接触单元以及检查系统技术方案

本发明专利技术提供一种具有简易的构成，而且在与检查对象之间可进行正确定位的接触单元。在接触单元（２）所具备的支撑基板（１５）的上面，对应于作为检查对象的电路形成区域（５ａ）所具备的测试垫（１１）的配置形态，配置有接触探针（１３）的同时，对应于虚设垫（７ａ）至（７ｄ），配置有检测探针组（１４ａ）至（１４ｄ）。检测探针组（１４）是由探针（１９、２０）所构成，而分别连接于构成位置关系检测部（２２）的发光二极管（１２）及电压源（２１）。以接触单元（２）实施检查时，经由探针（１９、２０）与所对应的虚设垫（７）接触而互为导通时，发光二极管会发光，因此借助确认发光二极管（１２）的发光状态，即可判定是否正确进行定位。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对在表面上形成包括使用于电信号的输入或输出的 配线构造的多个导电区域的检査对象，与上述配线构造进行电连接的接触单元(contact unit),及使用接触单元的检査系统。
技术介绍
以往，例如构成液晶显示器的液晶显示板的驱动电路等，以使用TAB (Tape Automated Bonding,巻带自动接合)、COF (Chip On Film,晶 粒薄膜接合)等的TCP (Tape Car tier Package,巻带式封装体)的构成， 为一般所周知。TCP是在表面形成有配线构造的可挠性薄膜基材上装载半 导体芯片，将所装载的半导体芯片以树脂封固而形成。具有如此构造的TCP,是在同一薄膜上形成对应于多个封装体的配线 构造，在各个的封装体装载半导体芯片等后，分离成各个封装体而制成。 所以，与在按各个封装体事先准备的基板上形成配线构造，搭载各个半 导体芯片的以往的封装体相比较时，具有生产效率佳的优点。由于构成 TCP的薄膜基材，与以往半导体基板相比较，材料厚度非常小，且富于柔 软性，所以使用于液晶显示器等时，具有可使装置整体小型化的优点。制造这样的TCP时，与其它半导集成体电路的情形同样，以检测不 良品等的目的而施行电性特性相关的检査。具体而言，例如，形成于薄 膜基材上的配线构造有无短路或断线等的检查，或于装载半导体芯片后， 借助配线构造，进行对半导体芯片输出输入规定的检査信号的动作特性 检査等。在实施电气特性检査时，为了将检查信号正确地输出输入，必须进 行检査装置所具备的输入输出端子与形成在薄膜基材上的配线构造之间 的定位。为此，以往的检查装置中，通常设有用以视认输入输出端子与配线构造间的接触部分的机构。用以视认接触部分的单纯的机构，已知有一种通过形成从接触部分 至外部直线延伸的贯穿孔，从而经由贯穿孔由外部可视认接触部分的位 置关系的检査装置。由于这样的直线贯穿孔因检査装置的构造的原因而 难以形成，所以，也提出了下述这样的检查装置，该检查装置形成在途 中折曲的贯穿孔，同时采用了一种机构，通过在贯穿孔的折曲部分配置 镜子等光学构件，从而将接触部分的影像向外部导出(例如，参照专利 文献l)。专利文献l:日本特开2000-9753号公报。然而，通过视认检査装置所具备的输入输出端子、与形成于薄膜基 材上的配线构造间的位置关系以进行定位的以往检查装置，不但构造复 杂化，而且恐有定位精密度低下的问题存在。以下，依次说明此等课题。首先，釆用视认位置关系的构成时，如上所述，需要形成规定的贯 穿孔及依所需安装镜子等。因而，检查装置需要事先确保形成贯穿孔用 的区域，而实现规定的物理强度等，而采用视认位置关系的检查系统， 具有与检查对象直接接触的接触单元的构造复杂化或大型化的课题。而 且，依检査对象或接触单元的构造，难以将贯穿孔及镜子等光学构件配 置在适当场所，在此情形下，必须采用其它的构造。而且，采用视认接触部分以进行定位的方式时，有定位精度降低之 虞。g卩，在采用依据检查者的感官进行定位的结构时，在进行检査后难 于客观判定是否已正确定位至没有障碍的程度。而且，检查者换人等情 形时，由于熟练度的不同，定位精密度会不同，因此并不妥当。
技术实现思路
本专利技术就是监于上述课题而产生的，其目的在于提供一种具有简易 的构成，且在与检查对象之间可进行正确定位的接触单元及使用接触单 元的检查系统。为解决上述课题以达成目的，根据技术方案1所述的接触单元，关 于在表面上形成有包含用于电信号的输入或输出的配线构造的多个导电区域的检查对象，进行对上述配线构造的电连接，其特征在于，该接触 单元包括输入输出端子，其对应于上述配线构造的配置图案而配置， 与对应的上述配线构造电连接，对上述配线构造进行规定的电信号的输 入或输出的至少一方；检测端子群，其由对应于规定的上述导电区域而 配置的多个端子所形成，被用于依据经由所对应的上述导电区域的上述 多个端子间的导通有无，来检测该接触单元与上述检查对象之间的位置 关系；以及支撑基板，其用以保持上述输入输出端子及上述检测端子群。 根据技术方案1所述的专利技术，因对应于检査对象所具备的导电区域 以设置检测端子群，所以，可根据检测端子群与导电区域之间的导通的 有无，以检测出检查对象与接触单元之间是否产生位置偏差。而且，因 构成检测端子群的端子由与输入输出端子同样的结构形成，所以，即使 重新配置检测端子群时，仍不会导致接触单元的结构复杂化，能以简易 的构成进行位置偏差的检测。根据技术方案2所述的专利技术的接触单元，在上述专利技术中，上述检测端子群对应于多个上述导电区域配置有多个，多个上述检测端子群，配 置在与上述检査对象中接触上述接触单元的区域的不同的端部附近相对 应的位置。根据技术方案3所述的接触单元，在上述专利技术中，上述检查对象中与上述接触单元电连接的部分具有长方形状，对应于多个上述导电区域 配置有多个上述检测端子群，多个上述检测端子群分别配置在对应于上 述长方形状的对角线上或顶点附近的区域。根据技术方案4所述的接触单元，在上述专利技术中，还具备位置关系 检测手段，其与形成上述检测端子群的多个端子电连接，依据经由对应 于上述检测端子群的上述导电区域的上述多个端子间的导通有无，来检 测该接触单元与上述检査对象之间的位置关系。根据技术方案5所述的接触单元，在上述专利技术中，上述位置关系检 测手段，具备电压源，其用以供给规定的电压；及无源元件，其与上 述电压源串联连接，当上述多个端子经由上述导电区域导通时，与上述 电压源之间形成闭路，基于由上述电压源所供给的电位执行规定的作用。根据技术方案6所述的接触单元，在上述专利技术中，上述无源元件为发光二极管。根据技术方案7所述的接触单元，在上述专利技术中，上述检测端子群是在上述导电区域中、对应于与上述配线构造电绝缘的虚设垫(dummy pad)而配置的。根据技术方案8所述的接触单元，在上述专利技术中，上述检测端子群 是对应于上述导电区域中的配线构造而配置的，上述位置关系检测手段， 还具备开关机构，该开关机构在对于所对应的配线构造经由上述输入输 出端子进行电信号的输入或输出时，可停止对上述无源元件的电压供给。根据技术方案9所述的检査系统，关于在表面上形成有包含用于电 信号的输入或输出的至少一方的配线构造的多个导电区域的检查对象， 借助对上述配线构造的电连接来进行电信号的输入输出从而进行检查， 其特征在于，该检查系统包括接触单元，具有输入输出端子，其对应于上述配线构造而配置，与对应的上述配线构造电连接，对上述配线构造进行规定的电信号的输入或输出的至少一方；检测端子群，其由对 应于规定的上述导电区域而配置的多个端子所形成，被用于依据经由所 对应的上述导电区域的上述多个端子间的导通有无，来检测该接触单元 与上述检查对象之间的位置关系；及支撑基板，其用以保持上述输入输 出端子及上述检测端子群；信号处理装置，其产生用以检查上述检查对 象的电信号，以分析由上述检査对象所输出的电信号；及连接基板，其 电连接上述信号处理装置与上述接触单元。专利技术的效果本专利技术的接触单元及检査系统，是对应于检查对象所具备的导电区 域而设置检测端子群，所以可实现根据该检测端子群与导电区域之间的 导通的有无，而检测出检査对象与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种接触单元，关于在表面上形成有包含用于电信号的输入或输出的配线构造的多个导电区域的检查对象，进行对上述配线构造的电连接，其特征在于，该接触单元包括：输入输出端子，其对应于上述配线构造的配置图案而配置，与对应的上述配线构造电连接，对上述配线构造进行规定的电信号的输入或输出的至少一方；检测端子群，其由对应于规定的上述导电区域而配置的多个端子所形成，被用于依据经由所对应的上述导电区域的上述多个端子间的导通有无，来检测该接触单元与上述检查对象之间的位置关系；及支撑基板，其用以保持上述输入输出端子及上述检测端子群。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：石川重树，仁平崇，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]