异常检测装置以及异常检测方法制造方法及图纸

提供能够高精度地检测针对被加工物的各种加工时的异常的异常检测装置以及异常检测方法。具备：AE传感器(61)，其设置于对载置于上部的玻璃板(G)进行加工的抛光平台(20)，并经由介于AE传感器(61)与玻璃板(G)之间的浆液(S)来检测来自玻璃板(G)的弹性波；和异常检测部(17)，其基于来自AE传感器(61)的检测信号，来判定玻璃板(G)的异常的有无，AE传感器(61)配置在抛光平台(20)中的玻璃板(G)的载置位置的正下方。

【技术实现步骤摘要】
异常检测装置以及异常检测方法
本专利技术涉及异常检测装置以及异常检测方法。
技术介绍
例如，在针对用于LCD(LiquidCrystalDisplay：液晶显示器)、OLED(OrganicLight-EmittingDiode：有机发光二极管)等平板显示器(FPD:FlatPanelDisplay)的玻璃板的各种加工中，很少会在玻璃板产生裂缝等损伤。因此，作为对玻璃板进行抛光的抛光装置，已知一种具备快速检测玻璃板的裂缝的玻璃裂缝检测装置的抛光装置(例如，参照专利文献1)。该玻璃裂缝检测装置具备：向玻璃板供给液体的液体供给部；配置在与液体接触的位置的AE传感器；以及对从检测到来自玻璃板的弹性波的AE传感器输入的AE信号进行处理的信号处理部。然后，在该玻璃裂缝检测装置中，信号处理部通过来自AE传感器的AE信号超过规定的阈值，从而判断玻璃板的裂缝。另外，也已知一种通过来自安装于构成抛光装置的抛光垫的铝制的板材的AE传感器的检测信号，来判断玻璃板的裂缝的技术(例如，参照专利文献2)。专利文献1：日本特开2017-190971号公报专利文献2：国际公开第2010/067732号然而，上述专利文献1、2记载的检测装置，均是AE传感器在从基于对玻璃板进行抛光的抛光头的抛光位置分离的侧方检测弹性波。另外，在专利文献2记载的检测装置中，通过安装于固定有对玻璃板进行抛光的抛光垫的铝制的板材的AE传感器来检测弹性波。因此，在这些检测装置中，通过AE传感器检测的弹性波所包含的噪声变多，有可能对微小的裂缝等异常进行误检测。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供能够高精度地检测针对被加工物的各种加工时的异常的异常检测装置以及异常检测方法。本专利技术由下述结构构成。(1)一种异常检测装置，其特征在于，具备：AE传感器，其设置于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台，并经由介于与所述被加工物之间的液体来检测来自所述被加工物的弹性波；和异常检测部，其基于来自所述AE传感器的检测信号，来判定所述被加工物有无异常，所述AE传感器配置在所述加工台中的所述被加工物的载置位置的正下方。(2)一种异常检测方法，其特征在于，在对载置于上部的被加工物进行加工的加工台设置AE传感器，该AE传感器经由介于与所述被加工物之间的液体来检测来自所述被加工物的弹性波，基于来自所述AE传感器的检测信号，来判定所述被加工物有无异常，将所述AE传感器配置在所述加工台中的所述被加工物的载置位置的正下方。根据本专利技术的异常检测装置以及异常检测方法，能够高精度地检测针对被加工物的各种加工时的异常。附图说明图1是应用本专利技术的异常检测装置的抛光装置的简略结构图。图2是应用本专利技术的异常检测装置的抛光装置的简略侧视图。图3是抛光装置的局部的剖视图。图4是构成抛光装置的抛光平台的简略俯视图。图5是设置于抛光平台的传感器部的简略剖视图。图6是AE传感器的立体图。图7是表示来自AE传感器的输出波形的波形图。图8是变形例的抛光平台的简略俯视图。附图标记说明：10…抛光装置(异常检测装置)；17…异常检测部；20…抛光平台(加工台)；40…抛光板；40A～40L…分割板；49…浆液流入孔；61…AE传感器；G…玻璃板(被加工物)；S…浆液(液体)。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细地说明。另外，在本例中例示出检测对由玻璃板构成的被加工物进行抛光时的裂缝的情况，来说明本专利技术的异常检测装置以及异常检测方法。图1是应用本专利技术的异常检测装置的抛光装置的简略结构图。图2是应用本专利技术的异常检测装置的抛光装置的简略侧视图。图3是抛光装置的局部剖视图。如图1及图2所示，抛光装置10是对形成为矩形状的玻璃板(被加工物)G进行抛光的装置。由该抛光装置10进行抛光的玻璃板G例如由用于LCD(LiquidCrystalDisplay)、OLED(OrganicLight-EmittingDiode)等平板显示器(FPD:FlatPanelDisplay)的无碱玻璃系材料构成。该玻璃板G例如是一边为2000×200mm～2200×2600mm且厚度为0.7mm的玻璃板，例如通过浮制法制造。抛光装置10对玻璃板G进行抛光，并抛光成各种用途所需的平坦度。抛光装置10具备抛光平台(加工台)20、抛光板40以及抛光头50。抛光平台20在俯视时形成为圆形状，在其上表面设置抛光板40。抛光头50配置于抛光平台20的上部。玻璃板G配置于设置在抛光平台20的抛光板40的上部，并被抛光头50按压于抛光板40。在抛光头50在其上部中央设置有主轴51，在该主轴51连结有旋转升降装置53。旋转升降装置53与统一控制抛光装置10的整体的控制部11连接，由该控制部11控制适于玻璃板G的抛光的转速及下降动作(按压力)。如图3所示，在抛光平台20形成有在上表面开口的多个抽吸孔31以及多个浆液供给孔33。在抽吸孔31连接有抽吸泵(省略图示)，在浆液供给孔33例如连接有供给氧化铈水溶液等抛光液亦即浆液(液体)S的浆液供给机(图示略)。设置在该抛光平台20的上表面的抛光板40具有树脂制的缓冲板部41、铝制的支承板部43以及抛光垫45，并将这些缓冲板部41、支承板部43以及抛光垫45依次重叠而构成。作为抛光垫45例如使用聚氨酯泡沫型、绒面革型的抛光垫。在该抛光板40形成有在表背贯通的流路47，这些流路47与抛光平台20的浆液供给孔33连通。抛光平台20的上表面的抛光板40通过抽吸泵动作而通过抽吸孔31被吸附而保持于抛光平台20的上表面。然后，抽吸泵的动作停止，抽吸孔31的抽吸被解除，从而能够从抛光平台20的上表面拆下。另外，若从浆液供给机向抛光平台20的浆液供给孔33供给浆液S，则浆液S被送入与浆液供给孔33连通的流路47，并向抛光板40的抛光垫45的上表面侧供给。由此，抛光垫45成为被浆液S浸渍的状态。配置于抛光平台20的上部的抛光头50，经由由具有自吸附作用的底材等构成的片状的保持片55来保持玻璃板G。抛光头50通过由旋转升降装置53驱动的主轴51旋转以及升降。因此，经由保持片55保持于抛光头50的玻璃板G借助适于抛光的转速以及按压力，一边在设置于抛光平台20的上表面的抛光板40旋转、一边被按压。由此，玻璃板G的抛光板40侧的面亦即被抛光面A被抛光板40的抛光垫45抛光成所需的平坦度。图4是构成抛光装置的抛光平台的简略俯视图。图5是设置于抛光平台的传感器部的简略剖视图。图6是AE传感器的立体图。如图4以及图5所示，抛光平台20在其大致中央部具有传感器部21。传感器部21具有形成为凹状的传感器收容部23，在该传感器收容部23收容有AE(AcousticEmission：声发射)传感器61。AE传感器61例如为具有压电元件，并且通过该压电元件检测在固体变形或破坏时释放的弹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种异常检测装置，其特征在于，具备：/nAE传感器，其设置于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台，并经由介于与所述被加工物之间的液体来检测来自所述被加工物的弹性波；和/n异常检测部，其基于来自所述AE传感器的检测信号，来判定所述被加工物有无异常，/n所述AE传感器配置在所述加工台中的所述被加工物的载置位置的正下方。/n

【技术特征摘要】
20190517 JP 2019-0938641.一种异常检测装置，其特征在于，具备：
AE传感器，其设置于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台，并经由介于与所述被加工物之间的液体来检测来自所述被加工物的弹性波；和
异常检测部，其基于来自所述AE传感器的检测信号，来判定所述被加工物有无异常，
所述AE传感器配置在所述加工台中的所述被加工物的载置位置的正下方。


2.根据权利要求1所述的异常检测装置，其特征在于，
所述AE传感器检测来自由玻璃板构成的所述被加工物的弹性波。


3.根据权利要求2所述的异常检测装置，其特征在于，
在所述加工台的上表面设置有抛光板，所述玻璃板被按压于所述抛光板并相对移动，由此对所述玻璃板进行抛光，
在所述抛光板具有与所述AE传感器和所述玻璃板连通的浆液流入孔，
所述AE传感器经由向所述抛光板与所述玻璃板之间供给并流入到所述浆液流入孔的浆液来检测来自所述玻璃板的弹性波。


4.根据权利要求3所述的异常检测装置，其特征在于，
所述抛光板由在面方向被分割的多个分割板构成，
所述AE传感器配...

【专利技术属性】
技术研发人员：秋山秀，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP