，延长了下一个基片处理的时间，使的设备工作效率低的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种匀胶、烘胶一体机，包括腔室和输气管，所述腔室内部设置有基片，且基片底部连接有片托，所述片托底部连接有空心轴，且空心轴一端贯穿腔室底部的同时连接有同步轮，所述同步轮一侧设置有转轮，且同步轮与转轮外部连接有传动带，所述转轮顶部连接有电机，所述输气管设置于空心轴内部，且输气管一端连接有加热管，所述输气管另一端连接有冷却管，且冷却管与加热管末端均设置有阀门，所述空心轴表面开设有气孔，所述腔室内部开设有过气通道，且过气通道顶部连接有气塞。优选的，所述空心轴的竖直中心线与腔室的竖直中心线相互重合，且空心轴与同步轮之间的连接方式为焊接。优选的，所述同步轮通过传动带与转轮之间构成传动结构，且同步轮的外口尺寸大于转轮的外口尺寸。优选的，所述转轮通过电机构成转动结构，且电机与腔室底部呈焊接一体化结构。优选的，所述加热管与冷却管之间关于输气管的竖直中心线对称分布，且输气管的竖直中心线与空心轴的竖直中心线相互重合。优选的，所述过气通道与气塞之间呈螺纹连接，且气塞之间关于腔室的竖直中心线对称分布。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该匀胶、烘胶一体机通过加热管向输气管输送热空气，热空气从气孔进入过气通道在透过气塞进入腔室内部对腔室内部进行加热，而电机带动空心轴使片托、基片进行转动，从而对腔室内部的溶胶进行均匀搅拌，该设置有利于在实现匀胶功能的同时兼顾了烘胶的功能，有效减少转移过程中的基片污染，通过加热腔室内气体，使其整体温度升高并保持一致，改善了加热丝分布不均对烘胶效果的影响，具有高均匀加热的优点。该匀胶、烘胶一体机通过冷却管向输气管输送冷空气，冷空气从气孔进入过气通道在透过气塞进入腔室内部对腔室内部进行降温，加速腔室气体和基片的冷却，减少长时间高温对设备的影响，延长设备的使用寿命，通过向腔室内吹冷风的办法，有效降低了设备尤其是基片的冷却时间，快速为下一基片的匀胶做好准备，减少两片基片之间操作的时间间隔，提高了设备的工作效率。该匀胶、烘胶一体机冷热空气需穿过气塞才能进入腔室内部，而气塞内部设置有一瓣一瓣的胶体，通常情况下胶体之间相互贴合从而封堵过气通道，而在需要对腔室内部进行加热降温时，气体在后续推送力的作用下会冲开胶体进入腔室内部，该设置有利于防止溶胶渗入过气通道内部造成堵塞，而过气通道与气塞之间呈螺纹连接方便后期拆卸气塞对其进行清理。附图说明图1为本技术正视内部结构示意图；图2为本技术腔室俯视结构示意图；图3为本技术图1中A处放大结构示意图。图中：1、腔室；2、基片；3、片托；4、空心轴；5、同步轮；6、转轮；7、传动带；8、电机；9、输气管；10、加热管；11、冷却管；12、阀门；13、气孔；14、过气通道；15、气塞。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供技术方案：一种匀胶、烘胶一体机，包括腔室1和输气管9，腔室1内部设置有基片2，且基片2底部连接有片托3，片托3底部连接有空心轴4，且空心轴4一端贯穿腔室1底部的同时连接有同步轮5，空心轴4的竖直中心线与腔室1的竖直中心线相互重合，且空心轴4与同步轮5之间的连接方式为焊接，空心轴4的竖直中心线与腔室1的竖直中心线相互重合有利于均匀搅拌溶胶，而空心轴4与同步轮5之间的连接方式为焊接有利于防止同步轮5发生脱落；同步轮5一侧设置有转轮6，且同步轮5与转轮6外部连接有传动带7，同步轮5通过传动带7与转轮6之间构成传动结构，且同步轮5的外口尺寸大于转轮6的外口尺寸，转轮6顶部连接有电机8，转轮6通过电机8构成转动结构，且电机8与腔室1底部呈焊接一体化结构，电机8焊接于腔室1底部提高电机8的稳固性，提高电机8运作时的稳定性，而通过电机8带动转轮6再经过传动带7带动同步轮5使空心轴4转动，而同步轮5的外口尺寸大于转轮6的外口尺寸有利于提高同步轮5、转轮6与传动带7之间连接的牢固度，防止传动带7发生松动；输气管9设置于空心轴4内部，且输气管9一端连接有加热管10，输气管9另一端连接有冷却管11，且冷却管11与加热管10末端均设置有阀门12，加热管10与冷却管11之间关于输气管9的竖直中心线对称分布，且输气管9的竖直中心线与空心轴4的竖直中心线相互重合，输气管9顶端从空心轴4底部插入空心轴4内部，空心轴4表面开设有气孔13，腔室1内部开设有过气通道14，且过气通道14顶部连接有气塞15，过气通道14与气塞15之间呈螺纹连接，且气塞15之间关于腔室1的竖直中心线对称分布，冷热空气需穿过气塞15才能进入腔室1内部，而气塞15内部设置有一瓣一瓣的胶体，通常情况下胶体之间相互贴合从而封堵过气通道14，而在需要对腔室1内部进行加热降温时，气体在后续推送力的作用下会冲开胶体进入腔室1内部，该设置有利于防止溶胶渗入过气通道14内部造成堵塞，而过气通道14与气塞15之间呈螺纹连接方便后期拆卸气塞15对其进行清理，通过加热管10向输气管9输送热空气，热空气从气孔13进入过气通道14在透过气塞15进入腔室1内部对腔室1内部进行加热，该设置有利于在实现匀胶功能的同时兼顾了烘胶的功能，有效减少转移过程中的基片2污染，而冷却管11向输气管9输送冷空气，冷空气从气孔13进入过气通道14在透过气塞15进入腔室1内部对腔室1内部进行降温，加速腔室1气体和基片2的冷却，减少长时间高温对设备的影响，延长设备的使用寿命。工作原理：在使用该匀胶、烘胶一体机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种匀胶、烘胶一体机，包括腔室(1)和输气管(9)，其特征在于：所述腔室(1)内部设置有基片(2)，且基片(2)底部连接有片托(3)，所述片托(3)底部连接有空心轴(4)，且空心轴(4)一端贯穿腔室(1)底部的同时连接有同步轮(5)，所述同步轮(5)一侧设置有转轮(6)，且同步轮(5)与转轮(6)外部连接有传动带(7)，所述转轮(6)顶部连接有电机(8)，所述输气管(9)设置于空心轴(4)内部，且输气管(9)一端连接有加热管(10)，所述输气管(9)另一端连接有冷却管(11)，且冷却管(11)与加热管(10)末端均设置有阀门(12)，所述空心轴(4)表面开设有气孔(13)，所述腔室(1)内部开设有过气通道(14)，且过气通道(14)顶部连接有气塞(15)。/n

【技术特征摘要】
1.一种匀胶、烘胶一体机，包括腔室(1)和输气管(9)，其特征在于：所述腔室(1)内部设置有基片(2)，且基片(2)底部连接有片托(3)，所述片托(3)底部连接有空心轴(4)，且空心轴(4)一端贯穿腔室(1)底部的同时连接有同步轮(5)，所述同步轮(5)一侧设置有转轮(6)，且同步轮(5)与转轮(6)外部连接有传动带(7)，所述转轮(6)顶部连接有电机(8)，所述输气管(9)设置于空心轴(4)内部，且输气管(9)一端连接有加热管(10)，所述输气管(9)另一端连接有冷却管(11)，且冷却管(11)与加热管(10)末端均设置有阀门(12)，所述空心轴(4)表面开设有气孔(13)，所述腔室(1)内部开设有过气通道(14)，且过气通道(14)顶部连接有气塞(15)。


2.根据权利要求1所述的一种匀胶、烘胶一体机，其特征在于：所述空心轴(4)的竖直中心线与腔室(1)的竖直中心线相互重合，且空...

【专利技术属性】
技术研发人员：李国宁，秦威，姜涛，李英杰，张越洋，张达，
申请(专利权)人：北京赛德凯斯电子有限责任公司，
类型：新型
国别省市：四川;51