工件装卸装置制造方法及图纸

一种工件装卸装置，包含：对可收容工件的通用托盘（Ｔ１）进行保持并可沿左右方向（Ｙ）移动的通用托盘保持单元（１０）；处理用托盘保持单元（２０），该处理用托盘保持单元与通用托盘保持单元（１０）邻接并排列在前后方向（Ｘ）的后方，对相对于处理区域（Ａ４）搬入搬出工件的处理用托盘（Ｔ２）进行保持并可沿左右方向（Ｙ）移动；工件转放单元（３０），该工件转放单元为了在通用托盘（Ｔ１）与处理用托盘（Ｔ２）之间转换工件而可沿前后方向（Ｘ）及上下方向（Ｚ）移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及工件装卸装置(work handling apparatus)，在将IC、 LSI、 CPU等半导体芯片、其它电子元件等工件收容的通用托盘与在对工件实施试验、检 查等处理时以不同于通用托盘的间隔收容工件的专用的处理用托盘之间进行 工件转换或进行通用托盘及处理托盘的搬送、定位等。
技术介绍
为了对半导体芯片等的工件实施试验或检查等的各种处理，工件在多个处 理工序之间被搬送。为了效率良好地进行该工件的搬送，使用了同时可将多个 工件收容的通用托盘。艮口，以排列在通用托盘上的状态收容多个工件，依次搬送到各种处理工序， 在各个处理工序中一个一个或集中多个地从通用托盘取出工件而实施规定的 处理，再返回到通用托盘搬送到下一个处理工序。这里，在实施试验、检查等的规定处理的处理工序中，为进行最佳的处理， 而将工件转换到收容间距不同于通用托盘的专用的处理用托盘上进行处理，将 该处理结束后的工件再返回到通用托盘搬送到下一个处理工序。该专用的处理用托盘，以不同于通用托盘的收容间距(间隔)的收容间距将 多个工件收容保持。因此，在通用托盘与处理用托盘之间，发生转换工件的作 业。如此，作为在通用托盘与处理用托盘之间进行工件转换的以往的工件装卸装置，已知有如下结构，即具有将工件从通用托盘转换到处理用托盘的二个 装载机；将工件从处理用托盘转换到通用托盘的二个卸载机，对二个装载机设 置可将工件的列或行的间隔(间距)变更的可变机构，并且对二个卸载机设置可 同样将列或行的间隔(间距)变更的可变机构(例如参照日本特开2002—174658 号公报)。但是，在该装置中，在装载机及卸载机上分别设置可变机构，通过使该可 变机构驱动，来调整收容工件的间隔(间距)，故用于变更间隔的变更动作花费 时间，对转换动作的高速化来说不利。另外，若可变机构变得复杂，则功能上 的可靠性就下降，故必须确认是否确切地变更为所期望的间隔(收容间距)。此外，由于设置可变机构，故有可能导致装载机及卸载机的大型化及重量化，而 且反复动作有可能发生工件的保持错误。另外，在小元件的处理中，取出或放 置时的停止精度是重要的，但若转换元件时的机构多，则每个机构所发生的机 械误差就会累积，有可能元件的取出或放置的停止位置精度变差、发生元件取 出错误或放置错误。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述问题而作成的，目的在于提供一种工件装卸装置，可获得 结构的简单化、各机构的集中化、装置整体的小型化、设置面积的省空间化、 工件转移所需的时间的縮短化等，并可对半导体芯片、基板、其它电子元件等 的工件有效地实施试验、检查、测定、加工、组装等的各种处理，可提高生产 效率。为实现上述目的，本专利技术的工件装卸装置包括对可收容工件的通用托盘 进行保持并可沿左右方向移动的通用托盘保持单元；处理用托盘保持单元，该 处理用托盘保持单元与所述通用托盘保持单元邻接并排列在前后方向的后方， 对相对于处理区域搬入搬出工件的处理用托盘进行保持并可沿左右方向移动； 工件转放单元，该工件转放单元为了在通用托盘与处理用托盘之间转换工件而 可沿前后方向及上下方向移动。采用该结构，当将未处理的工件从通用托盘转换到处理用托盘时，且在处 理区域将规定处理已完成的工件从处理用托盘转换到通用托盘时，通用托盘保 持单元和处理用托盘保持单元符合规定收容间距地适当沿左右方向移动，定位 在规定的取出位置及收容位置，同时工件转放单元沿前后方向移动而将工件搬 送到通用托盘与处理用托盘之间，并沿上下方向移动取出工件并收容工件，将 工件转换到通用托盘与处理用托盘之间。如此，由于通用托盘保持单元及处理用托盘保持单元适当沿左右方向移 动，并将成为取出及收容对象的工件始终在左右方向安装在工件转放单元的下 方，使工件转放单元向上下方向及前后方向移动而转换工件，故可使工件以高 速移动，可实现转换动作的高速化。另外，通用托盘保持单元、处理用托盘保 持单元及工件转放单元采用了仅向平面内的一方向(左右方向Y或前后方向X) 移动的一个移动机构，故在将工件转移到通用托盘与处理用托盘之间时，机械 误差变小，提高了停止位置精度。其结果，即使是小元件，也可正确地进行取 出转放。在上述结构的装置中，可采用如下结构在处理用托盘保持单元与处理区 域之间，配置移送处理用托盘的处理用托盘移送单元。采用该结构，由于处理用托盘利用处理用托盘移送单元在处理用托盘保持 单元与处理区域之间移送，故可在工件转移工序后顺利地进入处理工序，且可 顺利地将处理好的工件返回到处理用托盘保持单元，此外，在处理区域处于多 个部位的场合，可在适当选择的处理区域与处理用托盘保持单元之间移送处理 用托盘。在上述结构的装置中，可采用如下结构工件转放单元在左右方向上排列 地设置多个，通用托盘保持单元对多个通用托盘进行保持，在多个通用托盘中 包含可将未处理的工件收容的未处理用的通用托盘及可将已处理的工件收容 的已处理工件用的通用托盘。采用该结构，在例如设置二个工件转放单元的场合，可利用一个工件转放 单元将未处理的工件从未处理用的通用托盘转换到处理用托盘，并利用另一个 工件转放单元将已处理的工件从处理用托盘转换到已处理用的通用托盘。艮卩， 由于可同时进行未处理工件的转换和已处理工件的转换，故与进行分别转换的 场合相比，可縮短整体转移所需的时间。在上述结构的装置中，可采用如下结构处理区域包含对工件进行规定检 查的检查区域，已处理用的通用托盘包含将满足规定检查的工件收容的合格品 用的通用托盘、将不满足规定检查的工件收容的不合格品用的通用托盘。采用该结构，在对工件实施规定检查后，利用处理用托盘移送单元将处理 用托盘从检査区域移送到处理用托盘保持单元，且分别分类地利用工件转放单 元将合格品的工件从处理用托盘转换到合格品用的通用托盘，并将不合格品的 工件从处理用托盘转换到不合格品用的通用托盘。如此，可在将已检査的工件 进行转换作业的同时效率良好地分类成合格品、不合格品，可将整体的工序简 单化。在上述结构的装置中，可采用如下结构通用托盘保持单元可在利用工件 转放单元进行工件转换的后方位置与将通用托盘供给或回收的前方位置之间 沿前后方向移动，在通用托盘保持单元的前后方向的前方设置有通用托盘供 给单元，其供给收容了工件的通用托盘及未收容工件的空的通用托盘；通用托盘回收单元，其回收保持在通用托盘保持单元上的通用托盘；通用托盘转放单 元，其在通用托盘供给单元与通用托盘保持单元之间及通用托盘保持单元与通 用托盘回收单元之间转换通用托盘。采用该结构，当通用托盘保持单元向前方位置移动时，利用通用托盘转放 单元，从通用托盘供给单元向通用托盘保持单元供给收容了工件的通用托盘或 空的通用托盘，并且，从通用托盘保持单元向通用托盘回收单元回收通用托盘。 如此，在一系列的连续作业中可效率良好地进行通用托盘的供给和回收。在上述结构的装置中，可采用如下结构通用托盘转放单元可保持多个通 用托盘。采用该结构，可利用通用托盘转放单元同时转放多个通用托盘(例如收容 为处理的工件的通用托盘和未收容工件的空的通用托盘)，且在转放位置，可同 时进行转放通用托盘的动作和收容已处理的工件的接受通用托盘的动作，可縮 短整体动作所需的时间，可进一步效率良好地进行通用托盘的供给和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工件装卸装置，其特征在于，包括：对可收容工件的通用托盘进行保持并可沿左右方向移动的通用托盘保持单元；处理用托盘保持单元，该处理用托盘保持单元与所述通用托盘保持单元邻接并排列在前后方向的后方，对相对于处理区域搬入搬出工件的处理用托盘进行保持并可沿左右方向移动；工件转放单元，该工件转放单元为了在所述通用托盘与所述处理用托盘之间转换所述工件而可沿前后方向及上下方向移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：平泽洋一，齐藤胜夫，篠崎洋二，大畠基裕，渡边敏彦，
申请(专利权)人：平田机工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]