本实用新型专利技术涉及半导体元件镀膜技术领域，公开了一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括镀膜箱，所述镀膜箱顶部中间位置竖直向下固定连接有气缸，气缸的活塞杆下端面通过轴承固定连接有夹板，位于所述镀膜箱底部中间位置竖直向上固定连接有伺服电机，伺服电机的传动轴杆上端面固定连接有托板，位于所述镀膜箱内腔左侧固定连接有电阻加热板。本实用新型专利技术通过根据半导体元件的高度打开相应宽度间距的排热嘴上的阀门，然后对半导体元件的一面进行镀膜；并且电阻加热板发热对半导体元件的镀膜进行烘干，抽风机工作将镀膜箱内的废气和水汽抽吸到净化箱内，并经过活性炭填料进行过滤净化空气并排出。
【技术实现步骤摘要】
一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置
本技术涉及半导体元件镀膜
，具体为一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置。
技术介绍
目前，半导体的镀膜方式包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀膜等，其中，蒸发镀膜是指通过加热蒸发镀膜物质，使其沉积在半导体元件的表面，形成一层保护膜。蒸发镀膜中膜的厚度决定于蒸发速率、镀膜时间，以及蒸发源与半导体元件之间的距离等。因此，为了保证镀膜的均匀性，必须地严格控制好上述影响因素。经检索公开(公告)号CN206872930U公开了一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括用于固定长方体状半导体元件的固定架，固定架可转动，所述固定架外围设有L型的滑轨，滑轨包括相互垂直连接的横向滑轨和竖向滑轨，横向滑轨与固定架之间的距离和竖向滑轨与固定架之间的距离之差等于长方体状半导体元件长宽之差的二分之一；滑轨上滑动设置有若干个坩埚，每个坩埚内均固定设置有蒸发源；还包括L型的固定杆，固定杆沿滑轨设置，且固定杆位于滑轨远离固定架的一侧，固定杆上滑动设有若干个加热源。虽然该技术解决了现有镀膜装置对于长方体状半导体元件镀膜时镀膜厚度不均的技术问题。但是经本专利技术人探索发现该技术方案仍然存在至少以下缺陷：该技术方案中采用的活动式的坩埚操作起来费时费力，并且镀膜后无法进行烘干的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，解决了
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括镀膜箱，所述镀膜箱顶部中间位置竖直向下固定连接有气缸，气缸的活塞杆下端面通过轴承固定连接有夹板，位于所述镀膜箱底部中间位置竖直向上固定连接有伺服电机，伺服电机的传动轴杆上端面固定连接有托板，位于所述镀膜箱内腔左侧固定连接有电阻加热板，位于所述镀膜箱外部中间位置水平向右固定连接有电动推杆，电动推杆右端与连接杆下端固定连接，连接杆上端部与主输气管右端部固定连接，主输气管左端部与分输气管固定连接，分输气管左侧壁水平向左固定连通有多根等距分布的排热嘴，排热嘴上固定安装有阀门；所述镀膜箱左侧上部固定连通有抽风机，抽风机的排风管尾端与净化箱顶部右侧固定连通，净化箱内填充有活性炭填料，位于所述镀膜箱左侧中部固定连接有PLC控制器；位于所述镀膜箱前侧左部活动铰接有箱门。作为本技术的一种优选实施方式，所述夹板和托板竖直对齐。作为本技术的一种优选实施方式，多个所述排热嘴均与夹板和托板的中部水平对齐，主输气管活动贯穿于镀膜箱右侧中部。作为本技术的一种优选实施方式，位于所述净化箱左侧中部固定连通有净化气体出管。作为本技术的一种优选实施方式，所述PLC控制器与电阻加热板和电动推杆电控连接。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：本技术通过根据半导体元件的高度打开相应宽度间距的排热嘴上的阀门，然后对半导体元件的一面进行镀膜；并且电阻加热板发热对半导体元件的镀膜进行烘干，抽风机工作将镀膜箱内的废气和水汽抽吸到净化箱内，并经过活性炭填料进行过滤净化空气并排出，这种方式避免现有技术中采用的活动式的坩埚操作起来费时费力，并且镀膜后无法进行烘干的问题。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置的整体正视剖面结构示意图；图2为本技术一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置的箱门与镀膜箱连接正视结构示意图。图中：1、镀膜箱；2、抽风机；3、排风管；4、PLC控制器；5、净化箱；6、净化气体出管；7、活性炭填料；8、电阻加热板；9、伺服电机；10、托板；11、分输气管；12、电动推杆；13、连接杆；14、主输气管；15、阀门；16、排热嘴；17、气缸；18、夹板；19、箱门；20、轴承。本技术中的仪器均可通过市场购买和私人定制获得。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括镀膜箱1，镀膜箱1顶部中间位置竖直向下固定连接有气缸17，气缸17的活塞杆下端面通过轴承20固定连接有夹板18，位于镀膜箱1底部中间位置竖直向上固定连接有伺服电机9，伺服电机9的传动轴杆上端面固定连接有托板10，位于镀膜箱1内腔左侧固定连接有电阻加热板8，位于镀膜箱1外部中间位置水平向右固定连接有电动推杆12，电动推杆12右端与连接杆13下端固定连接，连接杆13上端部与主输气管14右端部固定连接，主输气管14左端部与分输气管11固定连接，分输气管11左侧壁水平向左固定连通有多根等距分布的排热嘴16，排热嘴16上固定安装有阀门15；镀膜箱1左侧上部固定连通有抽风机2，抽风机2的排风管3尾端与净化箱5顶部右侧固定连通，净化箱5内填充有活性炭填料7，位于镀膜箱1左侧中部固定连接有PLC控制器4；位于镀膜箱1前侧左部活动铰接有箱门19。本实施例中(请参阅图1-2)，夹板18和托板10竖直对齐，多个排热嘴16均与夹板18和托板10的中部水平对齐，保证在旋转喷射镀膜时，对半导体元件进行镀膜，主输气管14活动贯穿于镀膜箱1右侧中部，位于净化箱5左侧中部固定连通有净化气体出管6，PLC控制器4与电阻加热板8和电动推杆12电控连接，PLC控制器4控制伺服电机9进行低速旋转，从而对半导体元件进行充分镀膜。在一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置使用的时候，需要说明的是，本技术为一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括1、镀膜箱；2、抽风机；3、排风管；4、PLC控制器；5、净化箱；6、净化气体出管；7、活性炭填料；8、电阻加热板；9、伺服电机；10、托板；11、分输气管；12、电动推杆；13、连接杆；14、主输气管；15、阀门；16、排热嘴；17、气缸；18、夹板；19、箱门；20、轴承，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。使用时，将半导体元件放置在托板10上，然后气缸17工作本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括镀膜箱(1)，其特征在于：所述镀膜箱(1)顶部中间位置竖直向下固定连接有气缸(17)，气缸(17)的活塞杆下端面通过轴承(20)固定连接有夹板(18)，位于所述镀膜箱(1)底部中间位置竖直向上固定连接有伺服电机(9)，伺服电机(9)的传动轴杆上端面固定连接有托板(10)，位于所述镀膜箱(1)内腔左侧固定连接有电阻加热板(8)，位于所述镀膜箱(1)外部中间位置水平向右固定连接有电动推杆(12)，电动推杆(12)右端与连接杆(13)下端固定连接，连接杆(13)上端部与主输气管(14)右端部固定连接，主输气管(14)左端部与分输气管(11)固定连接，分输气管(11)左侧壁水平向左固定连通有多根等距分布的排热嘴(16)，排热嘴(16)上固定安装有阀门(15)；/n所述镀膜箱(1)左侧上部固定连通有抽风机(2)，抽风机(2)的排风管(3)尾端与净化箱(5)顶部右侧固定连通，净化箱(5)内填充有活性炭填料(7)，位于所述镀膜箱(1)左侧中部固定连接有PLC控制器(4)；位于所述镀膜箱(1)前侧左部活动铰接有箱门(19)。/n
【技术特征摘要】
1.一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括镀膜箱(1)，其特征在于：所述镀膜箱(1)顶部中间位置竖直向下固定连接有气缸(17)，气缸(17)的活塞杆下端面通过轴承(20)固定连接有夹板(18)，位于所述镀膜箱(1)底部中间位置竖直向上固定连接有伺服电机(9)，伺服电机(9)的传动轴杆上端面固定连接有托板(10)，位于所述镀膜箱(1)内腔左侧固定连接有电阻加热板(8)，位于所述镀膜箱(1)外部中间位置水平向右固定连接有电动推杆(12)，电动推杆(12)右端与连接杆(13)下端固定连接，连接杆(13)上端部与主输气管(14)右端部固定连接，主输气管(14)左端部与分输气管(11)固定连接，分输气管(11)左侧壁水平向左固定连通有多根等距分布的排热嘴(16)，排热嘴(16)上固定安装有阀门(15)；
所述镀膜箱(1)左侧上部固定连通有抽风机(2)，抽风机(2)的排风管(3)尾端与净化箱(5)顶部右侧固定连通...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏进，
申请(专利权)人：扬州国润半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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