本发明专利技术提供一种探针单元及检查装置，可准确地支承各触头使它们可靠地与液晶面板的各电极接触。探针单元具有支承刀片型探针使它们与被检查体的电极电接触的探针组合体。刀片型探针具有主体板部、前端侧臂部及ＦＰＣ侧臂部，且由第１列用刀片型探针和其他列用刀片型探针构成。第１列用刀片型探针将前端侧臂部的触头设置在与被检查体的多列呈交错状配置的电极中的第１列电极对准的位置，且设于该前端侧臂部的前端位置。其他列用刀片型探针将前端侧臂部的触头设置在与被检查体的多列交错状电极中的第２列之后的电极对准的位置，且在触头的前端侧设有保持板部，以使其他列用刀片型探针的前端侧臂部达到与第１列用刀片型探针的前端侧臂部大致相同的长度。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于检查液晶面板、集成电路等平板状的 被检查体的探针单元及检查装置。
技术介绍
液晶面板等平板状的被检查体通常使用探针单元进行检 查。作为这种探针单元，有排列多片薄板状的刀片型探针而构 成的类型，记载了这种例子的有专利文献l。以下概略性地说 明该专利文献l的专利技术。如图2及图3所示，探针组合体l包括块状体2、并列地配 置在块状体2的下侧的带状的多个探针3、穿过探针3的一对细 长的导杆4、收容探针3的一部分的一对槽杆5、使针尖的位置 稳定在探针3的后端侧的较长的引导构件6、使导杆4支承在块 状体2上的一对侧罩7。各探针3具有带状的中央区域3A、从该中央区域的前端和 后端向前方和后方伸出的一对针尖区域3B和3C。中央区域3A 在各端部具有供导杆4穿过的引导孔3D。将导杆4穿入到引导孔 3D中，并使各针尖区域3B及3C与槽杆5相嵌合，从而将各探针 3配置在块状体2的下侧。由此，针尖区域3B的探针与在液晶面板上设置成一横列的 电极进行接触而电连接，从而进行控制信号的发送等。但是，近年来出现了这样的情况，即在液晶面板等中，由 于集成化不断发展，而以极其狭窄的间隔排列电路的电极。与 此相应的探针单元有一种将将触头位置不同的刀片型探针组合 配置在 一起而构成交错状探针的探针单元。专利文献l:日本特开平10—132853号7>净艮 但是，在配置上述触头位置不同的刀片型探针而构成交错 状探针的探针单元中，准确地配置、支承多个上述触头位置不 同的多种刀片型探针是不容易的，存在产生刀片型探针发生歪 扭、偏斜、破损等问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而作出的，其目的在于，提供 一种可以抑制刀片型探针发生歪扭、偏斜、破损等，而准确地 支承各触头使它们与各电极可靠地接触的探针单元及检查装置。为了解决上述课题，本专利技术的探针单元具有支承刀片型探 针使探针与被检查体的电极电接触的探针组合体，其特征在于， 上述刀片型探针具有主体板部、前端侧臂部及FPC侧臂部；上 述主体纟反部一皮准确定位和支承；上述前端侧臂部一皮支承在该主 体板部的前端侧，用于支承触头；上述FPC侧臂部被支承在上 述主体板部的FPC侧，用于支承触头；并且，该刀片型探针由 第l列用刀片型探针和其他列用刀片型探针构成；上述第l列用 刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在上述被检体的与多 列呈交错状排列的电极中的第l列电极对准的位置，且设于上 述前端侧臂部的前端位置；上述其他列用刀片型探针将上述前 端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第2列 之后的电极对准的位置上，并且，在上述触头的前端侧设有保 持板部，以使其他列用刀片型探针的前端侧臂部达到与上述第 l列用刀片型探针的前端侧臂部大致相同的长度。根据上述结构，上述第l列用刀片型探针的上述前端侧臂 部的触头与上述被检查体的多列呈交错状的电极中的第l列电极相接触，上述其他列用刀片型探针的上述前端侧臂部的触头 与上述被检查体的多列呈交错状的电极中的第2列之后的电极 相接触，并发送控制信号。此时，利用上述其他列用刀片型探 针的保持板部，使该其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述 第l列用刀片型探针的前端侧臂部达到大致相同的长度。优选的是，利用上述其他列用刀片型探针的保持板部来增 加其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述槽的保持面积。该检查装置具有放置部和测定部；上述放置部用于从外部 搬入一皮4佥查体，并在检查结束后将该被4全查体搬往外部；上述 须'J定部支承从该放置部上接过来的被检查体并进行检测；上述 测定部的探针单元优选使用上述探针单元。如上所述，利用上述其他列用刀片型探针的保持板部使该 其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述第l列用刀片型探针 的前端侧臂部达到大致相同的长度，因此，可抑制各刀片型探 针发生歪扭、偏斜、破损等，而准确地支承各触头使它们可靠 地与各电4及相4妾触。附图说明图l是表示本专利技术的实施方式的探针单元的刀片型探针的 侧视图。图2是表示以往的检查装置的探针组合体的立体图。图3是表示以往的检查装置的探针组合体的侧视剖视图。图4是表示本专利技术的实施方式的探针单元的立体图。 图5是表示本专利技术的实施方式的探针单元的局部剖切的侧 视图。图6是表示本专利技术的实施方式的探针单元的探针组合体的分解立体图。图7是从背面表示本专利技术的实施方式的探针单元的探针组合体的立体图。图8是表示本专利技术的实施方式的探针单元的探针组合体的 前端侧臂部的俯-f见图。图9是表示本专利技术的实施方式的探针单元的探针组合体的 前端侧臂部的侧一见图。图IO是表示以往的探针单元的探针组合体的前端侧臂部 的俯视图。具体实施方式以下，参照附图来说明本专利技术的实施方式的4果针单元及检 查装置。本实施方式的检查装置用于检查被检查体，其具有从 外部搬入被检查体并且在检查结束后将被检查体搬往外部的放 置(set)部、支承从该放置部上接过来的被4全查体并对其进行测 试的测定部。该才全查装置的上述测定部的纟果针单元使用本实施 方式的探针单元。另外，由于本实施方式的检查装置与上述以 往的检查装置大致相同，因此，在此主要对探针单元进行说明。 此外，本专利技术的检查装置能适用于所有可使用本实施方式的探 针单元的装置。如图4所示，本实施方式的探针单元ll用于被检查体、即 液晶面板12的检查装置上。液晶面板12呈长方形的形状，在与 长方形的相邻两边对应的缘部以-见定的间距形成多个电极(未 图示)。伴随着液晶面板12的表面电路的高集成化，各电极被 配置成多级交错状。探针单元11主要具有探针基座13和探针组合体14。探针基座13固定在检查装置的主体框架侧。探针基座13在被固定于主体框架侧的状态下支承探针组合体14。探针组合体14用于支承探针并使它们与液晶面板12的电 极电接触。如图5所示，探针组合体14主要具有悬挂基座16、滑 块17、探针板18、 FPC基座19以及探针组件(probe block)20。悬挂基座16用于借助滑块17等来支承后述探针组件2 0的 刀片型探针38。悬挂基座16整体形成为大致立方体状并被固定 在探针基座13上。在悬挂基座16的前端侧设有从上侧对滑块17 施力的檐部16A。在檐部16A上设有螺栓孔22,螺栓23旋入到 该螺栓孔22中。该螺栓23的前端侧插入于后述滑块17的弹簧孔 17B中。在悬挂基座16的前端侧表面的上述檐部16A的下侧， 设有可引导滑块17沿上下方向滑动的导轨2 4 。滑块17用于上下滑动地支承探针组件20。滑块17形成为大 致立方体形状。在滑块17的下部形成有可覆盖探针板18那样大 小的檐部17 A 。探针板18与包括该檐部17 A的滑块17的下侧面 接触并被支承。在滑块17的基端面(图5中的右侧面)上，设 有与悬挂基座16的导轨24嵌合而支承滑块17作上下移动的引 导件26。在滑块17的上侧面上，设有用于插入弹簧28的弹簧孔 17B。弹簧28被螺栓23支承，并插入到弹簧孔17B内，从而向 下方对滑块17施力。在后述各触头56、 64与液晶面板12的各电 极接触的状态下，利用弹簧28产生的作用力向各电极侧对各触 头56、 64施力。探针板18用于在被支承于滑块17上的状态下支承F P C基 座19和探针组件20。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种探针单元，其具有支承刀片型探针使其与被检查体的电极电接触的探针组合体，其特征在于， 上述刀片型探针具有主体板部、前端侧臂部及ＦＰＣ侧臂部；上述主体板部被准确定位和支承；上述前端侧臂部被支承在该主体板部的前端侧，用于支承触头；上述ＦＰＣ侧臂部被支承在上述主体板部的ＦＰＣ侧，用于支承触头；并且，该刀片型探针由第１列用刀片型探针和其他列用刀片型探针构成； 上述第１列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第１列电极对准的位置，且设于上述前端侧臂部的前端位置； 上述其他列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第２列之后的电极对准的位置上，并且，在上述触头的前端侧设有保持板部，以使其他列用刀片型探针的前端侧臂部达到与上述第１列用刀片型探针的前端侧臂部大致相同的长度。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：久我智昭，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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