电子部件试验装置制造方法及图纸

一种电子部件试验装置，用于使ＩＣ器件（ＩＣ）电接触于测试头的接触部，对ＩＣ器件（ＩＣ）进行试验；该电子部件试验装置具有器件输送装置（３１０），该器件输送装置（３１０）从位于装载部的孔部的用户托盘（８００）将ＩＣ器件（ＩＣ）转移到测试托盘；该器件输送装置（３１０）具有保持ＩＣ器件（ＩＣ）的保持头（３４０），保持头（３４０）从非接触的状态拉近收容于用户托盘（８００）的ＩＣ器件（ＩＣ），对ＩＣ器件（ＩＣ）进行保持。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使半导体集成电路元件等各种电子部件(以下也代表性地称为IC器件)电接触于测试头的接触部、对IC器件进行试验的 电子部件试验装置，特别是涉及可处理极小尺寸的IC器件的电子部件试验装置。
技术介绍
在IC器件等电子部件的制造过程中，为了试验处于封装状态的 IC器件的性能和功能，使用电子部件试验装置。在构成电子部件试验装置的处理设备(Handler)中，从用于收容 试验前的IC器件或收容试验完毕的IC器件的托盘(以下称用户托 盘)，将多个IC器件换载到在电子部件试验装置内循环的托盘(以下 称测试托盘)，将该测试托盘输送到处理设备内，在收容于测试托盘 的状态下使各IC器件与测试头的接触部电接触，在电子部件试验装置 主体(以下也称测试器)进行试验。当试验结束时，从测试头送出搭 载了各IC器件的测试托盘，换载到与试验结果相应的用户托盘，从而 进行合格品、不合格品这样的分类。这样，对于电子部件试验装置，虽然在试验前后在用户托盘与测 试托盘间进行IC器件的转移，但例如当IC器件的小型化发展到一边 的长度为5 20mm左右时，产生以下那样的问题。首先，由于IC器件自身随着IC器件的小型化而变轻，所以，当 对用户托盘、测试托盘施加冲击、振动时，即使该冲击、振动;f艮小， 有时也使IC器件从托盘跳起而离散。另外，在保持IC器件之际，如IC器件的位置偏移，由于IC器 件小，所以，错误地进行吸附保持的可能性增大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可处理极小尺寸的被试验电子部件的 电子部件试验装置。为了达到上述目的，按照本专利技术，提供一种电子部件试验装置， 该电子部件试验装置使被试验电子部件电接触于测试头的接触部，对上述被试验电子部件进行试验；其中具有部件输送单元，该部件输 送单元从位于第1位置的第1容器将上述被试验电子部件转移到位于 第2位置的第2容器；上述部件输送单元具有保持上述被试验电子部 件的保持头，上述保持头将收容于上述第1容器的上述被试验电子部 件从非接触状态拉近，保持上述被试验电子部件(权利要求l)。在本专利技术中，当部件输送单元的保持头保持被试验电子部件时， 从非接触的状态拉近而保持被试验电子部件。这样，保持头与被试验 电子部件接触时产生的冲击不传递到第1容器。为此，即使在处理极 小尺寸的被试验电子部件的场合，当保持被试验电子部件时，可防止 冲击使其它被试验电子部件从容器跳起。在上述专利技术中，虽然不特别限定，但最好上述保持头具有吸附保 持上述被试验电子部件的吸附单元，在上述保持头对收容于上述第1 容器的上述被试验电子部件进行保持之际，上述吸附单元吸引处于非 接触状态的上迷被试验电子部件，将其拉近(参照权利要求2)。在上述专利技术中，虽然不特别限定，但最好上述第1容器为收容试 验前的上述被试验电子部件的用户托盘，上述第1位置为形成于上述 电子部件试验装置的装置基台的孔部，上述电子部件试验装置具有可 调整位于上述孔部的上述用户托盘的高度的调整单元(参照权利要求 3)。由调整单元调整位于孔部的用户托盘的高度，当保持头保持被试 验电子部件时，使保持头与被试验电子部件处于非接触状态。这样， 可防止冲击使极小尺寸的被试验电子部件从用户托盘跳起。虽然在上述专利技术中未特别限定，但最好上述第1容器为收容试验前的上述被试验电子部件的用户托盘，上述第1位置为形成于上述电 子部件试验装置的装置基台的孔部，上述电子部件试验装置具有存放单元和托盘移动单元；该存放单元搭载上述用户托盘，该用户托盘搭 载试验前的上述被试验电子部件；该托盘移动单元使存放于上述存放 单元的上述用户托盘移动到上述孔部；上述存放单元具有可上下移动间的緩沖单元('参照权利要求4) 。 ' ' —^ 、通过使緩冲单元处于用户托盘与升降单元间，从而可抑制升降单 元上下移动时产生的振动传递到用户托盘，可防止振动使极小尺寸的 被试验电子部件的位置从用户托盘偏移。在上述专利技术中，虽然不特别限定，但最好上述第2容器为预定位 装置，该预定位装置用于收容试验前的上述被试验电子部件，修正上 述被试验电子部件相互的位置关系；上述电子部件试验装置具有限制 上述保持头接近上述预定位装置的第1限制单元(参照权利要求由第1限制单元可在凹部与被试验电子部件为非接触状态而且其 间的距离为最小的状态下将被试验电子部件收容于收容部。这样，即 使在将极小尺寸的被试验电子部件收容于收容部之际，也可抑制被试 验电子部件倾斜地收容等位置偏移的发生。在上述专利技术中，虽然不特别限定，但最好上述预定位装置具有用 于收容上述被试验电子部件的凹部，上述第1限制单元为设于上述凹 部的周围、接触于上述部件输送单元的上述保持头的轴(参照权利要 求6)。在上述专利技术中，虽然不特别限定，但最好上述轴可相应于上述被 试验电子部件的品种更换为长度不同的其它轴(参照权利要求7)。在上述专利技术中，虽然不特别限定，但最好上述第2容器为收容试 验前的上述被试验电子部件的测试托盘，上述电子部件试验装置具有 限制上述保持头接近上述测试托盘的第2限制单元(参照权利要求 8)。由第2限制单元在测试托盘与被试验电子部件为非接触状态而且 其间隔最小的状态下，将被试验电子部件收容于收容部。这样，即使 在将极小尺寸的被试验电子部件收容于测试托盘之际，也可抑制被试 验电子部件倾斜地收容等被试验电子部件的位置偏移的发生。在上述专利技术中，虽然不特别限定，但最好上述第2限制单元为设 于上述部件输送单元的上述保持头，接触于上述测试托盘的限位构 件，上述限位构件可相应于上述被试验电子部件的品种更换成长度不 同的其它限位构件(参照权利要求9)。在上述专利技术中，虽然不特别限定，但最好上述第1容器为收容试 验完毕的上述被试验电子部件的测试托盘，上述电子部件试验装置具 有限制上述保持头接近上述测试托盘的第3限制单元(参照权利要求10) 。通过由第3限制单元阻止保持头接触于被试验电子部件，从而可 防止冲击使极小尺寸的被试验电子部件从测试托盘跳起。在上述专利技术中，虽然不特别限定，但最好上述第3限制单元为设 于上述保持头、接触于上述测试托盘的上面的接触部(参照权利要求11) 。在上述专利技术中，虽然不特别限定，但最好上述第1容器为收容试 验完毕的上述被试验电子部件的测试托盘，上述第2容器为预定位装 置，该预定位装置收容试验完毕的上述被试验电子部件，修正上述被 试验电子部件相互的位置关系(参照权利要求12)。在从测试托盘将试验完毕的被试验电子部件转移到用户托盘之 际， 一旦载置到预定位装置，修正被试验电子部件相互的位置关系， 从而可将极小尺寸的被试验电子部件正确地输送到用户托盘。在上述专利技术中，虽然不特别限定，但最好上述电子部件试验装置 具有限制上述保持头接近上述预定位装置的第4限制单元(参照权利 要求13 )。由第4限制单元可在凹部与被试验电子部件为非接触状态而且其 间的距离为最小的状态下将被试验电子部件收容于收容部。这样，即使在将极小尺寸的被试验电子部件收容于收容部之际，也可抑制被试 验电子部件倾斜地收容等位置偏移的发生。在上述专利技术中，虽然不特别限定，但最好上述预定位装置具有用于收容上述被试验电子部件的凹部，上述第4限制单元为设于上述凹 部的周围、接触于上述部件输送单元的上述保持头的轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子部件试验装置，使被试验电子部件电接触于测试头的接触部，对上述被试验电子部件进行试验；其特征在于：具有部件输送单元，该部件输送单元从位于第１位置的第１容器将上述被试验电子部件转移到位于第２位置的第２容器；上述部件输送单元具有保持上述被试验电子部件的保持头，上述保持头将收容于上述第１容器的上述被试验电子部件从非接触状态拉近，保持上述被试验电子部件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：佐川慎，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]